【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电圆片级器件电磁驱动加载器,其特征为:由基座平台(1)、固定于基座平台内的铁心(2)、铁心上的绕组线圈(3)和使用时用微夹子固定于被测圆片级器件(5)微结构的质量块上的磁铁薄片(4)构成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张文栋,刘俊,熊继军,薛晨阳,张斌珍,
申请(专利权)人:中北大学,
类型:发明
国别省市:14[中国|山西]
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