气体处理单元制造技术

本发明专利技术提供一种附设于热处理单元上的气体处理单元。热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，所收容的被热处理物可从热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与热处理室连通。气体处理单元包括：气体通道，具有通过第一连接部可拆卸地与气体导入部连接的导入管、以及通过第二连接部可拆卸地与气体导出部连接的导出管，气体通道用于将热处理用气体导入到气体导入部中，并且从气体导出部导出气体；催化剂，分解从气体导出部导出的气体中所含的升华物，升华物从被热处理物产生；加热器，至少加热所述催化剂；以及鼓风机，将热处理用气体及进行热处理后的气体向规定方向引导。由此，能迅速对待鼓风机或加热器等电气设备发生故障的情况。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及附设在用于对被热处理物进行热处理的热处理单元上的气体处理单元。
技术介绍
以往的热处理装置， 一边使热处理室内的空气发生循环一边对热处理室内进行加热， 由此对收容于热处理室内的被热处理物进行热处理。这种热处理装置例如在平板显示器 (FPD: Flat Display Panel)的制造过程中用于对光刻胶或有机薄膜的预烘(pre-bake)工 序、后烘(post-bake)工序。在这些工序中，对玻璃基板等被热处理物进行热处理时，光 刻胶等中所含有的挥发性成分气化，生成大量升华物，存在所述升华物重新结晶，飞散或 附着到热处理装置内等的问题。作为解决所述问题的对策，例如日本专利公开公报特开平10—141868号中公开这样 一种方案，g卩， 一边将外部气体加热并送入所述热处理室内， 一边使所述热处理室内的空 气经导出管排出，以对所述热处理室内进行换气。如此对热处理室内进行换气，可抑制升 华物重新结晶并附着到热处理装置内。然而，在日本专利公开公报特开平10—141868号所公开的热处理装置中，气体处理 部包括加热器和用于使加热后的空气在热处理室的内外循环的鼓风机，并且，这种气体处 理部与热处理部一体设置在热处理部的外壁与热处理室之间，因此，存在如果所述气体处 理部的鼓风机或加热器等电气设备发生故障，在其修理完成前无法进行热处理作业的问 题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可解决所述问题的气体处理单元。本专利技术的另一目的在于将热处理部和气体处理部作为不同单元，提供一种气体处理单 元，该气体处理单元具有鼓风机或加热器等电气设备，附设于具有热处理室的热处理单元 上，即使鼓风机或加热器等电气设备发生故障，也能迅速对待该故障情况。本专利技术提供一种气体处理单元，该气体处理单元附设于热处理单元上，该热处理单元具有热处理室，收容被热处理物，该所收容的被热处理物可从该热处理室取出；以及气 体导入部和气体导出部，分别与所述热处理室连通，该气体处理单元包括气体通道，具 有通过第一连接部可拆卸地与所述气体导入部连接的导入管、以及通过第二连接部可拆卸 地与所述气体导出部连接的导出管，该气体通道用于将热处理用气体导入到所述气体导入 部中，并且从所述气体导出部导出气体；催化剂，分解从所述气体导出部导出的气体中所 含有的升华物，该升华物从所述被热处理物产生；加热器，至少加热所述催化剂；以及一 个或两个以上的鼓风机，将所述热处理用气体及从所述气体导出部导出的气体向规定方向 引导。由此，即使鼓风机或加热器等电气设备发生故障，也能迅速对待该故障情况。附图说明图1是本专利技术第一实施方式所涉及的热处理装置的简图。 图2是本专利技术其他实施方式所涉及的热处理装置的简图。 图3是本专利技术另外的实施方式所涉及的热处理装置的简图。 图4是本专利技术第二实施方式所涉及的热处理装置的简图。 图5是本专利技术第三实施方式所涉及的热处理装置的简图。 图6是本专利技术第四实施方式所涉及的热处理装置的简图。具体实施方式以下参照附图对本专利技术的较佳实施方式进行详细的说明。 (第一实施方式)图l是本专利技术第一实施方式所涉及的热处理装置的简图，该热处理装置包括气体处理 单元和连接于该气体处理单元的热处理单元。所述热处理装置1A例如用于平板显示器的 制造工序，是设置于无尘室(clean room)内的所谓洁净烘箱(clean oven)。在热处理装置1A中，气体处理单元20A附设于热处理单元10上。热处理单元10具 有用于收容被热处理物(以下也称为工件)W的热处理室ll，该被热处理物W可以从该 热处理室ll中取出。气体处理单元20具有气体通道21A，该气体通道21A用于将热处理 用气体(例如，加热用空气)导入到热处理单元10的热处理室11内，并且从热处理室11 导出进行热处理后的气体(例如，进行热处理后的空气)。热处理单元10具有气体导入部12，用于从气体处理单元20A导入热处理用气体； 以及气体导出部13，用于从热处理室11导出进行热处理后的气体。热处理室11的外侧由隔热壁lla围绕。在热处理室ll的内侧设置有保持部件(未图示)，该保持部件例如可以将一个或两个以上的被热处理物W支撑并保持在规定状态。保持部件设置于图1中双点划线所示的位 置上。所述气体导入部12呈管状，与热处理室11连通，并具有配置于气体导入部12的 进气侧端上的连接用凸缘14。所述气体导出部13也呈管状，与热处理室ll连通，并具有 配置于气体导出部13的出气侧端上的连接用凸缘15。气体处理单元20A的气体通道21A具有导入管22，连接于气体导入部12;导出管 23，连接于气体导出部13;以及气体处理管24，设置于导入管22与导出管23之间。导入管22的出气侧端上设置有连接用凸缘25，该连接用凸缘25与气体导入部12的 连接用凸缘14相连接。所述凸缘14、 25构成第一连接部。导出管23的进气侧端上设置 有连接用凸缘26，该连接用凸缘26与气体导出部13的连接用凸缘15相连接。所述凸缘 15、 26构成第二连接部。例如用螺栓、螺母等连接装置连接第一连接部中的凸缘25和凸 缘14，并例如用螺栓、螺母等连接装置连接第二连接部中的凸缘26和凸缘15，就可以连 接热处理单元10的热处理室11与气体处理单元20A的气体通道21A并使这些连通，形 成循环通道。并且，在气体通道21A的适当位置上设置有用于调整风量的震动器(未图示)。另外，所述气体处理管24中设置有催化剂(catalyst:触媒)30、加热器31、鼓风机 32以及前处理剂33。鼓风机32用于使空气在所述循环通道内循环，加热器31用于加热 催化剂30及空气。由加热器31加热后的空气经过导入管22进入热处理室11，在热处理 室11内加热被热处理物W。在进行加热该被热处理物W的热处理时，会从被热处理物 W产生升华物(sublimate)。进行热处理后的空气中含有所述升华物，该含有升华物的空 气经过所述气体导出部13及所述导出管23流经催化剂30。催化剂30用于促进进行热处理后的空气中含有的升华物的氧化分解反应，例如可以 采用白金(Pt)、钯(Pd)等贵金属或这些贵金属的合金等活性金属。所述催化剂30在大 约150 35(TC的温度空气下可以得到催化性能。因此，本实施方式中，在催化剂30的前 侧(在空气流经循环通道的方向上比催化剂30靠近上游的位置)配置加热器31。另外， 在被称为催化毒物(catalyst poison)的物质(例如含有Si、 P、 S等的有机化合物)混入 升华物中，有可能使催化剂30中毒(失效)的情况下，为防止催化剂30中毒，较为理想 的是，在催化剂30的前侧设置前处理剂33。如上所述，在第一实施方式所涉及的气体处理单元20A具有鼓风机32及加热器31， 该气体处理单元20A可拆卸地附设于具有热处理室11的热处理单元10上。因此，即使鼓风机32或加热器31发生故障，也可以通过以下步骤就能够立即重新开始热处理作业，目P-从第一连接部中的凸缘14、 25上拆下连接装置(例如螺栓、螺母)，且从第二连接部中的 凸缘15、 26上拆下连接装置(例如螺栓、螺母)，由此从热处理单元10上取下气体处理 单元20A，再将事先准备好的其他气体处理单元20A，与所取下的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体处理单元，其特征在于，该气体处理单元附设于热处理单元上，该热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，该所收容的被热处理物可从该热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与所述热处理室连通，该气体处理单元包括：气体通道，具有通过第一连接部可拆卸地与所述气体导入部连接的导入管、以及通过第二连接部可拆卸地与所述气体导出部连接的导出管，该气体通道用于将热处理用气体导入到所述气体导入部中，并且从所述气体导出部导出气体；催化剂，分解从所述气体导出部导出的气体中所含有的升华物，该升华物从所述被热处理物产生；加热器，至少加热所述催化剂；以及一个或两个以上的鼓风机，将所述热处理用气体及从所述气体导出部导出的气体向规定方向引导。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：手钱永充，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]