提供一种真空泵及真空泵具备的旋转圆筒体，其能够在不使旋转圆筒体(旋转体)的转速下降的情况下减少应力且提高排气性能。在真空泵具备的圆筒部(旋转圆筒体)的排气口侧下部，设置与螺纹槽排气元件的固定侧零件相比向下游侧延伸的延伸部。在延伸部，外径...

本发明提供适合实现腔内的压力的均匀化和压缩比的提高的真空泵和使用该真空泵的真空排气系统。真空泵(P1)具备筒状的内壳(1)、在内壳的外侧配置的筒状的定子(2)、在内壳和定子之间旋转自如地配设的筒状的轴(3)、将轴绕其轴心旋转驱动的马达(...

本发明提供一种真空泵，前述真空泵能够减少朝向用于隔热而设置的间隙的气体的流动(气体分子的数量)，减少在间隙堆积的副产物的量，延长需要维护的间隔来提高生产率。前述真空泵具有外筒(127)、转子轴(113)、多层的旋转翼(102)、多层的固...

提供一种能够防止在真空泵的下游处堆积物再附着的真空排气系统的清洗装置。具备：能够冷却含有升华成分的气体而令堆积物产生的冷却阱（13）；配设在冷却阱（13）的上游的至少一个的第一真空泵（11）；连接第一真空泵（11）和冷却阱（13）的至少...

本发明提供能够有效地抑制反应产物的堆积的真空泵及真空泵用旋转翼。真空泵具有被旋转自如地保持的旋转轴(113)、旋转轴(113)的驱动机构、由第1材料形成的第1旋转翼(201)、由耐热性比第1材料高的第2材料形成而比第1旋转翼(201)靠...

本发明提供一种真空泵，前述真空泵通过对设置于真空泵的固定翼(内辋圈及外辋圈)及间隔件进行设计，进一步提高排气性能。旋转翼中的一层的外径形成为排气口侧的外径为小径或者旋转翼中的一层的内径形成为排气口侧的内径为大径的真空泵中，紧接着外径形成...

提供一种真空泵，所述真空泵能够借助自由基将副生成施物分解而粒子化并有效果地排出到外部。真空泵具备：外筒（127），具有吸气口（101）和排气口（133）；转子轴（113），旋转自如地被支承在外筒（127）的内侧；以及旋转体（103），具...

本发明能够防止放电时颗粒逆流。本发明是一种真空泵(100)，前述真空泵(100)具备外装体(127、129)、定子柱(122)、旋转体(103)、磁轴承(104、105、106A、106B)，前述外装体(127、129)设置有吸气口(1...

得到在适当的定时收集真空泵的状态信息的真空泵和控制装置。在控制装置（200）中，控制部（201、202、204）控制配置在真空泵主体中的内部设备（电机（121）、加热器、冷却阀等）的动作状态。信息收集部（207）收集真空泵主体的状态信息...

本发明提供一种真空泵，其能够在不进行翻修的情况下除去堆积物，进而能够检测堆积物的除去已完成。本发明具备清洁功能部和堆积传感器(206)，前述清洁功能部用于清洁真空泵(100)内的堆积物的清洁功能，前述堆积传感器(206)用于检测堆积物的...

提供一种真空泵以及真空泵的配管构造部，即便由于真空泵的损伤而在真空泵产生旋转方向的偏移，也能够抑制连接于外部配管的零件的损伤，能够抑制气体泄露。是利用转子的旋转从吸气口吸引气体的真空泵（1），具有将转子（3）收容为能够旋转的外壳（4）和...

为了不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而实现转子的效率良好的散热，真空泵（P）具有气体吸气口（2）和气体排气口（3）的外装壳（1）以及在外装壳（1）中旋转的转子（6），借助转子（6）的旋转，进行从气体吸气口（2）向气体排气口（3）的气体...

本发明的真空泵具备罩(11)、在罩(11)的内侧配设的定子(17)、具有被相对于定子(17)旋转自如地支承的轴(20)并且与轴(20)一同被能够旋转地内置于罩(11)的圆筒状的转子(18)，其特征在于，在罩(11)内，配设有作为生成自由...

提供一种在对排出气体进行除害时能够实现节能化的真空泵。一种真空泵（2），将排出气体吸入并排出，其特征在于，具备：作为驱动源的马达（MT）；以及第1控制器（29），对前述马达的驱动进行控制；前述第1控制器监视前述马达的状态，并且在前述马达...

本发明提出能够将温度调整机构在适当的时期检查、更换、能够防止预料外的停止等的发生、此外能够抑制维护费用的真空泵及控制该真空泵的控制器。本发明是将被排气装置的气体排出的真空泵（10），其特征在于，具备用于使真空泵（10）的既定部位为既定的...

提供一种在不使用昂贵的部件的情况下除去在同步检波电路中产生的谐波而实现了低振动、低噪声的谐波除去电路、位置检测装置、磁轴承装置和真空泵。传感器载波频率的奇次谐波能够通过使同步检波电路的开关的通电期间为特定的值而从检波后的位移信号中除去。...

本发明提供一种废气中水分的处理系统，其在将废气中所含的水分等除去时，即使在不存在设置具有水封功能的配管的空间的情况下，也能够防止在该除去的过程变为液体的水等逆流且能够使废气不漏出至外部。借助阀控制部(81)判断存积于罐(60)内的水是否...

提供是制冷剂等不会漏出到内部的构造、此外能够将旋转体充分地冷却而得到较高的可靠性、并且能够低成本化的旋转装置及真空泵。构成为，具备：壳体（11）；以及旋转体（18），具有相对于壳体（11）能够相对旋转地配置的旋转轴（20），且与旋转轴（...

提供一种能够缓和产生于排气路径的压力差而尽可能令清扫气体均一地流动的真空泵以及定子柱。设置两处从定子柱20的外周面朝向旋转翼的内周的分隔壁（X，Y），设置圆周方向的槽状的流路。通过令该流路的截面积在圆周方向变化，令在流路内流动的气体的压...

本发明提供能够以低成本提高压缩性的真空泵。具备多个在固定圆板(19c)处设置有漩涡状槽(62c)的西格巴恩排气机构(60)，西格巴恩排气机构设置于固定圆板(19c)的上游侧和下游侧的两板面(66、67)，在上游侧设置的漩涡状槽(62c)...