本技术涉及设备安装技术领域，具体涉及一种连接和支撑结构。所述连接和支撑结构包括：泵体；控制器外壳，具有开口部，开口部遮盖有控制器盖板；连接件，与控制器盖板固定连接，并朝向泵体一侧延伸；泵体朝向控制器盖板延伸形成有固定凸边，沿平行于控制器...

本发明涉及散热系统技术领域，公开了一种集成式自循环冷却系统，集成式自循环冷却系统包括：进液管；驱动装置；分流装置，具有第一入口与多个第一出口；进液管与第一入口接通；分流装置将高温介质分流；汇流装置，具有第二出口与多个第二入口；多个第二入...

本发明涉及真空获得设备技术领域，具体涉及一种干泵。一种干泵，包括：壳体组件，设有内部腔室，侧壁设有进气口，壳体组件包括低真空侧壳体；复合叶轮，设于内部腔室内，复合叶轮设有涡轮级，涡轮级以吸入自进气口进入的气体；主轴，设于内部腔室内，主轴...

本发明涉及旋转机械技术领域，具体涉及一种干式真空泵，包括：进口牵引级设有直接连通的气体进口和进气诱导轮，气体进口轴线与进气诱导轮轴线重合；中间牵引级与进口牵引级连通；中间牵引级设置于牵引级泵体内；旋涡级与中间牵引级连通；在旋涡级设有设有...

本技术公开了一种磁悬浮分子泵的控制器，包括：壳体，其具有容纳腔；电源模块，其置于容纳腔内；控制模块，其置于容纳腔内，并与电源模块相连，以提供控制磁悬浮分子泵的控制信号；冷却模块，其与壳体相连，且用于冷却壳体以及电源模块；隔板，其与壳体相...

本技术公开了一种用于磁悬浮分子泵的配电器及磁悬浮分子泵，配电器包括外壳，以及设在外壳内的控制模块、功率模块、导热基片、连接构件和导电构件。控制模块、功率模块和导热基片通过连接构件连接为一个整体，控制模块和功率模块平行并分开，功率模块与导...

本技术提供一种分子泵机组，属于真空泵技术领域，包括：主控箱和分子泵，所述主控箱适于与外部电源连接，所述主控箱内设置有加热控制单元；所述分子泵与所述主控箱电连接，在所述分子泵的底部设置有加热装置，所述加热装置与所述加热控制单元电连接；在使...

本申请公开了一种用于控制刻蚀机的抽气管路控压阀门的方法、设备及介质。该方法基于工艺腔室的当前室温、当前进气流量、当前气压、当前位置和选定气压范围确定阀芯的目标位置，并根据工艺腔室的当前室温和当前进气流量确定抽气管路控压阀门的控制策略，基...

本申请公开了一种磁悬浮分子泵的测速系统及磁悬浮分子泵，该测速系统包括设在磁悬浮分子泵的电机的定子中的感应线圈、与感应线圈相连的转换单元以及与转换单元相连的微处理器单元。其中，感应线圈由于结构简单、成本低、可靠性高、故障率低和适用范围广等...

本发明公开了一种冲压静片结构及分子泵，所述冲压静片结构包括：第一静片，具有若干第一静片叶齿；第二静片，具有若干第二静片叶齿，第二静片叶齿插入至相邻两第一静片叶齿之间并与第一静片叶齿交错间隔布置；第二静片和第一静片通过同一冲压模具进行冲压...

本技术公开了一种弹簧检测装置，包括基座、检测件以及调节机构，基座具有间隔设置的第一安装部以及第二安装部，检测件具有安装端以及工作端，安装端设置于第一安装部上，调节机构与检测件间隔、且设置于第二安装部上，第一安装部包括至少两个安装点位，两...

本申请公开了一种磁悬浮分子泵用的电机外壳及其制造方法

本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种阻尼结构及具有其的分子泵。所述阻尼结构包括：轴承套；减振环，与所述轴承套沿径向间隔设置；橡胶环，设置于所述轴承套的外侧周壁与所述减振环的内侧周壁之间，所述橡胶环适于将所述轴承套与所述减振环柔性连接和...

本披露公开了一种确定磁悬浮分子泵转子悬浮中心的方法、设备及介质。该磁悬浮分子泵包括转子，以及用以在使用时支承转子的轴向磁轴承和径向磁轴承，该方法包括以下步骤：控制轴向磁轴承的电流使转子按照设计轴向悬浮中心或预选轴向悬浮中心悬浮，调整径向...

本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种隔振组件及具有其的分子泵。一种隔振组件，包括：减震底座，所述减震底座上设有一组相对设置的减震侧板，所述减震侧板的内壁上分别伸出有一个第一连接端；支撑座，适于与隔振台连接，所述支撑座包括与减震侧板对应...

本发明涉及涡轮分子泵技术领域，具体涉及一种涡轮分子泵叶片、涡轮转子及涡轮分子泵。涡轮分子泵叶片，叶片本体的压力面与吸力面均为曲面，所述叶片本体的厚度从根部向顶部逐渐减小，所述叶片本体根部的叶片厚度为3.5mm－4.5mm，所述叶片本体顶...

本发明公开了一种涡轮分子泵抽气特性计算方法、装置及电子设备，其方法包括：获取各级叶列的正向传输概率、反向传输概率、分子流通面积和气体分子热运动速度；根据正向传输概率和反向传输概率，计算整机的最大抽速系数及最大压缩比；遍历各级叶列的分子流...

本实用新型提供一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，动叶片适于连接驱动电机轴系端，静叶片结构包括静叶片内环、若干间隔设置的叶齿和导引结构，其中，静叶片内环一侧适于放置动叶片；若干间隔设置的叶齿设置在静叶片内环径向方向上的外周侧；导引...

本实用新型公开了一种控制箱及分子泵机组，控制箱包括箱本体、温控件、至少一个加热件以及控制件，箱本体具有适于容纳控制件的容纳空腔；加热件设置在容纳空腔内；温控件设置在容纳空腔内；温控件具有根据温控件检测的温度低于预设温度时控制加热件与外接...

本实用新型公开了一种冷却结构、冷却系统及分子泵，其中冷却结构包括：至少一个水冷块和循环管道，其中，所述水冷块具有水冷本体，所述水冷块还具有设置在水冷本体内适于流通水冷介质的冷却腔，所述水冷本体至少具有一个适于贴设在电机和/或轴承的外壳壁...