滑动缝隙式热处理装置制造方法及图纸

一种热处理装置，以设在热处理室内的支撑装置支撑多层平板状的被处理物、并从所述热处理室的开口部逐个取放所述被处理物进行热处理，其特征在于：　　　　所述支撑装置被设成保持在一定位置，所述多层由多个层组成的多组构成，　　　　包括：以堵塞所述开口部的方式设置的可进行升降的缝隙部件，其具有由与所述多组相对应的多个构成、可取放所述被处理物的缝隙；　　　　在所述开口的相对该缝隙部件的外侧与所述缝隙部件相对向地设置、并与所述多组相对应的多扇小门，其以分别可开闭相对应的缝隙并在封闭时从所述外侧包围所述开口部地形成；　　　　可升降所述缝隙部件、以使所述多个缝隙可停止在所述多层的各层位置的升降机构；以及　　　　可分别开闭所述多扇小门的开闭机构。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在热处理室中所设的支撑装置上支撑多层平板状的被处理物、并从上述热处理室的开口部逐个取放上述被处理物、进行热处理的滑动缝隙(slit)式热处理装置。
技术介绍
作为在热处理室内支撑多层LCD玻璃基板等平板状的工件、并将其逐个取放进行热处理的通常称为净化炉的热处理装置，以前一般使用这样的构成，即在一定位置设置取放工件用的缝隙状的开口，在可升降的称为吊篮(condola)的装载装置上以一定间隔装载多层工件，升降吊篮使热处理完毕后的工件的位置对正开口处，再用机械手取放工件，并依次反复该动作。(例如，参照专利文献1)。但是，在这种热处理装置中，由于使支撑多层工件的吊篮仅以其层数份进行升降，故热处理装置的高度变高，基于设置其的净化室等的高度限制，而限制工件的装载件数，由于工件的装载率低、故存在装置成本变得较高、或设置场所的占有率变大的问题。由此，提出一种热处理装置，在上下二处设置取放工件用的开口，以使吊篮只升降其高度的一半，从二处开口同时取放工件，而实现高集成化及高效率化。(参照专利文献2)。根据该装置，虽然高度的问题被一定程度改善，但仅在二处设置开口的部分就使热处理室内的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：田中秀树，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，
类型：发明
国别省市：