本发明提供一种能够高精度且高速地控制被排气室内的压力的真空排气装置以及用于其的真空泵。具有：真空泵（1），具备通过旋转而将被排气室（4）的内部排气的转子、具有吸气口的壳体；阀（2），配置在真空泵（1）的吸气口与被排气室的排气口之间；控制...

提供一种能够抑制具备螺纹槽的真空泵的比螺纹槽靠下游侧的流路中的副生成物的析出及堆积的真空泵。一种真空泵（1），具有：壳体（11），具有吸气口（12）或排气口（21）；转子（30），具备多个转子叶片（32）及转子圆筒部（33）；驱动部（8...

提供一种能够防止内装部件的破坏引起的、作为外装体的一部件的水冷衬垫的破损的真空泵（P1）。真空泵具备：具有吸气口（1A）的外装体（1）、立设于外装体的内部的定子柱（3）、包围定子柱的外周的形状的旋转体（4），利用旋转体的旋转从吸气口对气...

本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。旋转体（4）具备构成螺...

能够实现抑制排出气体引起的堆积物的发生的真空泵。该真空泵具备：具备轴部（13）和配置与轴部（13）的外周侧的转子（11）和配置于转子（11）的外周侧的定子（21）的泵部（10b）、从该泵部（10b）到排气口（9）的排出气体的流路、抑制该...

提供不需要与装置侧的工作计划的调整、即使在不能将个人计算机带入现场时也能够简单地进行装入软件的版本升级、设定数据的变更的真空泵及真空泵的附属单元。在选择设备（20）的装入软件等存储部（11），保存有用来将当前保存于磁轴承控制部（3）、马...

本发明提供能够不进行翻修地除去副反应产物的真空泵。本发明的真空泵具备用于使转子(28)旋转的马达(16)、温度能够上升的加热器(48)、保持加热器(48)的基座间隔件(42)、能够在通常动作模式和清洁动作模式之间进行动作模式的切换来控制...

提供一种能够抑制位移传感器受到噪音的影响、并且能够节省空间地设置的电磁体单元以及具备该电磁体单元的真空泵。电磁体单元（50）具备：径向电磁体（51），将轴（21）控制在既定位置；径向传感器（53），检出轴（21）的位置；印刷基板（55）...

本发明提供一种真空泵及用于真空泵的转子以及旋转翼，其在产生使转子沿转子的旋转方向旋转的设想以上的转矩时，预定的部位以预定的状态断裂，发挥廉价而稳定的冲击吸收性。真空泵（10）具备壳（11）、定子、转子（17），前述壳（11）形成有吸气口...

提供一种即便减小转子圆筒部的半径方向的直径，也保持定子柱的固定部的强度，维持排气流路的导通而不会令排气性能降低的真空泵。本发明的实施方式的真空泵中，具备作为连结西格本泵部和螺纹槽泵部的构造的连结型螺纹槽衬垫，作为该连结型螺纹槽衬垫的排气...

提供能够减小转子的振动的真空泵及垫圈、以及能够减小振动的转子。当作为绕z轴的惯性力矩与绕x轴或y轴的惯性力矩的比的惯性力矩比大于1时，固有振动频率ω2不会与旋转频率Ω

在真空泵装置中能够以比较简单的构造实现均等排气。真空泵部（1）具备外转子（12）和内定子（11）；升降式闸阀部（2）具备阀体（21）和阀座（22），阀体（21）沿着真空泵部（1）的旋转轴方向相对于阀座（22）升降。而且，内定子（11）具...

提供即使借助固定螺栓将连结型螺纹槽间隔件紧固连结也能够防止真空泵的排气性能的下降的真空泵。本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造。将该连结型螺纹槽间隔件紧固连结时，预先在排气流路部设置沉孔，借助固定...

课题是提供一种不易发生由螺栓的紧固带来的间隙的真空泵。具备：主体壳体（14），具有吸气口（12a）或排气口（25）；旋转自如的转子轴杆（21）；以及转子（28），与转子轴杆（21）结合；在转子（28），形成有朝向吸气口（12a）开口的凹...

本发明提供旋转零件与固定零件接触时也不发生火花而能够防止真空容器内的爆炸性反应的真空泵及该真空泵具备的保护部。在隔着气体流路的狭窄间隙的带螺纹的间隔件（131）的螺纹山（131a至131e）的头部侧将非金属制的保护部（1a至1e）周状地...

提供一种适合于防止从真空泵向真空腔室侧的粒子的倒流的真空泵。真空泵（P1）具备：涡轮分子泵部（PT），借助旋转叶片（7）和固定叶片（8）将气体分子排气；以及螺纹槽泵部（PS），设在比涡轮分子部靠下游，并且借助由圆筒状的旋转零件（圆筒部（...

提供了能够在不受噪声或短周期的负载变动所影响的情况下判定泵内部的反应生成物的堆积、并能够促进与其判定结果对应的适当应对的真空泵。检测值31通过低通滤波器33，被A/D转换器35数字变换，之后，输入到对比部37。在对比部37中，与阈值39...

本发明提供如下真空泵：将吸气口凸缘和壳（外筒）分开地作为两个零件构成，保持被要求的强度且减轻重量，结果能够降低制造成本的真空泵。真空泵（1）中，将吸气口凸缘（100）和壳（外筒）（2）分开地作为分体部件构成。吸气口凸缘（100）以不锈钢...

提供实现在不使用固封件的情况下廉价地水滴难以侵入的构造、且具备泵主体和控制装置容易分离而容易保养的构造的真空泵及该真空泵的控制装置。从基座部（129）的周围等泄漏的水滴侵入间隙（220）。特别地，盖（219）被拆卸时水滴容易侵入。该情况...

本发明提供零件个数少而密封性优异的真空泵。前述真空泵具备朝向吸气侧壳（14a）的中心设置的多个定子翼（19）、被内包于吸气侧壳（14a）而被旋转自如地支承的转子轴（21）、放射状地设置于转子轴（21）的周围的多个转子翼（20）、使转子轴...