【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及玻璃基板等薄层基板的薄层基板制造方法，薄层基板移载装置以及用于薄层基板移载的吸附垫。
技术介绍
一直以来，利用玻璃基板制造液晶模块的技术为大家所熟悉，液晶模块是通过在玻璃基板上形成构成画面的多个象素，和形成用于显示动作的薄膜晶体管等而制造出来的。例如，在薄膜晶体管的制造工序中，不断地重复进行对玻璃基板涂敷导电材料的涂敷工序、对其上面涂敷作为感光材料的抗蚀剂的涂敷工序、用光掩模形成各层的电路图形的曝光工序的、显影工序、以及蚀刻工序，直至形成所需要的层数布置为止。而且，在这些各工序间根据需要设置了以高温实施烘烤处理的处理室。在处理室之间设置有用于将处理后的基板移送到下一工序处理室的基板移载装置。在基板移载装置的能够转动及伸缩的机械臂前端上设置有载置玻璃基板的机械手。在这个机械手部上配备了所需数量的吸附垫，这些吸附垫具有吸附玻璃基板的环形的侧壁。另外，玻璃基板载置、吸附在吸附垫上被传送至下一道工序，但是当前一工序为烘烤处理时，若常温的吸附垫接触到被加热至例如200摄氏度以上的基板下面，则吸附垫的冷热(相对而言温度较低)将会传递给玻璃基板使其发生局部降温...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种薄层基板移载用吸附垫，用于吸附薄层基板，其特征在于由具有环形侧壁的有底桶状体构成，该桶状体在底部的局部形成有吸引孔，所述侧壁部的前端形成为前方收窄的锥状。2.根据权利要求1所述的薄层基板移载用吸附垫，其特征在于侧壁部的外周面一侧形成为锥状。3.根据权利要求1或2所述的薄层基板移载用吸附垫，其特征在于侧壁部的前端端面的径向尺寸为0.1mm～0.5mm。4.根据权利要求3所述的薄层基板移载用吸附垫，其特征在于侧壁部的前端端面的径向尺寸为0.2mm。5.根据权利要求1～4中任一项所述的薄层基板移载用吸附垫，其特征在于侧壁部由吸引孔侧的小直径的基部侧壁、前端侧的大直径的前端侧壁、以及连接基部侧壁和前端侧壁的连结部而构成，所述前端侧壁与所述连结部连接的附近部分的壁厚为0.5mm～1.0mm。6.根据权利要求5所述的薄层基板移载用吸附垫，其特征在于连结部的壁厚为0.5mm～1.0mm。7.根据权利要求1～6中任一项所述的薄层基板移载用吸附垫，其特征在于侧壁部为圆形。8.根据权利要求1～7中任一项所述的薄层基板移载用吸附垫，其特征在于在侧壁部的内径侧等直径且圆周方...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中秀树，安宾桢，萧厚彦，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，中华映管股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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