本发明涉及一种热处理炉，其包括用于收容被处理体并进行热处理的处理容器，和以覆盖该处理容器的周围的方式设置的对上述被处理体进行加热的圆筒状加热器，其特征在于，上述加热器包括：圆筒状绝热部件；在该绝热部件的内周在轴方向上形成多层槽状的搁板部...

本发明提供原料供应装置，该原料供应装置将原料蒸发或升华并将其供应到蒸镀装置的处理容器中，该原料供应装置具有在内部保存所述原料的原料容器、向所述原料容器的内部供应运载气体的气体流入口、以及将与所述运载气体一起被蒸发或升华的所述原料供应到所...

本发明提供一种加热器线材的寿命预测方法，在应用于热处理装置的加热器线材断线之前对其寿命事先进行预测时，通过利用加热器线材的断线的征兆容易显现的期间（例如升温期间）的数据，能够比现有技术更准确地预测加热器线材的寿命。在对晶片进行热处理之前...

本发明提供一种热处理炉和立式热处理装置，能够急速升降温度并提高耐久性。该热处理炉（２）包括用于收纳被处理体（ｗ）并对其进行热处理的处理容器（３）和以覆盖该处理容器（３）外周的方式设置的、用于加热被处理体（ｗ）的圆筒状加热器（５）。该加热...

本发明提供一种能够进一步提高温度均一性的基板载置机构。其包括：埋设有发热体（１０２）的石英制加热器主体（１０１）；和在石英制加热器主体（１０１）的被处理基板载置面（１０３）上装载的耐腐蚀性陶瓷部件（１０４）。

本发明提供热处理炉及其制造方法，减少电阻发热体热膨胀收缩时支撑体与电阻发热体间的摩擦阻力，抑制电阻发热体因残留应力发生的永久变形，提高耐久性。热处理炉包括：收容被处理体并进行热处理的处理容器；包围处理容器的筒状隔热件；沿着该隔热件内周面...

本发明提供一种载置台结构和热处理装置，通过向发热板收容容器内可装卸地设置发热板而构成载置台，能更换或交换发热板。载置台结构（２９）具有：载置台（３２），其被配置在处理容器（４）内，为了对被处理体Ｗ实施规定热处理而载置被处理体；和筒体状的...

一种电容检测电路（１０）包括交流电压发生器（１１）、同相输入端子连接在给定电位上（在本例子中，接地）的第一运算放大器（１４）、构成电压跟随器的第二运算放大器（１６）、连接在交流电压发生器（１１）与第一运算放大器（１４）的反相输入端子之间...

本发明公开了一种传感器电容检测装置及传感器电容检测方法，其中，在第一运算放大器ＯＰ↓［１］的反馈电路中串联插入电容Ｃ及阻抗变换器Ｈ↓［ｉｚ］，在所述电容与变换器的连接点上通过信号线Ｌ连接有电极Ｐ↓［１］。信号线Ｌ通过高阻值的电阻Ｒ↓［３...

本发明公开了一种电容检测电路、电容检测装置及麦克风装置，其中，所述电容检测电路包括交流电压发生器（１１）、同相输入端子连接在给定电位（在本实施例中，接地）上的运算放大器（１４）、阻抗变换器（１６）、连接在交流电压发生器（１１）与运算放大...

本发明公开了一种电位固定装置及电位固定方法，其中，所述电位固定装置连接在第一电容（１４）以及与所述第一电容直接相连的第二电容（１５）这两个电容之间的连接线（１７）上，并包括连接在所述连接线上的输出端子（５）和电压供给部件（１），所述电压...

本发明提供了一种电位固定装置，即使在第一电容与第二电容直接相连的情况下固定了第一电容与第二电容之间的连接线的电位时，也可以防止第一电容与第二电容之间的连接线的合计总电荷量变化。该电位固定装置具有第一高电阻（３）及第二高电阻（４），并配有...

一种电容检测电路（１０），其中，包括直流电压发生器（１１）、同相输入端子连接在给定电位上的运算放大器（１４）、阻抗变换器（１６）、连接在直流电压发生器（１１）与运算放大器（１４）的同相输入端子之间的电阻（Ｒ１）（１２）、连接在运算放大器...

包括彼此相对设置的振动板（１１）和平面形状的背电极（１２）的电容检测型传感器元件（１０）包括固定部（１４），该固定部（１４）靠近振动板（１１）的各个边而设置，并在靠近振动板（１１）的一侧具有规定长度的边。背电极（１２）被固定部（１４）以...

一种二值化方法，将拍摄基板上的电极极板得到的原图像二值化。该方法具备如下步骤：电极图像处理步骤，利用第一阈值将原图像二值化，生成电极的二值图像；接触痕迹区域算出步骤，根据电极的二值图像算出包含被假设为物体接触电极得到的痕迹的部分的接触痕...

本发明提供了一种提高机器生产率的系统及方法。销售方计算机（２６）经过通信线路（１００）获得由设在机器（１０）上的监视设备（１８）获得的运行状态数据，并对机器（１０）的运行状态进行远程监视。机器（１０）还发送进行部件替换时的维护数据，而接...

本发明公开了一种用于远程进行各种装置的维护、诊断的维护、诊断数据存储服务器，维护、诊断数据的存储、获得系统以及存储、提供系统。本发明通过存储关于装置的维护、诊断数据，检测经由第一网络并通过第一防火墙发送的数据访问请求，根据检测到的数据访...

本发明涉及一种不在每个装置上设置终端装置或不在每个装置上设置用于转换式地连接一台共用终端装置的连接接头，从终端装置就能操作装置的机构部的装置调整系统。本发明的装置具有可调整的机构部（５０）、调整机构部的控制部（３０）和在与终端（２）之间...

检测在预定时间内从网络接收的分组的数量。当分组的数量超过预定值时，将终端装置从网络逻辑断开。在经过了预定的时间之后，将终端装置重新连接到网络上。这样，当由该终端装置接收的分组的数量异常增大时，所述终端装置从网络被断开，从而可以继续进行与...

本发明提供一种利用输送系统的被处理体输送方法，其中，所述输送系统包括：半导体处理装置，具有第一交接机构和第一光耦合并列Ｉ／Ｏ通信接口（以下称为第一接口）；和自动输送装置，具有第二交接机构和第二光耦合并列Ｉ／Ｏ通信接口（以下称为第二接口）...