【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480071921
【技术保护点】
一种半导体装置,包括:第一扩散部分,处于具有凹槽的半导体层中,所述第一扩散部分形成在所述凹槽的底部处或附近;第二扩散部分,形成在所述半导体层中的所述凹槽的上端处;沟道部分,形成在所述半导体层中的所述第一扩散部分与所述第二扩散部分之间;栅极部分,在与所述沟道部分相对的位置处埋入在所述凹槽中;第一电极部分,电耦接到所述第一扩散部分,且设置在所述半导体层的后表面侧上;第二电极部分,电耦接到所述第二扩散部分,且设置在所述半导体层的顶表面侧上;第三电极部分,电耦接到所述栅极部分,且设置在所述半导体层的所述顶表面侧上;以及应力施加部分,被配置成在垂直于所述半导体层的方向上将压缩应力和拉伸应力中的一者施加到所述沟道部分。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.08 JP 2014-0018061.一种半导体装置,包括:第一扩散部分,处于具有凹槽的半导体层中,所述第一扩散部分形成在所述凹槽的底部处或附近;第二扩散部分,形成在所述半导体层中的所述凹槽的上端处;沟道部分,形成在所述半导体层中的所述第一扩散部分与所述第二扩散部分之间;栅极部分,在与所述沟道部分相对的位置处埋入在所述凹槽中;第一电极部分,电耦接到所述第一扩散部分,且设置在所述半导体层的后表面侧上;第二电极部分,电耦接到所述第二扩散部分,且设置在所述半导体层的顶表面侧上;第三电极部分,电耦接到所述栅极部分,且设置在所述半导体层的所述顶表面侧上;以及应力施加部分,被配置...
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