磁头滑块和设有磁头滑块的磁盘装置制造方法及图纸

一种磁头滑块，包括：滑块体；第一轨道平面，其设置在滑块体的一侧，以产生第一浮动力；至少一个第一垫片，其设置在第一轨道平面的靠近空气流出端；第二轨道平面；至少一个第二垫片，第一和第二垫片的高度在２０至５０ｎｍ的范围内；和电磁转换器件，该磁头滑块在浮动状态是倾斜的，该磁头滑块浮出磁盘介质的一个表面，这样，所述第一和第二轨道平面的所述空气流出端低于所述第一和第二轨道平面的相应的空气流入端，第二轨道平面的空气流出端低于所述第一轨道平面的所述空气流出端。该磁头滑块的优点是可抑制于磁盘的粘附和磨损，防止启动时与磁盘相接触。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本申请为一分案申请，原案的申请日是1997年4月23日，申请号为97110792.0，专利技术名称为《磁头滑块和设有磁头滑块的磁盘装置》。在开动时具有磁头的滑块之所以能在磁盘表面之上浮起是因为当磁盘转动时在磁盘表面上有气流发生，根据动态空气轴承的原理，所以磁头滑块能浮起。在上述磁盘装置中，装置的尺寸正在逐渐变小，并且信息能以高密度记录在磁盘上。因此滑块的扬起高度亦逐渐降低。但当滑块的扬起高度降低时便会发生滑块与磁盘表面上微小凸出物接触以致受损的缺点。为了防止这个缺点，磁盘表面的粗糙度被降低以便防止滑块与磁盘接触。但当磁盘的表面粗糙度被降低时，由于在CSS区域内滑块与磁盘之间的接触面积被扩大，滑块容易粘附在磁盘上。在这种情况下，又有另外一个缺点，即当开始转动磁盘时，转动磁盘所需的电动机转矩须增加并且支承磁头的悬臂容易被损坏。为了减少滑块的粘附在磁盘上，在滑块面向磁盘的空气支承面(今后亦被称为浮动平面或轨道平面)上没有多个垫片(今后亦被称为凸部)借以减少滑块和磁盘之间的接触面积。这种技术，例如已在“未审定日本专利申请公报”563-37874号(1988)中被公开。但在轨道平面上设有垫片的情况下，HGA(磁头一万向接头的组合件)的载荷就施加在垫片上，因此又有另外一个缺点，即由于垫片和磁盘之间的摩擦力，垫片容易损坏。而且还有另外一个缺点，即垫片阻碍磁头不让它靠近磁盘表面设置。在本专利技术中，设在具有磁头的滑块的轨道平面上的垫片高度被设定在20到50nm的范围内。当垫片高度被设定在该范围内时，考虑到覆盖在磁盘表面(或磁记录介质表面)上的润滑剂的厚度和磁盘表面的粗糙度，在滑块和磁盘之间的摩擦系数可降低到所希望的数值。而且，当有一垫片设在滑块的一个侧部的第一轨道平面上，而另一垫片设在滑块另一个侧部的第二轨道平面上时，从设在第一轨道平面上的垫片到第一轨道平面后端(或空气流出端)的距离被设定为不同于从设在第二轨道平面上的垫片到第二轨道平面的空气流出端的距离。因此当滑块浮起在磁盘之上同时又在垂直于磁盘旋转方向的侧向上倾斜时，在从设在第一(或第二)轨道平面的垫片到第一(或第二)轨道平面的空气流出端的距离短于从设在第二(或第一)轨道平面上的垫片到第二(或第一)轨道平面的空气流出端的距离的条件下，设在第一(或第二)轨道平面上的垫片离开磁盘的扬起高度将低于设在第二(或第一)轨道平面上的垫片的扬起高度，从而可防止第一(或第二)轨道平面的垫片与磁盘表面的接触。在这种情况下，为了稳定地将滑块放置在磁盘上，最好使离开磁盘的扬起高度比第一(或第二)轨道平面高的第二(或第一)轨道平面的垫片更靠近第二(或第一)轨道平面的空气流出端。而且，当磁盘以定速旋转时，磁盘在一特定位置上的圆周速率会随着该特定位置远离磁盘旋转中心的距离的增加而变高，所以随着滑块的远离磁盘的旋转中心，在滑块下而在磁盘表面上发生的气流的速率也会变高。因此，由于滑块在其前端(或空气流入端)的扬起高度随着滑块的远离磁盘的旋转中心也会增加，设有第二(或第一)轨道平面上更为靠近其空气流出端的垫片与磁盘表面接触的可能性便会显著减少。因此在本专利技术中，滑块的外形是根据这样的条件来确定的，即随着滑块的远离磁盘的旋转中心，使设有连结上任向读写操作用的磁头(今后被称为电磁转换器件)的一个轨道平面的扬起高度降低。作为滑块外形的一个例子，每一轨道平面靠近电磁转换器件的部分的轨道平面的宽度应设定得比每一轨道平面远离电磁转换器件的部分窄。而且，设在轨道平面上的每一垫片的宽度取决于每一轨道平面的宽度。因此，当每一垫片在轨道平面的长度方向上延伸以便充分地扩大每一垫片的大小时，在每一垫片与磁盘表面之间的接触面积便可充分地扩大而可防止垫片的磨损。而且在本专利技术中，从连结在滑块上的电磁转换器件的扬起高度减去设在滑块上的凸部(或垫片)的扬起高度所得到的值被设定为从磁盘外周的负值变化到磁盘内周的正值。这样，滑块的凸部便可在电磁转换器件与磁盘接触之前优先地在磁盘的内周与磁盘接触，因此可以防止电磁转换器件与磁盘的接触。对附图的简要说明附图说明图1A为按照本专利技术的第一实施例的一块用来制成一个具有磁头的滑块的晶片的斜视图；图1B为分割图1所示的晶片得出的条状体的斜视图；图1C为沿图1B的I-I切取的剖视图，示出具有多层结构的一连串薄膜在条状体的表面上形成的情况；图2为一斜视图示出有多根图1B所示的条状体被设置在夹持器内的情况；图3A到3H为侧视图示出按照本专利技术的第一实施例的具有磁头的滑块的图案形成过程；图4A为按照本专利技术的第一实施例的具有磁头的滑块的顶视图；图4B为图4A中沿II-II线切取的剖视图；图5示出按照本专利技术的第一实施例的具有磁头的滑块的垫片高度与磁盘表面上摩擦系数两者之间的关系；图6A和6B为剖视图示出按照本专利技术的第一实施例的在晶片和具有磁头的滑块之间的另一个层结构；图7为按照本专利技术的第一实施例的装着具有磁头的滑块的磁盘装置的内部平面视图；图8A和8B为按照本专利技术的第二实施例的具有磁关的滑块的平面视图；图9A为按照本专利技术的第三实施例的具有磁头的滑块的平面视图；图9B为一侧视图示出图9A所示的磁头滑块的浮动状态；图9C为一前视图示在图9A所示的磁头滑块的浮动状态；图10示出按照本专利技术第四实施例的磁头滑块的扬起高度与滑块在磁盘径向上的位置两者之间的关系；图11示出当滑块被弯曲或扭曲时与磁盘接触的磁头滑块的接触情况；图12A和12B为按照本专利技术的第五实施例的具有磁头的滑块的平面视图；图13A为按照本专利技术的第六实施例的具有磁头的滑块的平面视图；图13B为按照本专利技术的第六实施例的磁头滑块的侧视图；图14A为一侧视图示出按照本专利技术的第六实施例的磁头滑块的浮动状态；图14B示出磁头滑块对磁盘的相对速度与磁头滑块的扬起高度两者之间的关系；图15A为按照本专利技术第六实施例的修改型的具有磁头的滑块的平面视图；及图15B为按照本专利技术第六实施例的修改型的具有磁头的滑块的侧视图。对推荐实施例的详细说明按照本专利技术的具有磁头的滑块和设有滑块的磁盘装置的较优实施例将结合附图予以说明。(第一实施例)现在说明按照本专利技术的第一实施例的有磁头连结在其上的滑块的制造过程。如图1A所示，首先在由氧化铝碳化钛(Al2O3TiC)、铁氧体或钛酸钙制成的晶片的主平面上沿纵向和横向形成许多电磁转换器件2。每一电磁转换器件2，举例说，为一磁阻效应器件或电感器件。随后用一小切割锯沿着图1A中的虚线将晶片1切开，便可得到多个条状体3，每一条状体都具有多个排列成一行的电磁转换器件2。由于在后面的过程内，每一条状体3还要分割成多个各自具有一个磁头的滑块，因此在每一个滑块的空气流入端预先制出一个斜度。在这种情况下，每一滑块的浮动平面3a被设置在每一条状体3的一侧，其上暴露着电磁转换器件2的一个磁极。随后，如图1C所示，应用薄膜形成技术如阴极溅镀、化学气相沉积或气相沉积在每一条状体3的浮动平面3a和电磁转换器件2上形成一个厚度为5nm的中间薄膜4。随后，再用薄膜形成技术如阴极溅镀、化学气相沉积或汽相沉积在中间薄膜4上形成一层由类似金刚石的碳(今后被称为DLC)制成的厚度为10nm的保护膜5。保持膜5用来保护浮动平面3a和电磁转换器件2。而中间薄膜4用来改善条状体3在保护膜5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁头滑块，该滑块包括： 滑块体； 第一轨道平面，其设置在滑块体的一侧，以产生第一浮动力； 至少一个第一垫片，其设置在第一轨道平面的靠近空气流出端； 第二轨道平面，其设置在滑块体的另一侧，以产生第二浮动力； 至少一个第二垫片，其设置在第二轨道平面的靠近空气流出端，从最后一个第二垫片到最接近第二轨道平面的空气流出端的距离大于从最后一个第一垫片到第一轨道平面的空气流出端的距离，第一和第二垫片的高度在２０至５０ｎｍ的范围内；和 电磁转换器件，其设置在第二轨道平面的空气流出端； 其特征在于，该磁头滑块在浮动状态是倾斜的，该磁头滑块浮出磁盘介质的一个表面，这样，所述第一和第二轨道平面的所述空气流出端低于所述第一和第二轨道平面的相应的空气流入端，第二轨道平面的空气流出端低于所述第一轨道平面的所述空气流出端。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 1996-4-26 106930/961.一种磁头滑块，该滑块包括滑块体；第一轨道平面，其设置在滑块体的一侧，以产生第一浮动力；至少一个第一垫片，其设置在第一轨道平面的靠近空气流出端；第二轨道平面，其设置在滑块体的另一侧，以产生第二浮动力；至少一个第二垫片，其设置在第二轨道平面的靠近空气流出端，从最后一个第二垫片到最接近第二轨道平面的空气流出端的距离大于从最后一个第一垫片到第一轨道平面的空气流出端的距离，第一和第二垫片的高度在20至50nm的范围内；和电磁转换器件，其设置在第二轨道平面的空气流出端；其特征在于，该磁头滑块在浮动状态是倾斜的，该磁头滑块浮出磁盘介质的一个表面，这样，所述第一和第二轨道平面的所述空气流出端低于所述第一和第二轨道平面的相应的空气流入端，第二轨道平面的空气流出端低于所述第一轨道平面的所述空气流出端。2.一种磁盘装置，该装置包括磁性滑块，其具有一轨道平面，以产生一个浮动力；第一垫片，其设置在该轨道平面的靠近空气流入端；第二垫片，其设置在该轨道平面的靠近空气流出端，第一垫片的高度和第二垫片的高度分别在25至40nm的范围内；电磁转换器件，其设置在磁头滑块的轨道平面的空气流出端；弹簧臂，其支承磁头滑块；磁盘，其面向磁头滑块的轨道平面；其特征在于，该磁头滑块在浮动状态是倾斜的，该磁头滑块浮出磁盘介质的一个表面，这样，空气流出端低于空气流入端。3.一种在记录介质上扬起的头滑块，该滑块包括滑块体；第一轨道，其设置在所述滑块体上，以产生第一扬起力；第二轨道，其设置在所述滑块体上，以产生第二扬起力；头元件，其设置在所述第一轨道的空气流出端；第一前垫片，其设置在所述第一轨道的靠近空气流出端；第二前垫片，其设置在所述第二轨道的靠近空气流入端；第一后垫片，其设置在所述第一轨道的靠近空气流出端，具有至第一轨道的空气流出端的第一距离；和第二后垫片，其设置在所述第二轨道的靠近空气流出端，具有至第二轨道的空气流出端的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本尚之，笠松祥治，丰口卓，横畑彻，古石亮介，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]