微机电圆片级器件电磁驱动加载器制造技术

本发明专利技术为一种微机电圆片级器件电磁驱动加载器，涉及微机电器件（ＭＥＭＳ）特别是微机电圆片级器件的驱动加载装置。本发明专利技术解决微机电器件特别是微机电圆片级器件动静态性能测试时无合适的专用驱动加载装置的问题。该微机电圆片级器件电磁驱动加载器由基座平台、固定于基座平台内的铁心、铁心上的绕组线圈和使用时用微夹子固定于被测圆片级器件微结构的质量块上的磁铁薄片构成。本发明专利技术所述的微机电圆片级器件电磁驱动加载器能够实现微机电圆片级器件动静态性能测试中的加载。其具有较大的驱动力和行程，适用于在垂直方向上需要较大偏转的微机电圆片级器件动静态加载测试。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机电圆片级器件电磁驱动加载器，其特征为：由基座平台（１）、固定于基座平台内的铁心（２）、铁心上的绕组线圈（３）和使用时用微夹子固定于被测圆片级器件（５）微结构的质量块上的磁铁薄片（４）构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张文栋，刘俊，熊继军，薛晨阳，张斌珍，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：14[中国|山西]