提供一种能达成制造工序的简化以及成本的减低的弹性表面波装置。弹性表面波装置在基板上具备：具有至少1个IDT电极的功能电极部(2、3)；与功能电极部(2、3)连接的布线电极(4、7)；设于布线电极(4)与基板间的绝缘膜(5、6)；和包围功能电极部(2、3)以及布线电极(4、7)的至少一部分而设的支承构件(8)，支承构件(8)的厚度厚于绝缘膜(5、6)的厚度，且绝缘膜(5、6)和支承构件(8)由同一材料构成。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及由基板、支承构件和外罩构件形成中空部的弹性表面波装置。
技术介绍
过去，在谐振器、带通滤波器等中广泛使用弹性表面波装置。为了谋求弹性表面波装置的小型化，推进晶圆级封装化。在下述的专利文献I中，公开了晶圆级封装化的弹性表面波装置。在专利文献I所记载的弹性表面波装置中，在压电基板上形成IDT电极以及布线电极。包围IDT电极、布线电极地在压电基板上设置支承构件。并且，用盖件密封支承构件的上方开口部。由此设置密封的中空部分。为了谋求小型化，在布线电极设置一方的布线和另一方的布线隔着绝缘膜交叉的立体交叉部。在专利文献I中，由聚酰亚胺形成立体交叉部的绝缘膜。另一方面，上述支承构件由与聚酰亚胺不同的树脂形成。另外，在下述的专利文献2和专利文献3中，也公开了设于布线电极的立体交叉部分的绝缘膜和支承构件由不同的材料构成的弹性表面波装置。进而示出不在立体交叉部分上配置支承构件的结构。先行技术文献专利文献专利文献1:JP特开2011-172190号公报专利文献2:W0/2009/116222专利文献3:TO/2011/087018专利技术的概要专利技术要解决的课题在现有的弹性表面波装置中，用在立体交叉部中的绝缘膜、和支承构件用不同的树脂形成考虑出于以下的理由。立体交叉部的绝缘膜的厚度通常为I?3 μπι程度。另一方面，支承构件的厚度为了形成中空结构而比较大，大到10 μπι以上。因此，由于厚度差异较大，因此认为难以在同一工艺中用同一材料形成绝缘膜和支承构件。为此，制造工序烦杂而成本高企。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供具有绝缘膜以及支承构件、能达成制造工序的简化以及成本的减低的弹性表面波装置。用于解决课题的手段本专利技术所涉及的弹性表面波装置具备:基板、功能电极部、布线电极、绝缘膜、支承构件、和外罩构件。功能电极部形成在基板上，具有至少I个IDT电极。布线电极与功能电极部连接，且形成在上述基板上。在布线电极的一部分与基板间设置所述绝缘膜。另外，所述支承构件设置在基板上，包围功能电极部、和布线电极的至少一部分而设。外罩构件和支承构件一起形成让功能电极部位于内部的中空部。在本专利技术中，支承构件的厚度厚于绝缘膜的厚度，且绝缘膜和支承构件由同一材料构成。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置的某特定的局面下，所述布线电极包含第I布线电极和第2布线电极，存在第I布线电极与第2布线电极立体交叉的立体交叉部，在该立体交叉部，在所述第2布线电极的上方的至少一部分存在所述支承构件，在所述立体交叉部，所述绝缘膜位于第2布线电极的下方，所述第I布线电极位于所述绝缘膜的下方。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置的其它特定的局面下，所述立体交叉部设置在所述支承构件的内部。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置的其它特定的局面下，俯视观察所述基板，所述布线电极与所述绝缘膜重合的层叠部设置在所述支承构件的内部。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置的其它特定的局面下，在设置所述支承构件的内部的所述立体交叉部，所述布线电极包含宽度细于该立体交叉部内部的剩下的布线电极部分的宽度的部分。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置的其它特定的局面下，在设于所述支承构件的内部的所述层叠部，所述布线电极包含宽度细于该层叠部内部的剩下的布线电极部分的宽度的部分。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置中，优选地，所述绝缘膜以及所述支承构件由合成树脂构成。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置中，更优选地，所述合成树脂是光固化性聚酰亚胺的固化物。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置中，更优选地，所述合成树脂是热固化性聚酰亚胺的固化物。在本专利技术所涉及的弹性表面波装置中，也可以IDT电极包含AlCu外延膜。专利技术的效果在本专利技术所涉及的弹性表面波装置中，由于上述支承构件和绝缘膜由同一材料构成，因此能以相同的工艺形成支承构件和绝缘膜。因此，能达成制造工序的简化，且能达成成本的减低。【附图说明】图1 (a)、图1 (b)是表示在专利技术的第I实施方式的中在基板上形成功能电极部、布线电极以及层叠于布线电极的一部分的绝缘膜的状态的示意俯视图，图1(b)是沿着图1(a)中的B-B线的部分的放大截面图。图2(a)是表示在图1(a)所示的结构中在绝缘膜上形成布线电极的状态的俯视图，、图2(b)是相当于沿着图2(a)中的Bl-Bl线的部分的截面图。图3(a)是表示在图2(a)所示的结构上形成支承构件的状态的示意俯视图，图3(b)是其主要部分的放大截面图。图4是在本专利技术的第I实施方式的弹性表面波装置形成外罩构件的部分的截面图。图5是相当于图3(a)的Cl-Cl线的外罩构件赋予后的截面图，是在本专利技术的第I实施方式的弹性表面波装置中在立体交叉部上设置支承构件的部分的截面图。图6是用于说明本专利技术的第2实施方式的的示意俯视图。图7是表示在本专利技术的第2实施方式中形成绝缘膜的状态的示意俯视图。图8是表示在本专利技术的第2实施方式中形成至于绝缘膜上的布线电极的状态的示意俯视图。图9是表示在支承构件内设置有层叠部的结构的横截面图。【具体实施方式】以下参考附图来说明本专利技术的具体的实施方式，由此阐明本专利技术。参考图1 (a)以及(b)?图5来具体说明本专利技术的第I实施方式所涉及的以及弹性表面波装置的结构。在本专利技术的弹性表面波装置的制造时，首先准备压电基板作为基板。在本实施方式中，作为压电基板使用LiTaO3基板。然而也可以使用由其它压电材料构成的压电基板。另外，压电基板包括在非压电材料所构成的载体的主面形成由压电材料构成的薄膜的构成。如图1 (a)所示那样，在上述压电基板I的主面上形成包含IDT电极的功能电极部2、3。功能电极部2、3在图1(a)中仅概率地示出其位置。实际上，在本实施方式中，功能电极部2具有IDT电极、和在弹性波的传播方向上在设置有IDT电极的两侧设置的反射器电极。功能电极部3也具有同样的构成。在本实施方式中，通过将功能电极部2、3电连接来构成平衡型的弹性表面波滤波器。在本专利技术中，所谓功能电极部，是指激振弹性表面波、取出基于该弹性表面波的电特性的电极部分。在功能电极部取出的电特性以及电极的形态并没有特别的限定，只要功能电极部构成不平衡型的弹性表面波滤波器即可，只要具有至少I个IDT电极即可。在图1中，多个功能电极部2、3构成以I对级间布线2级纵联连接的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器。另外，功能电极部并不限定于形成2级纵联连接的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器。例如功能电极部也可以形成梯型弹性表面波滤波器。和上述功能电极部2、3的形成同时形成第I布线电极4。第I布线电极4与上述功能电极部2、当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种弹性表面波装置，具备：基板；形成于所述基板上且具有至少1个IDT电极的功能电极部；与所述功能电极部连接且形成于所述基板上的布线电极；设于所述布线电极的一部分与所述基板间的绝缘膜；设于所述基板上且包围所述功能电极部、和所述布线电极的至少一部分而设的支承构件；和与所述支承构件一起形成让所述功能电极部位于内部的中空部的外罩构件，所述支承构件的厚度厚于所述绝缘膜的厚度，且所述绝缘膜和所述支承构件由同一材料构成。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：津田基嗣，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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