本发明提供一种通过缩短玻璃基板的热处理时间来降低玻璃基板的收纳枚数从而能够实现外形的小型化的玻璃基板处理装置。玻璃基板处理装置（１）具有加热室（２），加热室（２）被由众所周知的隔热材料制成的隔热壁（３）覆盖住６面。在加热室（２）上安装有...

一种吸附垫，包括垫部和支撑部，所述垫部具有：由产生比支撑所述对象物产生的负荷的支撑力大的吸附力的真空、对被支撑的面为平面的对象物的所述被支撑面进行吸附的支撑面以及被支撑的被支撑部，所述支撑部支撑所述被支撑部，其特征在于：　　　　所述被支...

本发明提供一种真空卡盘，是不会因剥离带电引起电路击穿的真空卡盘。真空卡盘（１），由以下几部分构成：在其上端的一部分上形成装卸工件Ｗ的吸附面（２）的衬垫（３）；在保持衬垫（３）的同时形成真空空间（４）的环状物（５）；安装环状物的螺钉（６）...

本发明提供一种用于自动机械的手臂，其包括以越接近前端部越向上的状态倾斜延伸的叉臂，该叉臂用于装载搬运物，其中，所述叉臂设置有加重部件，该加重部件至少可以移动到第一位置和比该第一位置靠向前端部一侧的第二位置。

本发明提供一种对可省略纯水清洗步骤的被清洗物进行清洗、干燥的清洗干燥装置，可以防止清洗时间变长，也可以延长清洗液的寿命。清洗干燥装置（１０）包括：外侧容器（１４）；内侧容器（３８），设置在所述外侧容器内，具有用于使所述被清洗物出入的开口...