【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及对被热处理物进行热处理的热处理装置。
技术介绍
以往的热处理装置， 一边使热处理室内的空气发生循环一边对热处理室内进行加热， 由此对收容于热处理室内的被热处理物进行热处理。这种热处理装置例如在平板显示器 (FPD: Flat Display Panel)的制造过程中用于对光刻胶或有机薄膜的预烘(pre-bake)工 序、后烘(post-bake)工序。在这些工序中，对玻璃基板等被热处理物进行热处理时，光 刻胶等中所含有的挥发性成分气化，生成大量升华物，存在所述升华物重新结晶，飞散或 附着到热处理装置内等的问题。作为解决所述问题的对策，例如日本专利公开公报特开平10—141868号中公开这样一 种方案，即， 一边将外部气体加热并送入所述热处理室内， 一边使所述热处理室内的空气 经导出管排出，以对所述热处理室内进行换气。如此对热处理室内进行换气，可抑制升华 物重新结晶并附着到热处理装置内。然而，在日本专利公开公报特开平10-141868号公报的热处理装置中，由于在热处理部 的外壁和热处理室之间设置有气体处理部，该气体处理部具有加热器及用于使空气在热处 ...
【技术保护点】
一种热处理装置，其特征在于包括：热处理部，具有分别与热处理室连通的气体导入部及气体导出部，所述热处理室用于收容被热处理物，该所收容的被热处理物可从所述热处理室取出；以及气体处理部，具有气体通道，该气体通道用于将热处理用气体导入到所述气体导入部，并从所述气体导出部导出进行热处理后的气体，其中，在所述气体通道中设置有：催化剂，分解在对所述被热处理物进行热处理时从该被热处理物产生的升华物；加热器，至少加热所述催化剂；以及一个或两个以上的鼓风机，将所述热处理用气体及所述进行热处理后的气体向规定方向引导。
【技术特征摘要】
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