提高机器生产率的系统及其方法技术方案

本发明专利技术提供了一种提高机器生产率的系统及方法。销售方计算机（２６）经过通信线路（１００）获得由设在机器（１０）上的监视设备（１８）获得的运行状态数据，并对机器（１０）的运行状态进行远程监视。机器（１０）还发送进行部件替换时的维护数据，而接收到维护数据的销售方计算机（２６）则根据这些数据算出部件的最佳替换周期。算出的各部件的最佳替换周期被发送到工厂（１０１）中。在工厂（１０１）一侧，将最佳替换周期反馈到机器（１０）的使用中，从而，能够提高生产率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，更具体地说，例如涉及通过能够对生产电子器件等的机器进行远程监视，来提高机器的利用率(可動率)等，从而提高生产率的生产率提高系统及其方法。
技术介绍
近年来，随着制造者之间的开发竞争的更加激烈化，工业产品，尤其是电子器件产品的寿命的制造者，提供一种能够确保、维持产品的高生产率的制造设备。更具体地说，就是要求提供在相同的时间内能够制造出更多产品的，或者能够用更少的设备生产出相同数量的产品的制造设备。为了确保以及维持高生产率，需要有效地使用用于生产产品的机器。在工厂中，用于生产的机器的使用管理，通常，是以利用率为指标进行的。一般来说，机器的利用率，虽然在设备制造者的试验条件下其值是一定的，但是，会根据客户的利用条件的不同而不同。这里，机器的利用率在提供机器的销售商和作为用户的制造者之间决定。例如，对于某一台机器，当设定利用率为90％的运行标准时，使用机器的制造者及提供机器的技术支持(support)的销售商为了使机器的运行状态达到上述值，对机器进行维护管理。维护管理大致可分为改良维护、事后维护及预防维护。一般的，在开始使用机器的初期，主要进行改良维护来使机器稳定运行。然后，在机器达到规定的利用率，并达到稳定运行的状态后，为了维持机器的运行状态，事后维护及预防维护变得很重要。事后维护是指在机器发生故障以后进行的、事后的维护管理。同时，预防维护是指鉴别可能会发生故障的部分，并对该部分重点进行维护管理的、预防性维护管理。此外，利用率可以用/(可运行时间)×100％来表示。所述的可运行时间就是机器能够处于运行状态的时间。因此，可运行时间减去停止时间得到的值表示机器的有效(实际)运行时间。由此式可知，要想获得高利用率来确保高生产能力，就需要缩短机器的运行停止时间。众所周知，作为缩短停止时间的方法有将进行机器维护管理(事后维护)的维护管理系统自动化，从而缩短如发生故障时的突发的停止时间。上述可以通过，例如，对在销售商和制造者(用户)之间进行的、有关机器的运行状态、故障状况等的信息交换实行网络化、自动化来进行。日本专利特开平11-15520号公报公开了一种使这种事后维护更有效的、仅在销售商和制造者之间进行的远程监视(远程维护)系统。上述所公开的远程维护系统由配置在多个工厂中的机器、配置在各工厂中并用于监视的主计算机、配置在供应机器的销售商企业中并用于管理的计算机构成，其中，所述用于管理的计算机与工厂方的主计算机通过通信线路连接。工厂(制造者)方的主计算机时常监视着机器。另一方面，销售方的主计算机监视是否有故障发生的报告，若有故障发生的报告则获得该报告。然后，销售方的主计算机对故障发生的报告进行分析，向工厂方发送对策信息。但是，对于上述所公开的远程系统，用于监视的主计算机直接与设备连接，构成发送信息的结构，然而从安全的角度考虑，监视和信息的发送最好能分别进行。而且，因为生产是设备的最主要任务，所以，这种将包含用于远程维护的数据外、还包含其它数据的大量数据经主计算机向销售方发送的方法，很有可能会降低设备的生产能力，因此并不现实。但是，近年来，并不是「损坏之后再修理」的事后维护，而是「损坏之前就进行修理」的预防维护逐渐成为主流。预防维护能够预防故障发生于未然，并且，充分的预防维护还能够减少设备的突发性停止。但是，在进行预防维护的时候需要停止机器，因此，频繁或低效率的预防维护也会使机器的利用率降低、抑制机器的生产率。然而，预防维护可以不是突发性的，而是有计划的维护，从而可以有计划地进行生产。因此，作为用于确保机器高利用率的系统，应该是一种能够有效地进行包含预防维护的维护管理的系统。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供一种提高机器生产率的系统及方法。并且，本专利技术的另一目的是提供一种能够有效进行机器的维护管理的系统及方法。为了达到上述目的，本专利技术的第一技术方案的是一种为了提高机器生产率而对所述机器进行远程监视的系统，其特征在于，具有接收装置，通过通信与所述机器连接，从所述机器接收表示所述机器运行状态的运行信息；监视装置，根据在所述接收装置中接收的运行信息，监视所述机器。根据上述结构，所述监视装置根据所述运行信息，通过通信进行远程监视。这样，通过通信直接连接机器和监视设备，可以对机器进行实时监视，进而能够进行有效的维护管理。所述监视装置根据所述运行信息，检测所述机器的故障，并且在确定了该机器的故障部件时，可以进行用于替换该故障部件的部件的订购处理或订购准备处理。于是，能够减少由于没有库存部件等而使机器停止运行的时间，进而能够进行高效的维护管理。所述监视装置，也可以根据所述机器的运行信息导出该机器最佳定期检查周期，并将导出的该机器最佳定期检查周期反馈给所述机器。所述接收装置还可以从所述机器接收与所述机器的替换部件有关的维护数据。此时，所述监视装置根据在所述接收装置中接收的维护信息，监视所述机器。于是，在该监视装置中，几乎能够实时掌握关于机器的维护数据。所述维护数据是在替换构成所述机器的部件时获得的、与该部件的替换时间、种类、使用时间有关的数据。同时，所述监视装置可以根据所述维护数据导出所述部件的最佳替换周期，并反馈给所述机器。于是，能够通过将导出部件的最佳替换周期发送到机器一侧，并反馈到机器的使用上，来提高机器的生产率。所述监视装置也可以根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或者订购准备处理。于是，能够减少由于没有库存部件等而使机器停止运行的时间，进而能够进行高效的维护管理。所述运行信息可以包含，所述机器对所述被处理件进行规定处理的规定工序的处理条件参数。所述处理条件参数可以包含所述机器容器(chamber)内的温度、压力、气体流量或者它们的组合。根据所述结构，监视装置(例如，计算机)可以从各种参数的变化知道机器的运行状态。通过各种参数的变化来判断机器状态，能够进行高可靠性的远程监视。同时，除了设备销售商指定的方法以外，设备用户有时也自行设置参数来排除这种简单错误，从而能够获得高利用率。所述运行信息也可以包含图像数据。即，可以具有如下结构在机器上设置传感器装置，使用作为该传感器装置的摄像设备来获得与机器的运行状态有关的图像数据，并根据获得的图像数据对机器进行监视。于是，能够从多个方面对机器的运行状态进行监视。所述运行信息也可以包含所述机器的成品率(步留まり)数据。所述运行信息还可以包含用所述机器处理的被处理件的数量。所述机器可以是半导体器件或液晶显示器件的制造设备。为了达到上述目的，本专利技术的第二技术方案是一种系统，其特征在于，具有机器，所述机器具有传感装置，能够获得表示机器运行情况的运行信息；及发送装置，发送在所述传感装置中获得的运行信息；监视设备，所述监视设备具有接收装置，通过通信与所述机器连接，接收由所述机器的发送装置发送的运行信息，及监视装置，根据在该接收装置中接收的运行信息，监视所述机器。根据上述结构，监视设备根据在机器自身具有的传感装置中获得的机器自身的运行状态数据，通过通信对机器进行远程监视。这样，通过通信直接连接机器和远处的监视设备，从而能够在监视设备上对机器进行实时监视，进而能够进行有效的维护管理。所述监视装置检测所述机器的故障，并在确定了该机器的故障部件时，可以进行用于替换该故障本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种系统，该系统是为了提高机器（１０）的生产率而对所述机器（１０）进行远程监视的系统（２６），其特征在于，具有：接收装置（２８），通过通信与所述机器（１０）连接，从所述机器（１０）接收表示所述机器（１０）的运行状态的运行信息 ；监视装置（２７），根据在所述接收装置（２８）中接收的运行信息，监视所述机器（１０）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：唐泽涉，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]