提供能够使泵正常运转的同时抑制气体的固化的真空泵。在具有从外部吸入气体的吸气口（11b）和将被吸入的气体向外部排出的排气口（11a）的壳（11）内，设置有涡轮分子泵机构（PA）、螺纹槽泵机构（PB）、第1温度调整机构（39）、第2温度调...

本发明提供构造简单且能够提高扭转方向的除振性并且能够限制相向的凸缘彼此的偏离来防止O型圈、弹性体的断裂、损伤的真空泵及真空泵用风门。具备被互相相向地配置而呈环状的第1凸缘（13）及第2凸缘（14）、配置于第1凸缘（13）与第2凸缘（14...

提供一种定子、电动机、磁性轴承单元及真空泵，确保了在轴线方向上配置于定子的两侧的两个部件的配置的自由度，同时能够将这两个部件定位。定子的绝缘子在径向上的筒部的外侧具备：第一铁芯覆盖部，其沿环状部的第一方向重叠；以及第二铁芯覆盖部，其沿第...

本发明提供能够使用设置于通常的标准件的固定部(螺栓螺纹孔)将辅助凸缘固定于装置侧的真空泵。本发明的实施方式的真空泵中，还设置有用于固定辅助凸缘（213）的变换凸缘（200），使用设置于标准件的螺栓螺纹孔将该变换凸缘（200）和装置侧凸缘...

本发明提供能够将电装设备高效率地冷却的真空泵。本发明具备泵主体（11）、配置于泵主体（11）的外侧的电装壳（31），电装壳（31）具有冷却夹套（36）和多个电装设备(33、34)，前述冷却夹套（36）在铅垂部（40）具有内侧面（46）和...

本发明提供适合将堆积于真空泵内的流路的产物除去的真空泵、及其使用的固定零件、排气端口、控制机构。真空泵（P1）具备从吸气口（2）向排气口（3）转移的气体的流路（R）、将堆积于流路（R）的内壁面的产物除去的除去机构（RM），除去机构（RM...

提供了不需要位移传感器且能够实现高精度的控制并且小型且低成本的磁性轴承控制装置和真空泵。在电磁石5中流动的电流值I

本发明在真空泵中不损害排气效率地抑制粒子的逆流。该真空泵具备具备转子中心部（12）和从转子中心部（12）延伸而具有既定的仰角的多层的转子叶片部（3a）的转子（11）、容纳该转子的壳（1）。该转子（11）还具备转子翅片（21），转子翅片（...

【课题】提供避免过电压而安全地转移到再生模式的真空泵和电动机控制装置。【解决方案】涡轮分子泵1具备：将从交流电源得到的交流电力变换为直流电力并输出的电源单元4、以及控制电动机3的电动机控制装置10。电动机控制装置10具备：电动机驱动电路...

【课题】提供在稳定运转时能进行高精度的稳定的控制并且耐干扰且泵的停止时间较短并谋求小型化的真空泵和控制装置。【解决方案】由减法运算器1计算出的位置偏差分别被输入到3个模式的PID22、32、42中。PID22是高偏置模式用的PID调节器...

提供一种不需要大规模的检查装置，能够以简单的装置对温度调节功能进行自诊断、能够通用第进行检查的真空泵、应用于该真空泵的温度调节用控制装置、检查用夹具、以及温度调节功能部的诊断方法。在步骤（5）中，检查用程序以电压转换后的电压值来检测相当...

提供适合用于准确判断泵维护的必要性的真空泵。通过旋转体（2）的旋转将气体抽吸来排出的真空泵（P1）具备用于旋转体（2）的温度调整的温度调整零件（30）、控制温度调整零件（30）的控制机构（31）、以时间数列取得控制机构（31）的温度调整...

【课题】提供能够在不改变以往的圆环状定子铁芯的大小的情况下增加卷绕于各线轴的线圈绕组的匝数来增大电磁铁的吸引力的、真空泵和在该真空泵中使用的磁轴承装置以及圆环状电磁铁。【解决方案】装配于圆环状定子铁芯31的齿状物31b的线轴33具备：在...

提供适合实现作为真空泵的生成物堆积防止对策使用的加热机构的寿命延长的真空泵和其加热装置。借助旋转体的旋转将气体排气的真空泵具有用来将气体排气的排气流路和将排气流路加热的加热机构（HM）；相对于一对配线线路（WL1、WL2）将多个电阻发热...

实现使真空泵的总高变低的真空泵、装备于真空泵的磁轴承部及轴杆。在本实施方式中，在5轴控制磁轴承的轴杆侧下方，从吸气口侧向排气口侧成为下侧Ra传感器检测对象件（29）、第4间隔件（28）及Ra电磁铁吸引对象件（27）这一构成顺序。同时，在...

提供一种减轻转子的振摆及振动的真空泵、磁轴承装置及转子。一种真空泵（1），沿着气体的排气方向，依次配置有转子（20）的重心（G1）、在径向方向（R）上以磁力非接触支承转子（20）的主动径向轴承（71）及在径向方向（R）上以磁力非接触支承...

本发明提供具备即使在不能确定流路内的析出物的化学组成的情况下也能够检测析出物在流路内堆积至既定的厚度的传感器的真空泵。真空泵（1）具有在其间形成有内部流路的旋转部及固定部、将气体从吸入口穿过内部流路送向排气口的排气机构、用于检测堆积物在...

本发明提供一种真空泵、用于该真空泵的叶片零件及转子以及固定的叶片，其能够在不损害真空泵的气体分子排出性能的情况下，有效地防止颗粒从真空泵向真空腔逆流，适合于防止由于逆流的颗粒导致的真空腔内的污染。真空泵在从吸气口至排气口之间具有作为将气...

实现精度良好地测量旋转部的温度的真空泵的排气系统、真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法。在有关本实施方式的真空泵的排气系统中，真空泵至少在旋转部的温度测量时，供给以下的某一方的量的吹扫气体：在比温度传感器单元靠下游...

提供一种能够以简单的散热结构降低部件更换时的成本且能够构成为比以往更小型的泵并且容易制造的控制装置、搭载于该控制装置的基板以及应用该控制装置的真空泵。在一张功率基板（21）上搭载有：驱动电流增幅器（5），包含用于对磁性轴承的电磁体（10...