清洗干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种对可省略纯水清洗步骤的被清洗物进行清洗、干燥的清洗干燥装置，可以防止清洗时间变长，也可以延长清洗液的寿命。清洗干燥装置（１０）包括：外侧容器（１４）；内侧容器（３８），设置在所述外侧容器内，具有用于使所述被清洗物出入的开口部，该内侧容器内储存所述清洗液；真空泵（２０ｂ），使所述外侧容器的内部减压，以使附着在所述被清洗物上的清洗液蒸发；过滤器（５８），净化所述清洗液；以及盖体（５２），气密密封所述内侧容器（３８）的所述开口部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种清洗干燥装置。
技术介绍
以往，已知有例如日本专利公开公报特开平7-1095卯号所公开那样的双槽型的真空去 脂清洗装置。如图2所示，该清洗装置，在清洗室101的上方设有干燥室102，具有上下 两层结构。在该清洗装置中，用储存在清洗室IOI内的清洗液清洗被清洗物W，然后用升 降装置103将被清洗物W送到干燥室102,并使干燥室102内成为真空状态来对被清洗物 W进行干燥。此外，考虑到清洗液中的脏污成分会附着在被清洗物W上，该清洗装置在 干燥室102中设有喷淋头104，用于在对被清洗物W进行干燥前将清洗液喷淋到被清洗物 W上。另一方面，已知有例如日本专利公开公报特开平6-84872号所公开那样的单槽型的清 洗装置。如图3所示，在该清洗装置的清洗槽lll中，不仅用清洗液清洗被清洗物W，还 用纯水进行清洗(纯水清洗)，然后对被清洗物W进行干燥。此外，在清洗槽lll中设有 使清洗液循环、用过滤器112去除脏污成分的循环过滤装置113。在用清洗液进行清洗时 启动循环过滤装置113，以维持清洗液的清洁度。此外在清洗后，通过排水管114排出脏 污的清洗液，并且通过纯水供给线115本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗干燥装置，利用清洗液清洗被清洗物，并对附着在该被清洗物上的清洗液进行干燥，其特征在于包括：外侧容器；内侧容器，设置在所述外侧容器内，具有用于使所述被清洗物出入的开口部，该内侧容器内储存所述清洗液；减压单元，使所述外侧容器的内部减压，以使附着在所述被清洗物上的清洗液蒸发；净化单元，净化所述清洗液；以及盖体，气密密封所述内侧容器的所述开口部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：美甘谦二，伊柳和重，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]