一种分子泵机组制造技术

本实用新型专利技术提供的一种分子泵机组，包括机组壳体、分子泵组件和前级泵，所述机组壳体内具有容纳空腔；所述分子泵组件设于所述容纳空腔内部，所述分子泵组件包括分子泵本体，所述分子泵本体上的抽气部穿设于所述容纳空腔顶部并适于与待抽气件连接；所述前级泵与所述分子泵组件设于所述容纳空腔内，所述前级泵的抽气口与所述分子泵本体连通，所述前级泵用于对所述分子泵本体抽气以实现为所述分子泵本体提供前级真空度。通过将分子泵组件和前级泵设置在机组壳体内，且将前级泵的抽气口直接与所述分子泵本体连通，相对于现有技术中分子泵、机械泵位置分布散乱，彼此之间需要波纹管等连接件连接，本实用新型专利技术结构紧凑，方便安装。方便安装。方便安装。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵机组


[0001]本技术涉及泵
，具体涉及一种分子泵机组。

技术介绍

[0002]在高校、科研机构、实验室里进行科研工作，在质谱分析、表面分析、溅射和蒸发镀膜等领域，众多的分析仪器、检测设备、生产工艺线等在实现其功能时，需要具备一定的清洁真空环境，其中可采用分子泵机组来创造真空环境。
[0003]现有技术公开了一种手推式智能分子泵机组，包括分子泵、机械泵、机架、电磁挡板阀、电磁压差阀以及控制模块，其中：分子泵、信号调理板设置在机架台面上，机械泵设置在机架内部；分子泵作为主抽泵，机械泵作为前级泵，分子泵、机械泵之间通过波纹管连接；在分子泵和机械泵之间设置电磁压差阀；在分子泵入口设置有电磁挡板阀；控制模块与机械泵、分子泵、电磁挡板阀、电磁压差阀进行通信，实现集中逻辑控制。
[0004]但是，上述的手推式智能分子泵机组中，分子泵、机械泵以及控制模块等部件位置分布散乱，彼此之间需要波纹管等连接件连接，安装时费时费力。

技术实现思路

[0005]因此，本技术所要解决的技术问题在于现有技术中分子泵、机械泵以及控制模块等部件位置分布散乱，彼此之间需要波纹管等连接件连接，安装时费时费力。
[0006]为此，本技术提供一种分子泵机组，包括：
[0007]机组壳体，所述机组壳体内具有容纳空腔；
[0008]分子泵组件，所述分子泵组件设于所述容纳空腔内部，所述分子泵组件包括分子泵本体，所述分子泵本体上的抽气部穿设于所述容纳空腔顶部并适于与待抽气件连接；
[0009]前级泵，所述前级泵与所述分子泵组件设于所述容纳空腔内，所述前级泵的抽气口与所述分子泵本体连通，所述前级泵用于对所述分子泵本体抽气以实现为所述分子泵本体提供前级真空度。
[0010]可选地，所述分子泵组件还包括控制件，所述控制件与所述容纳空腔底部连接，所述分子泵本体设于所述控制件上方。
[0011]可选地，还包括触摸屏，所述触摸屏与所述控制件电连接，所述触摸屏能够显示所述控制件中具有的分子泵本体的运行状态。
[0012]可选地，还包括检测件，所述检测件具有检测部和信号输出部，所述检测部与所述分子泵本体连接，所述信号输出部与所述控制件电连接，所述检测件能够将所述检测部测得的所述分子泵本体内部的真空度通过所述信号输出部反馈到所述述控制件。
[0013]可选地，还包括电控元器件，所述电控元器件设于所述容纳空腔内部，所述电控元器件与所述控制件电连接，所述电控元器件适于与外界电源连接。
[0014]可选地，还包括外控接口，所述外控接口一端与电控元器件连接，所述外控接口另一端穿设于所述机组壳体并适于与外界数据线连接。
[0015]可选地，所述分子泵组件与所述前级泵并列设置。
[0016]可选地，还包括散热件，所述散热件设于所述前级泵远离所述分子泵组件一侧，所述散热件设于所述容纳空腔内部；
[0017]壳体本体上设有至少一个第一散热孔，所述第一散热孔与所述散热件的出风口对应设置。
[0018]可选地，所述机组壳体包括基板和盖板，所述基板和盖板之间通过若干个侧板连接，所述第一散热孔设于靠近散热件一侧第一侧板，所述基板和其余所述侧板设有第二散热孔。
[0019]本技术提供的技术方案，具有如下优点：
[0020]1.本技术提供的一种分子泵机组，包括机组壳体、分子泵组件和前级泵，所述机组壳体内具有容纳空腔；所述分子泵组件设于所述容纳空腔内部，所述分子泵组件包括分子泵本体，所述分子泵本体上的抽气部穿设于所述容纳空腔顶部并适于与待抽气件连接；所述前级泵与所述分子泵组件设于所述容纳空腔内，所述前级泵的抽气口与所述分子泵本体连通，所述前级泵用于对所述分子泵本体抽气以实现为所述分子泵本体提供前级真空度。
[0021]此结构的分子泵机组，通过将分子泵组件和前级泵设置在机组壳体内，且将前级泵的抽气口直接与所述分子泵本体连通，其中，分子泵组件中的分子泵本体上的抽气部穿设于所述容纳空腔顶部并适于与待抽气件连接，以实现对待抽气件进行抽真空处理，前级泵的出气口可设置与机组壳体连接，以实现对分子泵组件和前级泵的固定，相对于现有技术中分子泵、机械泵位置分布散乱，彼此之间需要波纹管等连接件连接，本技术结构紧凑，方便安装。
[0022]2.本技术提供的一种分子泵机组，所述分子泵组件还包括控制件，所述控制件与所述容纳空腔底部连接，所述分子泵本体设于所述控制件上方，还包括触摸屏，所述触摸屏与所述控制件电连接，所述触摸屏能够显示所述控制件中具有的分子泵本体的运行状态，还包括检测件，所述检测件具有检测部和信号输出部，所述检测部与所述分子泵本体连接，所述信号输出部与所述控制件电连接，所述检测件能够将所述检测部测得的所述分子泵本体内部的真空度通过所述信号输出部反馈到所述述控制件。
[0023]此结构的分子泵机组，通过设有控制件能够对分子泵本体和前级泵进行控制，在控制件一侧设有触摸屏，触摸屏显示机组当前运行状态，故障报警、分子泵实时转速、电压、电流、功率等参数及报警故障查询等功能，通过设有检测件，可对分子泵本体内的真空度进行检测，当检测件测得真空度优于分子泵启动值时，自动启动分子泵进行高真空抽气。
[0024]3.本技术提供的一种分子泵机组，还包括外控接口，所述外控接口一端与电控元器件连接，所述外控接口另一端穿设于所述机组壳体并适于与外界数据线连接。
[0025]此结构的分子泵机组，通过设有外控接口，可远程控制机组启停及读取机组各种参数信息，实现机组远程控制、监控功能。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述
中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本技术的实施例中提供的分子泵机组的结构示意图；
[0028]图2为本技术的实施例中提供的分子泵机组的内部结构示意图(从左侧方向)；
[0029]图3为本技术的实施例中提供的分子泵机组的内部结构示意图(从右侧方向)；
[0030]附图标记说明：
[0031]1‑
机组壳体；11
‑
基板；12
‑
盖板；
[0032]2‑
分子泵组件；21
‑
分子泵本体；211
‑
抽气部；22
‑
控制件；
[0033]3‑
前级泵；
[0034]41
‑
电控元器件；42
‑
触摸屏；
[0035]5‑
散热件；51
‑
第二散热孔；
[0036]6‑
把手；
[0037]7‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分子泵机组，其特征在于，包括：机组壳体(1)，所述机组壳体(1)内具有容纳空腔；分子泵组件(2)，所述分子泵组件(2)设于所述容纳空腔内部，所述分子泵组件(2)包括分子泵本体(21)，所述分子泵本体(21)上的抽气部(211)穿设于所述容纳空腔顶部并适于与待抽气件连接；前级泵(3)，所述前级泵(3)与所述分子泵组件(2)设于所述容纳空腔内，所述前级泵(3)的抽气口与所述分子泵本体(21)连通，所述前级泵(3)用于对所述分子泵本体(21)抽气以实现为所述分子泵本体(21)提供前级真空度。2.根据权利要求1所述的分子泵机组，其特征在于，所述分子泵组件(2)还包括控制件(22)，所述控制件(22)与所述容纳空腔底部连接，所述分子泵本体(21)设于所述控制件(22)上方。3.根据权利要求2所述的分子泵机组，其特征在于，还包括触摸屏(42)，所述触摸屏(42)与所述控制件(22)电连接，所述触摸屏(42)能够显示所述控制件(22)中具有的分子泵本体(21)的运行状态。4.根据权利要求2所述的分子泵机组，其特征在于，还包括检测件，所述检测件具有检测部和信号输出部，所述检测部与所述分子泵本体(21)连接，所述信号输出部与所述控制件(22)电连接，所述检测件能够将所述检测部测得的所述分子泵本体(21)内部的真空度通过所述信号输出部反馈到所述控制件(22)。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成孝，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：