【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种快速定位单个通孔位置的方法,应用于金属通孔的光刻工艺流程中,其特征在于,所述方法包括:?提供一具有多个通孔图案的版图;?采用网格法滤除部分不符合要求的通孔图案;?将剩余的通孔图案进行放大,以筛选出单个通孔;?对所述单个通孔进行光学临近修正处理。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:夏国帅,何大权,魏芳,张旭升,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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