热处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能抑制升华物质堆积在导出管道内的热处理装置。热处理装置（１Ａ）在把被处理工件（Ｗ）收容在其热处理部分（２１）内的状态下，通过在使所述热处理部分（２１）内的空气进行循环的同时对其加热，来对被处理工件（Ｗ）进行热处理，并且通过一面将外部空气加热后送入所述热处理部分（２１）内，一面使所述热处理部分（２１）内的空气流入导出管道（５）内，对所述热处理部分（２１）的内部进行换气。在所述导出管道（５）中设置有催化剂（６），在对所述被处理工件（Ｗ）进行热处理的过程中分解由该被处理工件所产生的升华物质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对被处理工件进行热处理的热处理装置。
技术介绍
以往，公知的热处理装置，是在把被处理工件收容在其热处理部分 内部的状态下， 一边使上述热处理部分内的空气进行循环， 一边对其加 热，借助于这种加热空气对上述被处理工件进行热处理。这种热处理装置，在制造FPD (平板显示器)时，可用于光刻胶和 有机物薄膜的预烘干工序、后烘干工序等工序。在这些工序中，在对由 玻璃基板等构成的被处理工件进行热处理的过程中，光刻胶等中所含有 的挥发性成分会气化，产生大量的升华物质，这种升华物质经过再结晶 后，会产生飞散到热处理装置的周围，或者附着在其周围等问题。作为这一问题的对策，例如在特开平10-141868号公报中，记载了 这样的方案 一方面通过对外部空气进行加热后再送入上述热处理部分 中，另一方面，又使上述热处理部分内的空气流入导出管道内，借此对 上述热处理部分的内部进行换气。这样，借助于对热处理部分的内部进 行换气，就能抑制升华物质的再结晶和向周围的附着。可是，在进行上述这种换气的情况下，从热处理部分流出来的空气 在流过导出管道内的过程中会冷却，因而存在升华物质堆积在导出管道 内的可能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热处理装置，在把被处理工件收容在其热处理部分内的状态下，通过在使所述热处理部分内的空气进行循环的同时对其加热，来对所述被处理工件进行热处理，并且通过一面将外部空气加热后送入所述热处理部分内，一面使所述热处理部分内的空气流入导出管道内，对所述热处理部分的内部进行换气，其特征在于，在所述导出管道中设置有催化剂，在对所述被处理工件进行热处理的过程中分解由该被处理工件所产生的升华物质。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长野由龟雄，手钱永充，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]