真空泵以及真空泵的配管构造部制造技术

提供一种真空泵以及真空泵的配管构造部，即便由于真空泵的损伤而在真空泵产生旋转方向的偏移，也能够抑制连接于外部配管的零件的损伤，能够抑制气体泄露。是利用转子的旋转从吸气口吸引气体的真空泵（1），具有将转子（3）收容为能够旋转的外壳（4）和配置于外壳（4）的配管构造部（100），配管构造部（100）的至少一部分具备能够通过弹性变形而吸收变位的弹性部。具备能够通过弹性变形而吸收变位的弹性部。具备能够通过弹性变形而吸收变位的弹性部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵以及真空泵的配管构造部


[0001]本专利技术涉及真空泵以及真空泵的配管构造部。

技术介绍

[0002]半导体制造装置、液晶制造装置、电子显微镜、表面分析装置或者微细加工装置等需要令装置内的环境为高度的真空状态。为了令这些装置的内部为高度的真空状态而使用真空泵。真空泵通过令转子翼相对于定子翼相对地旋转而能够将气体向外部排气而将上述装置内保持为高真空。
[0003]但是，有时在真空泵的运转中发生事故而高速旋转的转子与定子等的不旋转的固定部件撞击。此时，转子的动量传递到固定部件，瞬时地产生令真空泵的整体向转子的旋转方向旋转的扭矩。瞬时地产生的过大的扭矩通过凸缘而对真空容器也作用很大的应力。因此，专利文献1中公开了一种真空泵，在形成吸引口的凸缘设置薄壁部，通过令薄壁部塑性变形，吸收过大的扭矩的能量的一部分。
[0004]现有技术文献专利文献1 : 日本特许第4484470号说明书。
[0005]专利技术所要解决的课题专利文献1记载的真空泵能够吸收吸气口侧的变位，但在吸气口以外的配管中，无法吸收变位。有可能例如形成排气口、吹扫端口以及排放端口的配管由于真空泵的旋转方向的偏移而产生相对于外部配管的位置偏移，使得产生内部的气体的泄露。

技术实现思路

[0006]本专利技术是为了解决上述课题而进行的，目的在于提供一种真空泵以及真空泵的配管构造部，即便由于真空泵的损伤而在真空泵产生旋转方向的偏移，也能够抑制与外部配管连接的零件的损伤，能顾抑制气体泄露。
[0007]解决课题的手段用于实现上述目的的本专利技术所述的真空泵是利用转子的旋转而从吸气口吸引气体的真空泵，其特征在于，具有将前述转子收容为能够旋转的外壳、以及配置于前述外壳的配管构造部，前述配管构造部的至少一部分具备能够以弹性变形吸收变位的弹性部。
[0008]专利技术的效果上述那样地构成的真空泵为，如果由于运转时的损伤而产生位置偏移，则弹性部弹性地变形，能够抑制配管构造部的与外部配管连接的部位的位置偏移。因此，能够抑制连接配管构造部与外部配管的零件的损伤，能够抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
[0009]前述配管构造部的从前述外壳的突出方向也可以具有前述转子的半径方向的方向成分。由此，当在配管构造部没有设置弹性部的情况下，会容易由于真空泵的旋转方向的偏移，配管构造部的与外部配管的连接部位容易发生位置偏移，但通过在配管构造部设置弹性部，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移。
[0010]也可以前述配管构造部的从前述外壳的突出方向具有前述转子的轴向的方向成分，前述配管构造部的轴中心配置在从前述转子的轴中心在径向上偏移的位置。由此，当在配管构造部没有设置弹性部的情况下，由于真空泵的旋转方向的偏移，配管构造部的与外部配管的连接部位容易发生位置偏移，但通过在配管构造部设置弹性部，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移。
[0011]前述配管构造部也可以具有波纹管构造。由此，利用波纹管构造，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
[0012]前述弹性部也可以由弹性部件所构成的弹性零件构成，被夹持配置在设置于前述配管构造部的配管和前述外壳之间。由此，利用弹性零件，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
[0013]前述配管构造部也可以是排气口。由此，利用能够弹性地变形的配管构造部能够有效地抑制在作为排气口的配管构造部流动的排气气体的泄露。
[0014]前述配管构造部也可以是吹扫端口。由此，利用能够弹性地变形的配管构造部，能够有效地抑制在作为吹扫端口的配管构造部流动的吹扫气体的泄露。
[0015]用于实现上述目的的本专利技术所述的真空泵的配管构造部是为了与外部配管连接而配置于真空泵的外壳的、真空泵的配管构造部，其特征在于，至少一部分具备能够利用弹性变形而吸收变位的弹性部。
[0016]上述那样地构成的配管构造部为，即便由于连接的真空泵的损伤而产生旋转方向的偏移，弹性部变形，能够抑制配管构造部的与外部配管连接的部位的位置偏移。因此，能够抑制连接配管构造部与外部配管的零件的损伤，能够抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
[0017]前述配管构造部也可以具有波纹管构造。由此，利用波纹管构造能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
[0018]前述配管构造部也可以具有配管、能够配置在前述配管的流路方向的一端侧的由弹性部件构成的弹性零件。由此，通过弹性零件，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
附图说明
[0019]图1是表示第一实施方式所述的真空泵的剖视图。
[0020]图2是放大表示真空泵的配管构造部的附近的剖视图。
[0021]图3是表示配管构造部的第一变形例的真空泵的配管构造部的附近的剖视图。
[0022]图4是表示配管构造部的第二变形例的真空泵的配管构造部的附近的剖视图。
[0023]图5是表示第二实施方式所述的真空泵的配管构造部的附近的剖视图。
[0024]图6是第二实施方式所述的真空泵的配管构造部的附近的、螺栓所插入的位置处的剖视图，（A）表示配管构造部的内部变为负压前的状态，（B）表示配管构造部的内部变为负压后的状态。
[0025]图7是表示配管构造部的其他应用例的真空泵的俯视图。
[0026]附图标记说明1真空泵3转子4外壳100、110配管构造部101、121本体凸缘102、122外部凸缘103、123管状部130弹性零件（弹性部）200外部配管。
具体实施方式
[0027]以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。另外，附图的尺寸为了方便说明有时夸张而与实际的尺寸不同。此外，在本说明书以及附图中，对于实质上具有相同的功能结构的构成要素，标注同一符号从而省略重复说明。
[0028]＜第一实施方式＞本专利技术的第一实施方式所述的真空泵1如图1所示，是涡轮分子泵，具备转子翼32的转子3高速旋转，从而将气体分子弹飞，从而将气体排气。真空泵1具有用于吸引气体而排气的真空泵本体2、以及控制真空泵本体2的控制装置5。真空泵1用于从例如半导体制造装置等的腔室将气体吸引并排气。
[0029]真空泵本体2具有：能够旋转的转子3、将转子3以能够旋转的方式包围的外壳4、配置于外壳4而成为排气口的配管构造部100。真空泵本体2进而具有将转子3支承为能够旋转的轴承、检出转子3的变位的变位传感器、驱动转子3旋转的马达80（驱动部）。
[0030]外壳4具有：形成有吸气口11的圆筒状的第一外壳10、成为排气口的配管构造部100所连接的第二外壳20、固定于第二外壳20的定子柱22、静翼部40、带螺纹衬垫90。
[0031]第一外壳10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空泵，是利用转子的旋转而从吸气口吸引气体的真空泵，其特征在于，具有：外壳，以能够旋转的方式收容前述转子；以及配管构造部，配置在前述外壳，前述配管构造部的至少一部分具有能够利用弹性变形来吸收变位的弹性部。2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，前述配管构造部的从前述外壳的突出方向具有前述转子的半径方向的方向成分。3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，前述配管构造部的从前述外壳的突出方向具有前述转子的轴向的方向成分，前述配管构造部的轴中心配置在从前述转子的轴中心向径向偏移的位置。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的真空泵，其特征在于，前述配管构造部具有波纹管构造。5.根据权利要求1至3中任意一项所述的真空泵，其特征在于，前述弹性部由弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：中辻重义，坂口祐幸，川口阳太，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：