热处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是提一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置。热处理装置（１）包括具有用于向基板处理部（５）供给热风的热风供给部件（１４）的空气调整部（１１）、以及用于对基板进行热处理的热处理室（１２）。热处理装置（１）配置有催化壁（４０），载持有促进在热处理室（１２）的最下游一侧、当处理基板时所产生的生成气体的氧化分解的催化剂。因此，热处理装置（１）因冷却生成气体而产生的所谓的升华物的产生量极低。此外，由于在生成气体氧化分解时会产生反应热，所以热处理装置（１）在热处理时加热混合气体只需很少的耗电量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及通过热风对基板等被加热物进行热处理的热处理装置。
技术介绍
以前，在下述专利文献1中所揭示的热处理装置，应用于液晶显示器(LCDLiquid Crystal Display)或者等离子体显示器(PDPPlasmaDisplay)，有机EL显示器等平板屏显示器(FPDFlat Panel Display)的制作中。热处理装置是预先对玻璃板等基板(被加热物)涂敷特定的溶液，在加热室内收容加热干燥的基板，暴露于导入到加热室内的预定温度的热风中来进行热处理(烧成)的装置。专利文献1(日本专利)特许第2971771号公报
技术实现思路
现有技术的热处理装置具有用于使被加热物出入的开口或者间隙等，其并不是完全密闭的状态，因此，很容易在上述开口或者间隙附近形成较低的温度。因此，伴随着热处理的进行而使涂敷在基板上的特定溶液等汽化而产生的生成气体，在开口或者间隙附近被冷却并固化，形成所谓的升华物。升华物呈粒子状或者焦油状，其不仅污染热处理装置的内部并降低被加热物的质量，而且还存在当被加热物出入时而向热处理装置的外部泄漏的问题。通常，热处理装置被设置在清净度较高的清洁室等内。因此，如现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热处理装置，其特征在于：包括供给热风的热风供给部件、以及导入在该热风供给部件中产生的热风并通过该热风来对被加热物进行加热的加热室，在伴随着被加热物的加热而产生的生成气体流动区域内，配置有使所述生成气体氧化分解的生成气体分 解部件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：矢坂正男，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]