在具有固定圆板的真空泵中，所述固定圆板具有分割构造，使在接合该分割构造的接合面上产生的间隙或偏差变少。在涉及本实施方式的涡轮分子泵中，使固定圆板与对芯（中心对准）的固定部件的配合关系与以往相反。即，在基座与固定圆板的嵌合构造中，借助由基...

提供一种真空泵及被用于其中的静翼部，具备防止由拉深加工引起的裂缝的高刚性的固定翼作为构成真空泵的固定翼，由此适合于实现作为真空泵的耐久性的提高。作为不由于将前述支承侧壁部成形的拉深加工而在前述支承侧壁部处产生裂缝的条件，在前述拉深加工前...

提供适于提高转子破损对策的可靠性的真空泵。真空泵的排气机构部为了在转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，作为安装于封装壳(1(1A、1B))内周侧的固定部件具有螺纹槽排气部定子(9)，在螺纹槽排气部定子(9)的外周侧，安装有由比强度比该螺纹槽...

提供能对检测出旋转体与定子的接触时的接触的原因进行解析、并采取适当的处理的真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法。接触判定用关于位移信号的旋转体接触判定用阈值（B1）、和关于加速度信号的旋转体接触判定用阈值（B2）进行。此外，关于旋转体（...

提供减少循环水的排水量的除害装置。除害装置（30）为，在循环水（R2）中的二氧化硅的浓度和循环水（R2）中的氟化氢的浓度之比，为能够生成氢化硅氟酸的既定值以上的情况下，使循环水（R2）的平均排水流量下降至低流量，在循环水（R2）中的二氧...

提供一种确保转子翼的强度并且抑制转子及定子的破损的真空泵及被用于其中的转子及定子。真空泵（1）具备转子（20）和定子（70），前述转子（20）具备转子翼（23），前述转子翼（23）经由圆环部（22）被连接于转子轴（21），前述定子（70...

本发明提供一种能够有效地防止分割静翼部的抵接不良、适于得到良好的排气性能的真空泵。真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有...

本发明提供一种保护轴承、轴承装置及真空泵，前述保护轴承、轴承装置及真空泵在转子被非接触地浮起地支承的期间防止触底轴承随着转子的旋转发生共转。在固定部件（211）的内侧4处，狭缝（215）在径向上被切口。在被狭缝（215）划分的4个区域的...

本发明提供一种磁力轴承装置，该磁力轴承装置初始调整简单，且不增加控制设备的存储器容量，能够以简单的算法进行最合适的轴承控制。一对平方器（32xp、32xm）以及加法运算器（33）取得将未图示磁力轴承的转子轴在径向方向上在相反方向上吸引的...

提供一种将配设的真空泵的排气口整体的温度效率良好地提高的排气口零件、以及配设有该排气口零件的真空泵。涉及本发明的实施方式的排气口零件具备用来使得从配设在排气口零件上的加热器得到的热难以向基座侧传递、而向排气口的里侧（真空泵侧）效率良好地...

提供一种真空泵，该真空泵能够仅将从螺纹槽排气流路的出口附近到排气端口的流路效率良好地加热，适合防止因螺纹槽排气流路的出口附近或前述流路中的工艺气体的温度下降造成的生成物的堆积。真空泵（P1）具备：螺纹槽排气部（Ps），该螺纹槽排气部（P...

提供一种抑制螺纹槽部内的气体的固化的真空泵及在真空泵中使用的隔热间隔件。真空泵（1）具备隔热间隔件（90），该隔热间隔件（90）夹装在壳体（10）与具有螺纹槽部（71）的外周侧定子（70）之间，以在壳体（10）与外周侧定子（70）之间隔...

真空泵具有西格班式分子泵部，在该西格班式分子泵部内的外周（外侧）的折返流路中，具有用于增大流导率的构造，所述西格班式分子泵中，在配设的固定圆板和配设的旋转圆板中的至少某一个上，刻设（配设）有螺旋状槽，该螺旋状槽具有峰部和谷部。借助形成于...

本发明提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构，并且，提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的复合型真空泵。本发明的实施方式的真空泵是具备将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型...

本发明提供一种真空泵的固定部件和具备该固定部件的真空泵，前述固定部件适用于实现破坏能（由于转子在旋转中破损产生的破坏性的能量）的降低以及泵尺寸的紧凑化。在真空泵（P）中，作为固定部件的间隔件（9）或螺纹槽泵定子（8）在被收纳于泵壳（C）...

本发明提供一种螺纹槽泵机构、使用该螺纹槽泵机构的真空泵、及用于前述螺纹槽泵机构的转子、外周侧定子及内周侧定子，所述螺纹槽泵机构抑制螺纹槽泵机构内的气体的逆流，并且减少螺纹槽泵机构的出口附近的泵径向上的压力差，使螺纹槽泵机构的排气性能及压...

本发明提供一种能够实现小型轻量化、提高作业性并降低成本的真空泵。将具有旋转体（19）的泵主体（11）和驱动控制该泵主体（11）的控制单元（12）之间的电气连接借助柔性印制配线板（41）连接，前述旋转体（19）被磁轴承轴支承，前述柔性印制...

提供能够不受到排出的气体流量的影响而只对出于防止生成物堆积的观点需要高温化的排气侧气体流路的固定零件集中地效率良好地加热、防止该加热所导致的排气侧气体流路上的生成物的堆积、以及谋求泵排气性能的提高的真空泵。真空泵具有可旋转地配置于泵座上...

提供抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体生成物的产生而在长期内维持泵性能的真空泵。真空泵(1)将在内周侧定子(80)的外周面(80a)沿着气体排气方向(D2)延伸设置的突条部(81)的排气侧端部(81b)比吸气侧端部(81a)朝向转子旋转方向...

本发明提供一种具有控制单元的真空泵，能够可靠地防止在冷却管的表面或其周边结露，能够有效地减少电子设备因为由结露产生的水滴而发生故障等问题。控制单元（真空泵控制单元1）具有第1获取机构（101）、第2获取机构（102）和控制机构（103）...