本发明的目的在于提供一种能够高密度地层积被加热物、进行热处理的热处理装置。热处理装置（１）在加热室（３ａ）的内部具有架（１０）。在架（１０）的框部件（１１）内，配置有层积了多个架部件（２０）的部件。架部件（２０）具有基部（２１）和与其的...

用于试验电子装置和机械部件等物品以查看其可如何耐受热严酷环境的系统，该热严酷环境由通过并经由进入流路和排出流路与试验部连通的供应部所供应的热媒介产生，其中在进入的媒介和排出的媒介之间实现热交换，以便获得冷或热的剩余焓并用于后续使用。

对用于试验电子装置和机械部件等物品以查看其可如何耐受热严酷环境的试验机供应热媒介的系统，该热严酷环境由与试验机连通的供应部所供应的热媒介产生，其中在进入的媒介和排出的媒介之间实现热交换，以便获得冷或热的剩余焓并用于后续使用。

本发明提供一种热处理装置，其包括绝热炉，该绝热炉具有：热处理部，对被处理物进行热处理；空气调整部，对空气进行加热、循环；光催化装置，分解对所述被处理物进行热处理时产生的升华物；以及采光装置，将外部的光采集到所述绝热炉内，其中，所述光催化...

本发明提供板状被处理体的冷却装置和安装有该装置的热处理系统。板状被处理体冷却装置（１）包括板状被处理体（９０）的配置部（１１）和由上侧冷却部（２０）与下侧冷却部（３０）构成的冷却部。上侧冷却部（２０）和下侧冷却部（３０）配置在被处理体配...

一种具有过滤器排尘处理功能的热处理装置，净化炉是在入口框（１）处通过夹入衬垫（２）安装过滤器（３）、并使气体从具有送风机（４）的热处理用气体循环路径（５）经过过滤器（３）进入到热处理室（６）内的装置，具有将在衬垫的室内侧形成的间隙部分（...

在一个实例中，管道系统（２０）设置在导线（伸长挠性部件）（２５）周围。进口管（２１）和出口管（２２）通过多个管支架（２６）彼此平行地固定在导线（２５）两侧。此外，绝热器支架（２７）连接到导线（２５），且绝热部（２８）连接到绝热器支架（２...

为开发可以有效的间距将工件配置于热处理室内，并可高效地热处理大量工件的热处理装置，物品热处理装置１具有热处理槽２，在其内部具有物品热处理室１１。在物品热处理室１１的正面侧设有用于将物品搬入或搬出的开关部２５。开关部２５是由多个长形开关片...

一种大幅度地减小热处理时的弯曲、提高热处理后的质量的基板支承构造及其装载容器和机械手。基板支承构造，由吊架（２），和在吊架（２）中设置有多层以两点支承基板（Ｗ）的基板支承（１），和具有插入基板间隔内时在基板支承（１）的间隔的中央部分（Ｗ...

一种热处理装置，以设在热处理室内的支撑装置支撑多层平板状的被处理物、并从所述热处理室的开口部逐个取放所述被处理物进行热处理，其特征在于：　　　　所述支撑装置被设成保持在一定位置，所述多层由多个层组成的多组构成，　　　　包括：以堵塞所述开...

本发明的目的在于提供一种可高密度地装载被加热物并进行热处理的热处理装置和具有该热处理装置的热处理系统。热处理系统（１）具有移载装置（２）和热处理装置（１０）。热处理装置（１０）构成为：在热处理室（１３）内具有机架（３０），在其上下方向安...

本发明提供一种能抑制升华物质堆积在导出管道内的热处理装置。热处理装置（１Ａ）在把被处理工件（Ｗ）收容在其热处理部分（２１）内的状态下，通过在使所述热处理部分（２１）内的空气进行循环的同时对其加热，来对被处理工件（Ｗ）进行热处理，并且通过...

本发明提供一种热处理装置，这种热处理装置通过把多个中空状的壁部结构部件组合在一起，形成具有外壁和内壁的热处理槽，所述内壁在该外壁的内侧形成长方体形状的热处理空间，其中，所述各壁部结构部件具有相当于所述热处理空间角部的部位，并且在与所述热...

本发明提供一种热处理装置，其包括：热处理部件，在把被处理件装入到热处理部分内的状态下，通过使所述热处理部分内的空气边循环边加热，来对所述被处理件进行热处理；换气装置，通过把外部气体加热后送入到所述热处理部分内，并且把所述热处理部分内的空...

本发明提供一种热处理装置，可以使热处理时从被热处理物产生的升华物难以通过气体导出孔流出。热处理装置包括装置主体，装置主体具有：热处理室，收容被热处理物，该被热处理物可以从热处理室中取出；以及加热室，与热处理室联通，其中，在加热室内，对通...

本发明提供一种热处理装置，可以在防止鼓风机或加热器出现故障的状态下清洗热处理部，包括：热处理部，具有分别与热处理室连通的气体导入部及气体导出部，热处理室用于收容被热处理物，被热处理物可从热处理室取出；以及气体处理部，具有气体通道，该气体...

本发明的目的是提一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置。热处理装置（１）包括具有用于向基板处理部（５）供给热风的热风供给部件（１４）的空气调整部（１１）、以及用于对基板进行热处理...

为了实现几乎没有热损失的、具有高洁净性能的、而且降低设备负担的洁净烘箱，本发明的洁净烘箱（１）中，在环境气体的压力相等的连接部（Ｂ）和连接部（Ｃ）处，使设置于炉外的输送管（１１）与炉内连接，以连接该连接部（Ｂ）和连接部（Ｃ），输送管（１...

本发明提供一种附设于热处理单元上的气体处理单元。热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，所收容的被热处理物可从热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与热处理室连通。气体处理单元包括：气体通道，具有通过第一连接部可拆卸地与气体导...

本发明提供一种通过缩短玻璃基板的热处理时间来降低玻璃基板的收纳枚数从而能够实现外形的小型化的玻璃基板处理装置。玻璃基板处理装置（１）具有加热室（２），加热室（２）被由众所周知的隔热材料制成的隔热壁（３）覆盖住６面。在加热室（２）上安装有...