弹性波装置及其制造方法制造方法及图纸

技术编号:11508269 阅读:65 留言:0更新日期:2015-05-27 12:06
本发明专利技术提供一种可抑制弹性波元件部分间的电磁场耦合的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电基板(2)上形成有第1电极构造(3)以及第2电极构造(4),由第1电极构造(3)以及第2电极构造(4)分别构成了第1、第2弹性波元件部分,按照包围第1弹性波元件部分以及第2弹性波元件部分的方式在压电基板(2)上形成有支承框(11),该支承框(11)具有对第1弹性波元件部分和第2弹性波元件部分进行区域划分的隔壁部(11a),在设置于该隔壁部(11a)的沟槽,设置有由导电性材料构成的屏蔽电极(22)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种弹性波装置,其特征在于,具备:压电基板;第1电极构造,其设置在所述压电基板上,且构成第1弹性波元件部分;第2电极构造,其设置在所述压电基板上,且构成第2弹性波元件部分;支承框,其按照将设置有所述第1弹性波元件部分以及所述第2弹性波元件部分的部分包围的方式设置在所述压电基板上;和覆盖层,其设置在所述支承框上,且构成第1弹性波元件部分、第2弹性波元件部分所面对的第1中空部、第2中空部,所述支承框具有对所述第1弹性波元件部分和所述第2弹性波元件部分进行区域划分的隔壁部,在设置于该隔壁部的沟槽,设置有由导电性材料构成的屏蔽电极。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:稻手谦二
申请(专利权)人:株式会社村田制作所
类型:发明
国别省市:日本;JP

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