基于无线通信可调整的装置、装置调整方法和装置调整系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种不在每个装置上设置终端装置或不在每个装置上设置用于转换式地连接一台共用终端装置的连接接头，从终端装置就能操作装置的机构部的装置调整系统。本发明专利技术的装置具有可调整的机构部（５０）、调整机构部的控制部（３０）和在与终端（２）之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信部（４０），控制部（３０）包括发送到终端的数据的作成部（３１）、从终端所接收的数据的分析部（３３）以及基于分析的数据调整机构部的调整部（３５）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于无线通信可调整的装置、装置调整方法以及装置调整系统。
技术介绍
目前，为了调整例如象扩散装置这样的半导体制造装置的机构部，使用装置本体的操作盘或通过电缆外附在装置上的终端装置。例如，使用机构部的调整用终端即调整终端时，在每个装置上设置调整终端，或在每个装置上设置用于转换式地连接一台共用终端的连接接头(connecting connector)。但是，因为调整终端在装置正常工作时不使用，所以设置装置台数相同数目的调整终端在空间上是白白地浪费。另外，通过接头连接使用共用终端时，由于反复接头的拔出插入，有可能导致接点的恶化这样的信赖性降低。而且，使用利用电缆连接的调整终端调整装置的机构部的动作时，电缆成为操作障碍或因电缆长度等的制约，操作人员不能以自由的姿势操作。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述问题而完成的，其目的是提供一种不在每个装置上设置终端装置或不在每个装置上设置用于转换式地连接一台共用终端装置的连接接头、从终端装置就能操作装置的机构部的装置调整系统。为了实现上述目的，本专利技术为了使用调整终端这样的终端操作例如半导体制造装置或液晶制造装置这样的装置，在装置和终端之间利用无线通信机能。利用本专利技术的第一方面提供的装置是通过无线通信可以调整的装置，具有可调整的机构部、和连接于上述机构部并调整上述机构部的控制组件，还具有连接于上述控制组件、在与终端之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信单元，上述控制组件包括作成向终端发送的数据的单元、分析从终端接收的数据的单元、和基于分析的数据调整上述机构部的单元。利用本专利技术的第二方面提供的装置调整系统是包括含有可调整的机构部以及调整上述机构部的控制部的装置、和送出调整上述装置的上述机构部的指令的终端的装置调整系统，上述装置还具有连接于上述控制组件、在与终端之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信单元，上述控制组件包括作成向终端发送的数据的单元、分析从终端接收的数据的单元、和基于分析的数据调整上述机构部的单元，上述终端具有在与上述装置之间进行无线通信的无线通信单元、和显示来自上述装置的数据并将数据输入到上述装置的接口单元。利用本专利技术的第三方面提供的装置调整方法是从终端调整具有可调整的机构部的装置的上述机构部的装置调整方法，具有将无线通信连接请求信息从上述终端发送到上述装置的工序、和将无线通信连接确认信息从上述装置发送到上述终端的工序、和在上述终端和上述装置之间以一对一的对应关系建立无线通信连接的工序、和将上述装置的上述机构部的调整指令信息从上述终端发送到上述装置的工序、和在上述装置中基于上述调整指令信息调整上述机构部的工序。利用本专利技术的第四方面提供的装置调整方法是从终端调整具有可调整的机构部的装置的上述机构部的装置调整方法，具有确定由多台装置构成的装置小组的工序、和将无线通信连接请求信息从上述终端发送到上述装置小组的上述多台装置的工序、和将无线通信连接确认信息从上述装置小组中的装置发送到上述终端的工序、和在上述终端和发送上述无线通信连接确认信息的上述装置之间以一对多的对应关系建立无线通信连接的工序、和将该装置的上述机构部的调整指令信息从上述终端发送到建立了无线通信连接的上述装置的工序、和在接受了上述调整指令信息的上述装置中、基于上述调整指令调整上述机构部的工序。因为只要利用本专利技术的各种方式就可以在装置和终端之间建立无线通信连接，所以可以将终端的台数抑制到必要最低限，而且由于终端的使用场所或连接接头的设置场所不受限制，可以实现使用终端的作业的效率提高。本专利技术的其它目的是通过参照附图阅读后面的详细说明，本专利技术的特征、机能、优点变得更加明确。附图说明图1是本专利技术的实施例1的半导体制造装置调整系统的构成图。图2是本专利技术的实施例1的机构部调整处理的流程图。图3是本专利技术的实施例2的无线终端的构成图。图4是本专利技术的实施例2的半导体制造装置的构成图。图5是本专利技术的实施例3的排他的连接方式的说明图。图6是本专利技术的实施例3的排他的连接处理的流程图。图7是本专利技术的实施例4的小组连接方式的说明图。图8是本专利技术的实施例4的小组连接处理的流程图。具体实施例方式以下，参照附图说明本专利技术的实施例。本专利技术并不限定于这些实施例而可以在权利要求所记载的事项范围内以多样的方式实施。图1是本专利技术的实施例1的半导体制造装置调整系统的构成图。本实施例的半导体制造装置调整系统由半导体制造装置1和用于操作半导体制造装置1的无线终端2构成。半导体制造装置1和无线终端2以进行无线通信的方式构成。在本专利技术的实施例1中，作为无线通信技术，利用基于作为10m左右的近距离无线通信的接口规格的蓝牙(Bluetooth)的通信机能。半导体制造装置1是半导体制造的工序例如成膜处理、扩散处理、蚀刻处理等使用的装置。半导体制造装置1是具有可调整的机构部50、连接于机构部50并调整机构部50的控制部30的装置。机构部50例如是半导体制造装置1的搬送系统。无线终端2被利用于操作例如半导体制造装置1的机构部50。更具体地，利用于搬送系统的示教等、使用无线终端2可以指示狭孔的位置或载置器的位置。无线终端2例如可以通过具有利用蓝牙的通信机能的PDA终端来实现。半导体制造装置1还具有连接于控制部30、在与无线终端2之间建立连接并在与无线终端2之间收发数据的无线通信部40。另外，控制部30包括作成发送到无线终端的数据的数据作成部31、将从无线终端接收的数据分析的数据分析部33、和基于分析过的数据调整机构部50的机构部调整部35。通过将调整时必要的数据、变换机能搭载于半导体制造装置1侧，可以使无线终端2侧的构成简单化，可以利用广泛使用的终端作为本专利技术实施例的无线终端。接着，利用本专利技术的实施例1来说明根据来自无线终端2的指令在半导体制造装置1侧进行的机构部50的调整处理。图2是机构部调整处理的流程图。步骤1无线通信部40根据来自无线终端2的要求、在与无线终端2之间建立无线通信连接。该图虽没有图示，但在不能建立无线通信连接时，对无线终端2通知连接的失败。步骤2控制部30从机构部50取得机构部的现在状态(机构部状态)、通过无线通信部40、将机构部状态发送到无线终端2。在无线终端2侧，机构部状态以操作人员可识别的方式被提示。步骤3控制部30通过无线通信部40在无线终端2侧接收操作人员输入的操作指令。步骤4控制部30的数据分析部33判断从无线终端2接收的操作指令是否是连接切断指令，如果不是连接切断指令就进入步骤5。是连接切断指令时，进入步骤8。步骤5控制部30的数据分析部33判断从无线终端2接收的操作指令是否是机构部调整指令，如果是机构部调整指令就进入步骤6。如果不是机构部调整指令时，进入步骤7。步骤6控制部30的机构部调整部35基于从无线终端2接收的机构部调整指令调整机构部50并回到步骤2。具体的调整例是搬送系统的移动等。步骤7因为来自无线终端2的操作指令不是机构部调整指令，所以控制部30实行对应于该操作指令的适当动作例如机构部状态的通知等，回到步骤2。步骤8因为来自无线终端2的操作指令是无线通信连接的切断指令，所以无线通信部40切断与无线终端2的无线通信连接。由此，一系列的机构部调整处理结束。另外，以半导体制造本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于无线通信可调整的装置，其特征在于，具有：可调整的机构部；和连接于所述机构部并调整所述机构部的控制组件，还具有连接于所述控制组件、在与终端之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信单元，所述控 制组件包括：作成向终端发送的数据的单元；分析从终端所接收的数据的单元；和基于所分析的数据调整所述机构部的单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：千叶充，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]