一种基片固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定载板与压紧装置的锁紧装置，载板的一面上设有用于容纳基片的安装凹槽，压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，顶板的一面上设置有与安装凹槽大小相对应的凸台，弹性件设置在凸台与压片之间；压紧装置通过压片将基片压紧在安装凹槽内；安装凹槽处设有与凸台的顶面相挡接的限位台阶面。本实用新型专利技术的基片固定装置，其顶板与压片之间设置有弹性件，使得载板上的基片受到的压力能够得到较好地缓冲，降低碎片率；同时通过安装凹槽处的限位台阶面与顶板上的凸台的顶面相挡接，能够对顶板进行较好地限位，有效地避免了顶板继续下压，大大地降低了因基片被过度压紧而造成的碎片率。

A Substrate Fixing Device

The utility model provides a substrate fixing device, which comprises a carrier plate, a substrate, a compacting device and a locking device for fixing the carrier plate and the compacting device. One side of the carrier plate is provided with an installation groove for accommodating the substrate. The compacting device comprises a top plate, a pressing plate and an elastic part. On the one side of the top plate, a convex platform corresponding to the size of the installation groove is arranged, and the elastic part is arranged in a convex part. Between the bench and the pressing plate, the compacting device compresses the substrate in the installation groove through the pressing plate, and the installation groove is provided with a limited step face which is in contact with the top surface of the convex platform. The base plate fixing device of the utility model is provided with elastic parts between the top plate and the pressing plate, so that the pressure on the base plate on the carrier plate can be better cushioned and the debris rate can be reduced; at the same time, the limit step surface at the installation groove is connected with the top surface of the convex platform on the top plate, so that the top plate can be better limited, effectively avoiding the continuous pressure of the top plate and greatly reducing the debris rate. It reduces the fragmentation rate caused by the over-compaction of the substrate.

【技术实现步骤摘要】
一种基片固定装置
本技术涉及太阳能电池
，具体涉及一种基片固定装置。
技术介绍
随着世界能源的逐渐减少，清洁能源、可再生资源将变为社会主流能源，也促进了相应行业的迅速发展，太阳能行业也是发展越来越快，物理气相沉积(简称PVD)镀膜是太阳能电池生产的重要环节，PVD技术其具体原理是，在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发，使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及反应物质沉积在工件上形成一层薄膜。在卧式PVD镀膜过程中，基片水平通过腔体，利用传动机构匀速运动，阴极是从下至上或从上至下溅射镀膜。为了提高产能，在太阳能行业一般采用多基片进多基片出同时镀膜的方法。现市面上通常采用单基片压块的方法再用转杆固定，但是此种方法对基片压紧时没有缓冲，导致基片的碎片率较高。因此，如何设计一种基片固定装置，压紧基片的同时还能降低碎片率成为本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种基片固定装置，以解决现有技术中碎片率较高的问题。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定所述载板与所述压紧装置的锁紧装置，所述载板的一面上设置有用于容纳所述基片的安装凹槽，所述压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，所述顶板的一面上设置有与所述安装凹槽大小相对应的凸台，所述弹性件设置在所述凸台与所述压片之间；所述压紧装置通过所述压片将所述基片压紧在所述安装凹槽内；所述安装凹槽处设置有与所述凸台的顶面相挡接的限位台阶面。优选地，所述凸台的顶面上设置有安装盲孔，所述弹性件的一端与所述安装盲孔的孔底相连，所述弹性件的另一端与所述压片相连。优选地，所述安装盲孔的个数至少为一个，各所述安装盲孔均匀分布在所述凸台的顶面上；所述弹性件的个数与所述安装盲孔的个数相对应，各所述弹性件与各所述安装盲孔一一对应配合。优选地，所述压片的一面的中部位置设置有压片凹槽。优选地，所述载板的一面上均布有至少一个所述安装凹槽，所述顶板的一面上均布的所述凸台的个数与所述安装凹槽的个数相对应，各所述安装凹槽与各所述凸台一一对应配合。优选地，所述锁紧装置包括锁紧轴、锁紧钩、扭簧以及固定装置，所述锁紧钩的一端具有钩状结构；所述顶板的另一面上设置有顶面凹槽，所述顶板的侧壁上设置有与所述顶面凹槽相连通的容纳槽，所述载板的另一面上设置有与所述钩状结构相配合的限位槽；所述锁紧轴的两端分别通过所述固定装置与所述容纳槽的两侧相连，所述锁紧钩与所述锁紧轴转动配合；所述扭簧套装在所述锁紧轴上，所述扭簧的一端与所述顶面凹槽的槽底相连，所述扭簧的另一端与所述锁紧钩上远离所述钩状结构的一端相连。优选地，所述锁紧钩上设置有与所述锁紧轴的外圆周面相配合的半圆形槽。优选地，所述固定装置为安装板，所述安装板包括第一板和第二板，所述第一板和所述第二板垂直相连并构成L型结构；所述第一板上设置有与所述锁紧轴的外圆周面相配合的第一弧形槽，所述容纳槽的侧壁上设置有与所述锁紧轴的外圆周面相配合的第二弧形槽，所述第一弧形槽与所述第二弧形槽共同围成与所述锁紧轴相匹配的圆孔；所述第二板与所述顶板的另一面相连。优选地，所述锁紧装置的个数至少为两个，各所述锁紧装置均匀分布在所述顶板的四周。优选地，所述弹性件为弹簧。本技术的有益效果在于：本技术的基片固定装置，其顶板与压片之间设置有弹性件，使得载板上的基片受到的压力能够得到较好地缓冲，降低碎片率；同时，通过安装凹槽处的限位台阶面与顶板上的凸台的顶面相挡接，能够对顶板进行较好地限位，有效地避免了顶板继续下压，从而大大地降低了因基片被过度压紧而造成的碎片率。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，并将结合附图对本技术的具体实施例作进一步的详细说明，其中图1为本技术实施例提供的载板的示意图；图2为本技术实施例提供的基片固定装置的侧视图；图3为本技术实施例提供的压紧装置压紧基片时的局部示意图；图4为本技术实施例提供的锁紧装置的示意图；图5为本技术实施例提供的锁紧装置的另一示意图。附图中标记：11、载板12、安装凹槽13、限位槽21、基片31、压紧装置32、顶板321、凸台322、顶面凹槽323、容纳槽33、压片331、压片凹槽34、弹性件41、锁紧装置42、锁紧轴43、锁紧钩431、钩状结构44、扭簧45、第一板451、螺钉46、第二板具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合具体实施例对本方案作进一步地详细介绍。如图1至图3所示，本技术实施例提供了一种基片固定装置，其包括载板11、基片21、压紧装置31以及用于固定载板11与压紧装置31的锁紧装置41，载板11的一面上设置有用于容纳基片21的安装凹槽12，压紧装置31包括顶板32、压片33以及弹性件34，顶板32的一面上设置有与安装凹槽12大小相对应的凸台321，弹性件34设置在凸台321与压片33之间；压紧装置31通过压片33将基片21压紧在安装凹槽12内；安装凹槽12处设置有与凸台321的顶面相挡接的限位台阶面。可以理解的是，在压紧装置31对基片21进行压紧后，再利用锁紧装置41将压紧装置31和载板11锁紧在一起，以使得压紧装置31能够保持对基片21的压紧。本技术实施例提供的基片固定装置，其顶板32与压片33之间设置有弹性件34，使得载板11上的基片21受到的压力能够得到较好地缓冲，降低碎片率；同时，通过安装凹槽12处的限位台阶面与顶板32上的凸台321的顶面相挡接，能够对顶板32进行较好地限位，有效地避免了顶板32继续下压，从而大大地降低了因基片21被过度压紧而造成的碎片率。如图3所示，凸台321的顶面上可以设置有安装盲孔，弹性件34的一端与安装盲孔的孔底相连，弹性件34的另一端与压片33相连，从而能够使得弹性件34被限位在安装盲孔中，避免弹性件34在受压时发生倾斜。可以优选，弹性件34的两端分别与安装盲孔的孔底和压片33焊接连接，以保证连接的牢固性。进一步地，安装盲孔的个数至少为一个，各安装盲孔均匀分布在凸台321的顶面上；弹性件34的个数与安装盲孔的个数相对应，各弹性件34与各安装盲孔一一对应配合。可以优选安装盲孔的个数为多个，采用该方案，通过在凸台321与压片34之间设置多个弹性件，能够起到更好地缓冲作用，进一步降低基片21出现损坏的可能性，降低碎片率。可以优选，安装盲孔和弹性件34的个数均为四个。具体地，压片33的一面的中部位置可以设置有压片凹槽331，从而能够保证在压紧基片21时，使压片33的四周与基片21的四周相接触，而压片33的中部位置不与基片相接触，使得压力分布较为均匀，同时较好地避免了压片33与基片21的镀膜中心部位接触。如图1所示，载板11的一面上可以均布有至少一个安装凹槽12，顶板32的一面上均布的凸台321的个数与安装凹槽12的个数相对应，各安装凹槽12与各凸台321一一对应配合，可以优选安装凹槽12的个数为多个，从而通过顶板32的下压，能够同时实现对多个基片21的压紧，进而有效地提高了镀膜速率。如图4和图5所示，在本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定所述载板与所述压紧装置的锁紧装置，所述载板的一面上设置有用于容纳所述基片的安装凹槽，其特征在于，所述压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，所述顶板的一面上设置有与所述安装凹槽大小相对应的凸台，所述弹性件设置在所述凸台与所述压片之间；所述压紧装置通过所述压片将所述基片压紧在所述安装凹槽内；所述安装凹槽处设置有与所述凸台的顶面相挡接的限位台阶面。

【技术特征摘要】
1.一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定所述载板与所述压紧装置的锁紧装置，所述载板的一面上设置有用于容纳所述基片的安装凹槽，其特征在于，所述压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，所述顶板的一面上设置有与所述安装凹槽大小相对应的凸台，所述弹性件设置在所述凸台与所述压片之间；所述压紧装置通过所述压片将所述基片压紧在所述安装凹槽内；所述安装凹槽处设置有与所述凸台的顶面相挡接的限位台阶面。2.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述凸台的顶面上设置有安装盲孔，所述弹性件的一端与所述安装盲孔的孔底相连，所述弹性件的另一端与所述压片相连。3.根据权利要求2所述的基片固定装置，其特征在于，所述安装盲孔的个数至少为一个，各所述安装盲孔均匀分布在所述凸台的顶面上；所述弹性件的个数与所述安装盲孔的个数相对应，各所述弹性件与各所述安装盲孔一一对应配合。4.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述压片的一面的中部位置设置有压片凹槽。5.根据权利要求4所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板的一面上均布有至少一个所述安装凹槽，所述顶板的一面上均布的所述凸台的个数与所述安装凹槽的个数相对应，各所述安装凹槽与各所述凸台一一对应配合。6.根据权利要求1-5任一项所述的基片固定装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋永明，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11