一种三甲基铟鼓泡装置和太阳能电池制造设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种三甲基铟鼓泡装置和太阳能电池制造设备。该三甲基铟鼓泡装置包括用于容纳固态三甲基铟的钢瓶、用于向钢瓶中输入载气的输入管和用于将钢瓶中产生的三甲基铟蒸汽输出的输出管；输入管的一端位于钢瓶外，用于通入载气，另一端延伸至钢瓶内固态三甲基铟上方的空间；输出管的一端埋设在钢瓶内底部的固态三甲基铟中，且平行于钢瓶底部在钢瓶内横向延伸，输出管的另一端延伸至钢瓶外。该鼓泡装置能够保证载气进入钢瓶内固态三甲基铟上方的空间后可均匀通过固态三甲基铟颗粒区，从而使整个固态三甲基铟颗粒区都能和载气充分接触，进而确保钢瓶内的固态三甲基铟均匀消耗，提高三甲基铟材料利用率，且鼓泡过程中三甲基铟蒸汽的浓度稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种三甲基铟鼓泡装置和太阳能电池制造设备
本技术涉及太阳能电池
，具体地，涉及一种三甲基铟鼓泡装置和太阳能电池制造设备。
技术介绍
在半导体行业、太阳能行业和LED行业快速发展的今天，三甲基铟作为电子原材料的应用越来越广泛，三甲基铟在常压下是固体有毒物质，三甲基铟一般用在半导体工艺、太阳能工艺和LED工艺的参杂工艺中提供铟源，是以上工艺中不可缺少的重要原材料。随着工艺的发展在工艺过程中要求加入的铟源的量越来越大，如何提供大剂量稳定浓度的三甲基铟进入工艺腔室是一个越来越需要解决的难题。传统的三甲基铟鼓泡装置受到装置本身的限制(如传统鼓泡装置设计在工艺机台内部，限制了其使用条件)，产生的三甲基铟饱和蒸汽浓度低、蒸汽总体流量小、蒸汽浓度不稳定，不能满足工艺需要。另外，传统鼓泡装置三甲基铟的利用率很低，仅为40％左右，剩余的三甲基铟就浪费掉了。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种三甲基铟鼓泡装置和太阳能电池制造设备。该三甲基铟鼓泡装置能够保证载气在进入钢瓶内固态三甲基铟上方的空间后可以均匀通过固态三甲基铟颗粒区，从而使整个固态三甲基铟颗粒区都能和载气充分接触，避免在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三甲基铟鼓泡装置，其特征在于，包括用于容纳固态三甲基铟的钢瓶、用于向所述钢瓶中输入载气的输入管和用于将所述钢瓶中产生的三甲基铟蒸汽输出的输出管；所述输入管的一端位于所述钢瓶外，用于通入载气，另一端延伸至所述钢瓶内固态三甲基铟上方的空间；所述输出管的一端埋设在所述钢瓶内底部的固态三甲基铟中，且平行于所述钢瓶底部在所述钢瓶内横向延伸，所述输出管的另一端延伸至所述钢瓶外。

【技术特征摘要】
1.一种三甲基铟鼓泡装置，其特征在于，包括用于容纳固态三甲基铟的钢瓶、用于向所述钢瓶中输入载气的输入管和用于将所述钢瓶中产生的三甲基铟蒸汽输出的输出管；所述输入管的一端位于所述钢瓶外，用于通入载气，另一端延伸至所述钢瓶内固态三甲基铟上方的空间；所述输出管的一端埋设在所述钢瓶内底部的固态三甲基铟中，且平行于所述钢瓶底部在所述钢瓶内横向延伸，所述输出管的另一端延伸至所述钢瓶外。2.根据权利要求1所述的三甲基铟鼓泡装置，其特征在于，所述输出管的在所述钢瓶内底部横向延伸的部分的管壁上开设有多个孔，多个所述孔均匀分布。3.根据权利要求1或2所述的三甲基铟鼓泡装置，其特征在于，所述钢瓶为两个以上，每个所述钢瓶均配置有所述输入管和所述输出管；所述钢瓶沿线条排布，排布在线条首端的所述钢瓶的所述输入管用于连接载气源；排布在线条末端的所述钢瓶的所述输出管用于连接三甲基铟蒸汽使用腔室，首端和末端之间的任意相邻的两个所述钢瓶中，前一个所述钢瓶的所述输出管与后一个所述钢瓶的所述输入管连接。4.根据权利要求3所述的三甲基铟鼓泡装置，其特征在于，还包括稀释通路，所述稀释通路的第一输入端连接所述载气源，所述稀释通路的第二输入端连接线条末端的所述钢瓶的所述输出管，所述稀释通路的输出端连接所述三甲基铟蒸汽使用腔室，用于通过载气对所述输出管输出的三甲基铟蒸汽进行浓度稀释，并将稀释后的三甲基铟蒸汽输出至所述三甲基铟蒸汽使用腔室。5.根据权利要求4所述的三甲基铟鼓泡装置，其特征在于，所述稀释通路包括第一浓度传感器、第一质量流量控制器、第二质量流量控制器和缓冲瓶；所述第一浓度传感器的输入端连接所述第二输入端，输出端连接所述第二质量流量控制器的输入端，所述第一浓度传感器的控制端连接所述第一质量流量控制器的控制端和所述第二质量流量控制器的控制端；所述第二质量流量控制器的输出端连接所述第一质量流量控制器的输出端；所述第一质量流量控制器的输入端连接所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵青松，南建辉，闫冬升，宁红锋，彭小磊，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11