机架、机架系统、热处理装置和热处理系统制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种可高密度地装载被加热物并进行热处理的热处理装置和具有该热处理装置的热处理系统。热处理系统（１）具有移载装置（２）和热处理装置（１０）。热处理装置（１０）构成为：在热处理室（１３）内具有机架（３０），在其上下方向安装有多个架部件（４０）。架部件（４０）以与平行配置的３根横梁（４１）大致正交的方式配置和接合纵梁（４２），移载装置（２）的手部（３）沿着纵梁（４２）插入，进行基板的存取。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及配置基板等板状体用的机架、具备该机架的机架系统、对板状体进行热处理用的热处理装置、和具备该热处理装置和上述机架的热处理系统。
技术介绍
迄今，提供了具有下述专利文献1、2所述的热处理装置或具备该热处理装置的热处理系统。热处理装置为利用机械手等移载装置，在装载层的间隔中，进行预先在玻璃板等基板(板状体)上涂布特定的溶液并加热干燥的基板的存取，使基板暴露在导入热处理室内的规定温度的热风中而进行热处理(烧制)的装置。热处理装置在液晶显示器(LCDLiquid Crystal Display)或等离子体显示器(PDPPlasmaDisplay)，有机EL显示器等的平板显示器(FPDFlat Panel Display)的制作中使用。多数热处理装置具有在热处理室内配置下述专利文献2所述的装载装置的结构。装载装置具有在上下方向设置有多个装载层的笼状的形状，其中装载层由在上下方向上的多个基板支撑物构成。为了进行基板的存取或更换而使用的机械手，由于基板的重量会产生弯曲。因此，现有技术的大部分热处理装置预见到机械手的弯曲，扩大配置基板的装载层之间的间隔而构成。日本专利第2971771本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机架，其特征在于，其在上下方向设置有多个能够配置板状体的架部件，能够从侧面沿着架部件进行所述板状体的存取，所述架部件具有：在与相对于机架进行板状体存取的方向交叉的方向延伸的多个横梁，和沿着所述存取方向延伸的纵梁，由该纵梁 连接２个以上的横梁，在上下方向邻接的架部件彼此之间，即纵梁的侧面，形成有沿着纵梁延伸的空间，作为用于进行板状体存取的移载装置的动作区域起作用。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：神田敏朗，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]