【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种对被处理物进行热处理的热处理装置。
技术介绍
目前公知的热处理装置,在将被处理物收容于热处理部内的状态下, 一边使所述热处 理部内的空气循环, 一边对被处理物进行加热,由此对所述被处理物进行热处理。这种热处理装置,例如用于液晶显示器或者等离子显示器等平板显示器(Flat Panel Display :平板显示器)的制造上。此外,该热处理装置还可用于,将预先涂抹了特定溶 液后加热干燥的玻璃板等基板(被处理物)放入所述热处理部内,使其接触循环于热处理 部内的规定温度的热风,从而对该被处理物进行热处理(煅烧)。在所述热处理装置中,利用规定温度的热风对所述被处理物进行热处理时,伴随着热 处理的进行,涂抹在被处理物上的特定溶液等发生气化(升华),产生挥发性有机化合物 (Volatile Organic Compounds: VOC)等升华物。该升华物,受到向所述热处理部内放进、取出被处理物时产生的温度下降的影响,或 者受到为了换气而导入的外部空气的影响,进行再结晶,导致该再结晶的升华物附着在热 处理装置的内部,降低被处理物质量等问题。为了解决所述问题, ...
【技术保护点】
一种热处理装置,其特征在于包括绝热炉,该绝热炉具有:热处理部,对被处理物进行热处理;空气调整部,对空气进行加热、循环;光催化装置,分解对所述被处理物进行热处理时产生的升华物;以及 采光装置,将外部的光采集到所述绝热炉内,其中,所述光催 化装置设置在所述采光装置所采集的光能够照射并且与所述循环空气接触的位置上。
【技术特征摘要】
JP 2007-6-12 2007-1550641.一种热处理装置,其特征在于包括绝热炉,该绝热炉具有热处理部,对被处理物进行热处理;空气调整部,对空气进行加热、循环;光催化装置,分解对所述被处理物进行热处理时产生的升华物;以及采光装置,将外部的光采集到所述绝热炉内,其中,所述光催化装置设置在所述采光装置所采集的光能够照射并且与所述循环空气接触的位置上。2. 根据权利要求l所述的热处理装置,其特征在于,所述采光装置设置在可将外部的 光采集到所述空气调整部内的位置上。3. 根据权利要求l所述的热处理装置,其特征在于, 在所述绝热炉的外部设置有用于照射光的光照射装置, 所述光照射装置通过所述采光装置将光照射到所述光催化装置。4. 根据权利要求l所述的热处理装置,其特征在于,所述采光装置具有耐热玻璃,该 耐热玻璃嵌入在连通所述绝热炉的内部和外部的开口中。5. 根据权利要求4所述的热处理装置,其特征在于,所述耐热玻璃为扩大所述采集的 光的照射范围的透镜。6. 根据权利要求l所述的热处理装置,其特征在于,所述釆光装置具有耐热性导光管, 该导光管的一端设置在所述绝热炉的内部,另一端设置在所述绝热炉的外部。7. 根据权利要求6所述的热处理装置,其特征在于,在所述导光管的一端设置有透镜, 该透镜扩大由所述导光管的另一端所采集的...
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