门阀组件及真空镀膜设备制造技术

本发明专利技术涉及真空镀膜设备密封隔离装置技术领域，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜设备。门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体之间，导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用于驱动阀体升降；导向机构用于在阀体升降时为阀体导向、并用于为阀体和驱动机构承担横向冲击。基于该门阀组件提出了一种真空镀膜设备。该门阀组件使得阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成阀体和驱动机构的破坏，从而有效延长阀体的使用寿命，进而延长装有该门阀组件的真空镀膜设备的使用寿命。

Valve assembly and vacuum coating equipment

The invention relates to the technical field of sealing isolation device for vacuum coating equipment, in particular to a door valve assembly and vacuum coating equipment. The valve assembly includes a base, a valve body, a driving mechanism and a guiding mechanism. The driving mechanism and a guiding mechanism are arranged between the base and the valve body respectively. The guiding mechanism includes at least two guiding mechanisms. The driving mechanism is arranged between at least two guiding mechanisms, and the driving mechanism is used to drive the valve body to rise and fall. The guiding mechanism is used to guide the valve body when the valve body is lifted and to support the valve body and the driving mechanism. Bear lateral impact. Based on the valve assembly, a vacuum coating equipment is proposed. The valve assembly can effectively avoid the damage of the valve body and the driving mechanism caused by the transverse force when the valve body is opened and closed, thus effectively prolonging the service life of the valve body, thereby prolonging the service life of the vacuum coating equipment equipped with the valve assembly.

【技术实现步骤摘要】
门阀组件及真空镀膜设备
本专利技术涉及真空镀膜设备密封隔离装置
，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜设备通常包括多个不同功能的腔室。在真空腔室进行镀膜工艺时，通过阀体使相邻两个腔室之间有效隔离。现有的门阀结构如图1所示，阀体1的两端分别通过固定螺钉5’固定在门框体上，以使门阀1’处于开启常态。门阀1’闭合时，先通过2个气缸2’推动气缸2’顶部的浮动接头3’竖直升起，以使各个浮动接头3’同时顶在门阀1’的底部，然后松开门阀1’与门框连接的固定螺钉5’，则此时门阀1’的整个重量都压在浮动接头3’上，接着控制气缸2’下降，以使得门阀1’最终降落在固定支架4’上。现有门阀的开启需要人为协助，以防止气缸2’升降过程中浮动接头3’由于摆动会顶不到门阀1’的正确位置，避免门阀1’在升降时出现摆动或移位产生故障。同时，气缸2’升降速度只能通过调整节流阀控制，气流大小不易控制，且断气情况下存在损伤门阀1’和伤害操作者的风险。气缸2’本身不能承受较大横向力，上述应用在设备内的门阀1’通常自身重量高达100多公斤，在气缸2’的下降过程中如果受到横向力影响，就会对气缸2’的寿命造成不良影响，甚至导致气缸2’遭受到破坏。
技术实现思路
(一)专利技术目的本专利技术的目的是提供了一种门阀组件及真空镀膜设备，以使阀体在开闭时，避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长该结构的使用寿命。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种门阀组件。该门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构。所述阀体通过升降实现开闭，该门阀组件的阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长该结构的使用寿命。所述驱动机构和所述导向机构分别设置在所述底座和所述阀体之间。所述导向机构包括至少两个，所述驱动机构设置在所述至少两个导向机构之间，所述驱动机构用于驱动所述阀体升降，从而利用驱动机构控制阀体的开启和关闭。所述导向机构用于在所述阀体升降时为所述阀体导向，以提高阀体升降的精确度。且由于驱动机构驱动阀体升降时，驱动机构一旦受到横向冲击将会影响阀体升降的稳定，为了提高阀体升降过程的稳定性，所述导向机构还被用于为所述阀体和驱动机构承担横向冲击。优选的，每个所述导向机构均包括导杆和套筒柱。所述导杆与所述套筒柱相匹配。即是说每个套筒柱分别配设有对应的导杆，导杆与套筒柱的位置上下相对设置，从而使每个导杆和与其相对应的套筒柱共同构成一组导套结构。在每组导套结构中，所述导杆的自由端套设在所述套筒柱内，在所述阀体升降时，所述导杆在套筒柱内随所述阀体的升降而伸缩，从而利用导杆沿套筒柱轴向的伸缩移动限定阀体的移动方向。两个所述套筒柱分别固定在所述底座的两端，两个所述导杆的顶部分别固定在所述阀体的两端，以使所述驱动机构被保护在两组所述导向机构之间，从而使阀体和驱动机构免受横向冲击。优选的，所述驱动机构包括至少两个升降器和同步驱动组件。所述至少两个升降器安装在所述底座和阀体之间，以利用并列的多个所述升降器同步升降，从而提高阀体升降过程的稳定性和结构强度。所述升降器用于带动所述阀体的升降。所述至少两个升降器通过所述同步驱动组件连接。所述同步驱动组件用于带动所述至少两个升降器同步升降。所述同步驱动组件的设置有利于多个所述升降器在升降时具有一致性，从而保证阀体在启闭时更加平稳可靠，避免阀体在移动时发生侧向倾覆。优选的，所述升降器包括立柱、驱动器、伸缩杆和升降法兰。所述立柱竖向固定在所述底座上。并且优选每个立柱的轴线依次沿阀体下表面的中线排列，从而保证升降器在伸缩时的推力方向与阀体的重力相互平行。阀体在升降器的推动下可以稳定升降，避免阀体受力不均而造成倾覆侧翻。所述伸缩杆的一端可伸缩的插装在所述立柱内，所述伸缩杆的另一端安装有升降法兰。所述升降法兰用于与所述阀体固定，以保证阀体在升降时与驱动机构之间可靠连接。利用升降法兰可以保证升降器与阀体之间准确连接，连接位置能够精确预计，并且升降法兰还能更好的避免因浮动接头自身摆动而与阀体的连接不准确的问题。所述驱动器与所述伸缩杆连接，所述驱动器用于限定所述伸缩杆的升降。进一步的，所述驱动器为升降手轮或驱动电机。所述驱动器为升降手轮时能够利用手轮手动调控伸缩杆的升降行程，从而使得阀体的升降更易于控制。并且升降手轮不存在断气时阀体失去支撑力而伤害底座的问题，也不存在人员伤亡的风险。所述驱动器为驱动电机时能够利用电机精确控制伸缩杆的升降行程，从而提高阀体升降的控制精度。更进一步的，当所述驱动器为升降手轮时，该升降手轮包括完全自锁结构。该完全自锁结构能够保证驱动机构在升降过程中的安全性。在利用升降手轮驱动伸缩杆伸缩时，可以将伸缩杆锁定在任一位置，从而将阀体完全锁定在任一高度，以保证人员操作安全。优选的，所述同步驱动组件包括同步带和带轮。每个所述升降器上分别安装有所述带轮，各个所述带轮通过所述同步带连接。同步带在移动时同步带动各个升降机上的带轮转动，从而只需要驱动任一升降器即可带动所有升降器同步升降，进一步提高阀体升降的平稳性和安全性。优选的，所述门阀组件还包括至少两个支撑柱。利用至少两个支撑柱保证在支撑阀体时能够保证阀体的平衡，避免阀体晃动或滑落造成阀体损伤或人员伤亡事故发生。所述至少两个支撑柱一端与所述底座连接,另一端与所述阀体连接，所述支撑柱为定位锁紧结构，所述支撑柱用于对升降至特定位置的所述阀体进行支撑。阀体升起至特定位置时，能够利用支撑柱的定位锁紧结构将阀体固定在该特定位置处，以利用支撑柱对处于特定位置的阀体进行可靠支撑，从而使得阀体处于部分开启或常开状态，有效提高阀体开启后的结构安全性和可靠度，防止开启的阀体掉落造成损伤，也能防止对处于阀体下方的产品或人员造成损伤。进一步的，本专利技术提供了一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括真空腔体和将所述真空腔体密封的门阀组件，所述门阀组件如上所述。安装有该门阀组件的真空镀膜设备的真空腔体具有更高的结构可靠性、密闭性和安全性。该门阀组件使得阀体在开闭时，避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长真空镀膜设备的使用寿命。(三)有益效果本专利技术的上述技术方案具有以下有益效果：该门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体之间，导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用于驱动阀体升降；导向机构用于在阀体升降时为阀体导向、并用于为阀体和驱动机构承担横向冲击。基于该门阀组件提出了一种真空镀膜设备。该门阀组件使得阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成阀体和驱动机构的破坏，从而有效延长阀体的使用寿命，进而延长装有该门阀组件的真空镀膜设备的使用寿命。附图说明图1为现有门阀结构的结构示意图；图2为本专利技术实施例的门阀组件的主视图；图中：1’、门阀；2’、气缸；3’、浮动接头；4’、支架；5’、紧固螺钉；1、阀体、2、升降器；3、同步带；4、导杆；5、带轮；6、套筒柱；7、升降法兰；8、支撑柱。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本申请的范围。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种门阀组件，其特征在于，包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，所述驱动机构和所述导向机构分别设置在所述底座和所述阀体之间，所述导向机构包括至少两个，所述驱动机构设置在所述至少两个导向机构之间，所述驱动机构用于驱动所述阀体升降；所述导向机构用于在所述阀体升降时为所述阀体导向、并用于为所述阀体和驱动机构承担横向冲击。

【技术特征摘要】
1.一种门阀组件，其特征在于，包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，所述驱动机构和所述导向机构分别设置在所述底座和所述阀体之间，所述导向机构包括至少两个，所述驱动机构设置在所述至少两个导向机构之间，所述驱动机构用于驱动所述阀体升降；所述导向机构用于在所述阀体升降时为所述阀体导向、并用于为所述阀体和驱动机构承担横向冲击。2.根据权利要求1所述的门阀组件，其特征在于，每个所述导向机构均包括导杆和套筒柱，所述导杆与所述套筒柱相匹配，两个所述套筒柱分别固定在所述底座的两端，两个所述导杆的顶部分别固定在所述阀体的两端，所述导杆的自由端套设在所述套筒柱内。3.根据权利要求1所述的门阀组件，其特征在于，所述驱动机构包括至少两个升降器和同步驱动组件，所述至少两个升降器安装在所述底座和阀体之间，所述升降器用于带动所述阀体的升降；所述至少两个升降器通过所述同步驱动组件连接，所述同步驱动组件用于带动所述至少两个升降器同步升降。4.根据权利要求3所述的门阀组件，其特征在于，所述升降器包括立柱、驱动器、伸缩杆和升降法兰，...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓东，董志清，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11