【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空溅射设备，此外，本技术还涉及了用上述真空溅射设备制备得到的复合铝箔。
技术介绍
铝箔表面容易因氧化而形成一层致密的氧化层，氧化层的导热性能不佳从而使铝箔的导热性能降低，在铝箔的表面加一层导热层，能很好得提高其散热效果。现在大多采用贴石墨烯膜的方法，贴上去的石墨烯膜对粘结剂要求比较高，即要求有良好导热性能的同时，又要求有优良的粘结性，固使用时成本较高。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中铝箔贴石墨烯膜而造成的成本高的问题，提供一种真空溅射设备及用其制备得到的复合铝箔，产品不仅其导热性能比现有技术中贴附有石墨烯的铝箔的导热性能更高，而且成本低。为解决上述技术问题，本技术的技术采用以下技术方案：一种真空溅射设备，包括真空溅射室以及设于所述真空溅射室内的阴极板、铝箔放卷辊、铝箔收卷辊、铝箔传动辊，所述真空溅射室底部室壁上设有抽真空口和氩气入口，所述阴极板设于真空溅射室内上方，所述阴极板上附有石墨烯块料，所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊设于所述阴极板下方两侧，分别完成铝箔的放卷和收卷，所述铝箔传动辊设于所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊之间，用于使铝箔在阴极板下方水平传动，便于石墨烯块料镀于铝箔上。作为优选地，为了使铝箔的传动过程中传动更加平缓，增加铝箔上镀石墨烯的效果，所述铝箔传动辊有四个，工作条件下，所述真空溅射室内的真空度为-0.1MPa，电极电压1200～2500V。作为优选地，所述石墨烯块料为品质疏松的石墨烯块料。一种复合铝箔，包括铝箔本体，所述铝箔本体的表面镀有石墨...
【技术保护点】
一种真空溅射设备，其特征在于：包括真空溅射室以及设于所述真空溅射室内的阴极板、铝箔放卷辊、铝箔收卷辊、铝箔传动辊，所述真空溅射室底部室壁上设有抽真空口和氩气入口，所述阴极板设于真空溅射室内上方，所述阴极板上附有石墨烯块料，所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊设于所述阴极板下方两侧，分别完成铝箔的放卷和收卷，所述铝箔传动辊设于所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊之间，用于使铝箔在阴极板下方水平传动，便于石墨烯块料镀于铝箔上。
【技术特征摘要】
1.一种真空溅射设备，其特征在于：包括真空溅射室以及设于所述真空溅射室内的阴极板、铝箔放卷辊、铝箔收卷辊、铝箔传动辊，所述真空溅射室底部室壁上设有抽真空口和氩气入口，所述阴极板设于真空溅射室内上方，所述阴极板上附有石墨烯块料，所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊设于所述阴极板下方两侧，分别完成铝箔的放卷和收卷，所述铝箔传动辊设于所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊之间，用于使铝箔在阴极板下方水平传动，便于石墨烯块料镀于铝箔上。
2.根据权利要求1所述的真空溅射设备，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：相小琴，
申请(专利权)人：常州富烯科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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