抛光机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种抛光机，包括：第一本体、第二本体和吊装组件；所述第一本体和第二本体均为具有上顶面和下底面的中空结构；所述第一本体下底面和第二本体上顶面之间设有支撑柱；所述吊装组件第一部分置于第一本体外部，第二部分穿过第一本体的中空结构与第一本体的下底面固定连接。本实用新型专利技术的抛光机使用吊装组件与第一本体下底面连接，尤其是将吊装组件与第一本体下底面的中心连接，进一步可以防止第一本体下底面由于工作时间久了之后发生的变形；同时，将吊装组件设在第一本体外部，可以增加安装抛光组件的个数，进一步提高抛光数量，从而提高抛光效率。

Polishing machine

The utility model discloses a polishing machine, which comprises a first body, a second body and a lifting component; the first body and the second body are hollow structures with upper top and lower bottom surfaces; a support column is arranged between the lower bottom surface of the first body and the upper top surface of the second body; the first part of the lifting component is placed outside the first body, and the second part passes through the middle of the first body. The empty structure is fixedly connected with the bottom of the first body. The polishing machine of the utility model uses lifting components to connect with the bottom of the first body, especially the central connection between lifting components and the bottom of the first body, which further prevents the deformation of the bottom of the first body due to long working time; at the same time, the number of polishing components installed can be increased by installing lifting components outside the first body to further improve polishing. Quantity to improve polishing efficiency.

【技术实现步骤摘要】
抛光机
本技术涉及抛光机。
技术介绍
随着经济和信息技术的快速发展，市场竞争日趋激烈，企业面临的竞争压力逐渐增加，提高市场竞争力的诉求已迫在眉睫，而降低成本、提高生产效率始终是企业提高自身竞争力的重要手段之一。对于涉及化学机械抛光(简称CMP)的企业来说，目前所用的单面抛光机一般为四个抛光头或单个抛光头，单个抛光头的抛光机一般用于直径为12英寸(300mm)以上的晶片的抛光，多个抛光头的抛光机一般用于直径为12英寸(300mm)及以下的晶片的抛光。现有技术中，多个抛光头的抛光机在结构上，需要在第一本体上设置多组支撑梁，进行支撑固定，而抛光头需要避让支撑梁设置，因此其设置位置和设置数量就受到了较大的限制，而数量的受限会直接影响抛光的效率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种抛光机，不需要支撑梁，提高了抛光组件的安装控件和数量，从而提高抛光效率。本技术的抛光机，包括：第一本体、第二本体和吊装组件；所述第一本体和第二本体均为具有上顶面和下底面的中空结构；所述第一本体下底面和第二本体上顶面之间设有支撑柱；所述吊装组件第一部分置于第一本体外部，第二部分穿过第一本体的中空结构与第一本体的下底面固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光机，其特征在于，包括：第一本体(101)、第二本体(107)和吊装组件；所述第一本体(101)和第二本体(107)均为具有上顶面和下底面的中空结构；所述第一本体(101)下底面和第二本体(107)上顶面之间设有支撑柱(108)；所述吊装组件第一部分置于第一本体(101)外部，第二部分穿过第一本体(101)的中空结构与第一本体(101)的下底面固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种抛光机，其特征在于，包括：第一本体(101)、第二本体(107)和吊装组件；所述第一本体(101)和第二本体(107)均为具有上顶面和下底面的中空结构；所述第一本体(101)下底面和第二本体(107)上顶面之间设有支撑柱(108)；所述吊装组件第一部分置于第一本体(101)外部，第二部分穿过第一本体(101)的中空结构与第一本体(101)的下底面固定连接。2.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，在所述第一本体(101)的下底面设有至少一个第一通孔(102)。3.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，在所述第二本体(107)上顶面设有第二通孔(103)，所述第二通孔(103)的数量和位置与第一通孔(102)相对应。4.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述吊装组件包括：立杆(104)、横杆(105)和吊杆(106)，其中，所述立杆(104)一端固定设置在所述第二本体(107)上，所述立杆(104)另一端与横杆(105...

【专利技术属性】
技术研发人员：王乐军，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11