制造反射式隐藏镜面及其它微机电元件的间隙壁的方法技术

本发明专利技术是有关于一种制造反射式隐藏镜面及其它微机电元件的间隙壁的方法。一种用于制造微机电系统，例如反射式隐藏镜面的制造方法，包括下列步骤：形成Ｉ型镜面结构；形成间隙壁层于Ｉ型镜面结构上；以及图案化间隙壁层，以沿着Ｉ型镜面结构的一侧形成至少一间隙壁。一微机电系统，至少包含：一基材；一Ｉ型镜面结构形成于该基材上；以及沿着该Ｉ型镜面结构的一侧设有至少一间隙壁。本发明专利技术提供了一种用于制造反射式隐藏镜面及其它微机电系统元件的坚固耐用的间隙壁制程，并且避免了镜桥的产生。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于制造反射式隐藏镜面的间隙壁的制造方法，其特征在于其至少包含：　　　　形成一Ｉ型镜面结构；　　　　形成一间隙壁层于该Ｉ型镜面结构上；以及　　　　图案化该间隙壁层，以沿着该Ｉ型镜面结构的一侧形成至少一间隙壁。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴善华，陈斐筠，王薇雅，刘鸿兴，潘升良，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]