真空泵制造技术

本发明专利技术的课题在于防止使用者接触真空泵的高温部的危险。本发明专利技术的真空泵(1)包括：转子圆筒部(25)；马达(28)，使转子圆筒部(25)旋转；定子圆筒部(26)，与转子圆筒部(25)一起构成螺纹槽泵；基座(4)，收容转子圆筒部(25)与定子圆筒部(26)；加热器(51)，对壳体(3)或定子圆筒部(25)进行加热；冷却装置(8)，安装于基座(4)；以及盖构件(7)，配置于定子圆筒部(26)的外周侧、且基座(4)的外周侧，隔着空气隔热层(S3)覆盖基座(4)，与冷却装置(9)接触。与冷却装置(9)接触。与冷却装置(9)接触。

【技术实现步骤摘要】
真空泵


[0001]本公开涉及一种真空泵。

技术介绍

[0002]在进行化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)成膜或蚀刻等的半导体制造装置等中，使用涡轮分子泵等真空泵。在这种真空泵中，产物附着于真空泵的内部而产生妨碍转子的旋转、或短期需要检修等课题。为了应对这种课题，而使泵内部与气体接触的部分的温度成为高温而防止反应产物的附着(例如专利文献1、专利文献2有所记载)。
[0003][现有技术文献][0004][专利文献][0005][专利文献1]日本专利特开2015
‑
229936号公报
[0006][专利文献2]日本专利特开2018
‑
162725号公报

技术实现思路

[0007][专利技术所要解决的问题][0008]在真空泵中，螺纹槽泵的定子圆筒部的温度变得尤其高，收容所述部分的壳体的外周也变得高温。存在避免使用者触摸到所述高温部的危险的必要性。
[0009][解决问题的技术手段][0010]本公开的第一观点的真空泵包括：
[0011]转子圆筒部；
[0012]马达，使所述转子圆筒部旋转；
[0013]定子圆筒部，与所述转子圆筒部一起构成螺纹槽泵；
[0014]基座，收容所述转子圆筒部与所述定子圆筒部；
[0015]加热器，对所述基座或所述定子圆筒部进行加热；
[0016]冷却装置，安装于所述基座；
[0017]盖构件，配置于所述定子圆筒部的外周侧、且所述基座的外周侧，隔着空气隔热层覆盖所述基座，与所述冷却装置接触。
[0018][专利技术的效果][0019]本公开的真空泵包括配置于定子圆筒部的外周侧、且基座的外周侧并隔着空气隔热层覆盖基座的盖构件，因此能够利用简单的结构避免使用者触摸到高温部的危险。
附图说明
[0020]图1是第一实施方式的真空泵1的截面图。
[0021][符号的说明][0022]1：真空泵；
[0023]2：转子；
[0024]3：壳体；
[0025]4：外壳；
[0026]5：基座；
[0027]11：轴；
[0028]21：转子叶片单元；
[0029]22：转子叶片；
[0030]23：定子叶片单元；
[0031]24：定子叶片；
[0032]25：转子圆筒部；
[0033]26：定子圆筒部；
[0034]28：马达；
[0035]7：盖构件；
[0036]8：冷却装置；
[0037]9：电源装置；
[0038]S3：空气隔热层。
具体实施方式
[0039]＜第一实施方式＞
[0040](1)真空泵1的结构
[0041]第一实施方式的真空泵1包括涡轮分子泵、及螺纹槽泵。真空泵1连接于包括排气对象空间的排气对象装置。利用涡轮分子泵将来自排气对象空间的气体排出后，利用螺纹槽泵排气，而排至真空泵1外。
[0042]如图1所示，真空泵1包括壳体3、转子2、马达28、多个定子叶片单元23、定子圆筒部26、加热器51～加热器53、冷却装置8、电源装置9、及盖构件7。壳体3收容转子2、马达28、多段定子叶片单元23、及定子圆筒部26。冷却装置8以一面8a与壳体3接触的方式配置。冷却装置8的另一面8b以与电源装置9接触的方式配置。盖构件7以隔着空气隔热层S3覆盖壳体3的方式配置于壳体3的外周部。
[0043]壳体3包括外壳4、及基座5。
[0044]外壳4收容多段转子叶片单元21及多段定子叶片单元23。外壳4包括第一端部12、及第二端部13。在外壳4的内部形成有第一内部空间S1。在第一端部12形成有吸气口14a。第一端部12安装于排气对象装置。第一内部空间S1连通于吸气口14a。第二端部13在转子2的轴线方向A1上位于第一端部12的对面。第二端部13连接于基座5。
[0045]基座5收容转子圆筒部25及定子圆筒部26。基座5包括基座第一端部15、基座第二端部16、及排气管17。基座5形成第二内部空间S2。基座第一端部15连接于外壳4的第二端部13。基座第二端部16以与冷却装置8的一面8a接触的方式配置。第二内部空间S2与外壳4的第一内部空间S1连通。排气管17形成排气口17a。排气口17a与第二内部空间S2连通。
[0046]从排气对象空间流入真空泵1的气体(气体分子)从吸气口14a进入第一内部空间S1。气体从第一内部空间S1经过涡轮分子泵、螺纹槽泵到达第二内部空间S2。气体从第二内部空间S2经由排气口17a被排至真空泵1外。
[0047]转子2包括轴11、多段转子叶片单元21、及转子圆筒部25。
[0048]轴11沿着转子2的轴线方向A1延伸。在以下说明中，在轴线方向A1上，将从外壳4朝向基座5的方向定义为下方，将其相反方向定义为上方。
[0049]真空泵1还包括多个轴承27A～27D。多个轴承27A～27D安装于基座5。多个轴承27A～27D以能够旋转的方式支撑转子2。多个轴承27A～27D例如包括磁力轴承。但多个轴承27A～27D也可包括滚珠轴承等其他种类的轴承。
[0050]马达28旋转驱动转子2。马达28包括马达转子31及马达定子32。马达转子31安装于轴11。马达定子32安装于基座5。马达定子32与马达转子31相向配置。
[0051]多个转子叶片单元21分别连接于轴11。多段转子叶片单元21沿着轴线方向A1互相隔开间隔配置。各转子叶片单元21包括多个转子叶片22。虽然省略图示，但多个转子叶片22分别以轴11为中心而以放射状延伸。此外，在图式中，仅对多个转子叶片单元21的一个、及多个转子叶片22的一个标注了符号，省略了其他转子叶片单元21及其他转子叶片22的符号。
[0052]多段定子叶片单元23连接于外壳4的内面。多段定子叶片单元23在轴线方向A1上互相隔开间隔配置。多段定子叶片单元23分别配置于多段转子叶片单元21之间。各定子叶片单元23包括多个定子叶片24。虽然省略图示，但多段定子叶片24分别以轴11为中心而以放射状延伸。
[0053]多段转子叶片单元21与多段定子叶片单元23构成涡轮分子泵。此外，在图式中，仅对多个定子叶片单元23的一个、及多个定子叶片24的一个标注了符号，省略了其他定子叶片单元23及其他定子叶片24的符号。
[0054]转子圆筒部25配置于转子叶片单元21的下方。转子圆筒部25沿着轴线方向A1延伸。
[0055]定子圆筒部26配置于转子圆筒部25的径方向外方。定子圆筒部26连接于基座5。定子圆筒部26在转子圆筒部25的径方向上与转子圆筒部25相向配置。在定子圆筒部26的内周面设置有螺旋状槽。转子圆筒部25与定子圆筒部26构成螺纹槽泵。
[0056]电源装置9对马达28、磁力轴承27A、磁力轴承27D、或/及加热器51～加热器53进行控制。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵，其中，包括：转子圆筒部；马达，使所述转子圆筒部旋转；定子圆筒部，与所述转子圆筒部一起构成螺纹槽泵；基座，收容所述转子圆筒部与所述定子圆筒部；加热器，对所述基座或所述定子圆筒部进行加热；冷却装置，安装于所述基座；以及盖构件，配置于所述定子圆筒部的外周侧、且所述基座的外周侧，隔着空气隔热层覆盖所述基座，与所述冷却装置接触。2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，还包括：电源装置，向所述马达供电，所述电源装置与所述冷却装置接触地配置，所述基座及所述盖构件与所述冷却装置的和所述电源装置所接触的面相反的面接触地配置。3.根据权利要求1所述的真空泵，其中所述冷却装置安装于所述基座的下端面，所述冷却装置的外径大于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：安田智贵，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：