真空泵制造技术

提供适于提高转子破损对策的可靠性的真空泵。真空泵的排气机构部为了在转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，作为安装于封装壳(1(1A、1B))内周侧的固定部件具有螺纹槽排气部定子(9)，在螺纹槽排气部定子(9)的外周侧，安装有由比强度比该螺纹槽排气部定子(9)的材质高的材质形成的高强度部件(10)，为了抑制因气体中的腐蚀成分引起的高强度部件(10)的腐蚀，在该高强度部件(10)的周围设置防腐蚀构造(St1)。

Vacuum pump

A vacuum pump is provided to improve reliability of Rotor Damage countermeasures. The vacuum pump exhaust mechanism to the peripheral of the rotor side forms a thread groove exhaust flow path, as installed in the package (1 (1A, 1B)) fixed parts of the inner peripheral side with screw slot of stator (9), in the thread groove of the exhaust part of the stator (9) of the outer side of the installation it consists of a stator strength than the thread groove exhaust portion (9) of high strength material with high material formation (10), in order to suppress high strength parts caused by corrosion in the gas component (10) corrosion in the high strength parts (10) around the anti-corrosion structure set (St1).

【技术实现步骤摘要】
真空泵
本专利技术涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置的过程腔、其他腔的气体排气手段利用的真空泵，特别适于提高转子破损对策的可靠性。
技术介绍
作为此种真空泵，例如已知专利文献1中公开的真空泵(涡轮分子泵100)。该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)具备配置在封装壳(基部50及壳体52)内的转子(转子4)、支撑该转子使其能够旋转的支撑单元(上部径向电磁石64、下部径向电磁石64及推力电磁石66等)、旋转驱动该转子的驱动单元(马达40)、以及将通过该转子的旋转而吸气的气体排气的排气机构部。该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)的所述排气机构部由翼排气部(转子翼20、定子翼44等)和螺纹槽排气部构成，螺纹槽排气部作为在转子(转子4)的外周侧形成螺纹槽排气流路的单元具有在封装壳(基部50及壳体52)的内周侧安装的固定部件(螺纹定子11)。另外，在该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)中，作为转子破损对策的一环，采用在固定部件(螺纹定子11)的外周侧安装高强度部件(高强度部件12)的构成。但是，根据该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)，由于高强度部件(高强度部件12)处于暴露于真空泵内部的气体气氛的环境，故存在高强度部件(高强度部件12)因该气体气氛中的腐蚀成分，例如氯系气体成分而腐蚀的风险，由于因腐蚀导致的高强度部件(高强度部件12)的强度降低，高强度部件(高强度部件12)不能够充分地发挥本来的功能，不得不说作为转子破损对策的可靠性低。另外，在该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)中，是虽然通过凸缘(安装凸缘11a)将固定部件(螺纹定子11)安装于封装壳(基部50及壳体52)的内周侧，但该凸缘与封装壳接触的构造。因此，在存在通过由高强度部件受到的因转子的破坏导致的冲击力、转矩经由凸缘传递到封装壳而产生使封装壳变形的力、使真空泵整体旋转移动的力的风险、因此种真空泵整体的旋转移动导致的腔的破损等，使安装有真空泵的各种装置破损的风险的点方面，也不得不说作为转子破损对策的可靠性低。总之，在该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)中，降低在转子破坏时传递至封装壳的破坏的冲击力和转矩的对策是不充分的。此外，以上说明中的括弧内的部件名称和符号是在专利文献1中使用的。现有技术文献专利文献专利文献1：2015-127525号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术是鉴于前述问题而完成的，其目的在于提供对提高转子破损对策的可靠性而言适合的真空泵。用于解决问题的方案为了实现所述目的，本专利技术的特征在于具备：转子，其配置在封装壳内；支撑单元，其支撑所述转子使其能够旋转；驱动单元，其旋转驱动所述转子；以及排气机构部，其将通过所述转子的旋转而吸气的气体排气，所述排气机构部为了在所述转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，具有安装在所述封装壳的内周侧的固定部件，在所述固定部件的外周侧，安装有由比强度比该固定部件的材质高的材质形成的高强度部件，为了抑制因所述气体中的腐蚀成分引起的所述高强度部件的腐蚀，在该高强度部件周围设有防腐蚀构造。在所述本专利技术中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围设置有减少或防止所述气体的流入的密封部件。在所述本专利技术中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，设有对所述高强度部件的周围供给非活性气体等腐蚀对策气体的腐蚀对策气体供给单元。在所述本专利技术中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，对所述高强度部件的外表面进行了耐腐蚀性表面处理。在所述本专利技术中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围填充有树脂等模制材料。在所述本专利技术中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，以成为所述高强度部件埋入在所述固定部件中的形态的方式构成。在所述本专利技术中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述固定部件设置容纳所述高强度部件的容纳空间，并将所述高强度部件设置于该容纳空间。在所述本专利技术中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围设置有包围所述高强度部件的壳。在所述本专利技术中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述固定部件或所述封装壳的至少一部分设有嵌合构造。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述防腐蚀构造通过热压配合、冷压配合、或压入中的任一种构成所述嵌合构造。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述固定部件和所述封装壳还在所述固定部件和所述封装壳的安装部设有冲击力•转矩降低构造，所述冲击力·转矩降低构造降低在所述转子破坏时传递至所述封装壳的破坏的冲击力和转矩。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述安装部为通过连结凸缘连结所述固定部件和所述封装壳的构造，所述冲击力•转矩降低构造为所述连结凸缘以所述连结凸缘的塑性应变比所述固定部件和所述封装壳中的至少任一者的塑性应变大的方式塑性变形的凸缘塑性变形构造。在所述本专利技术中，还可以特征在于：在所述凸缘塑性变形构造中，所述连结凸缘的至少一部分的厚度比所述固定部件和所述封装壳中的至少任一者的厚度薄。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述凸缘塑性变形构造在所述连结凸缘形成有槽、颈缩、或切口中的至少任一种。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述连结凸缘与所述固定部件和所述封装壳中的至少任一者一体地形成。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述冲击力•转矩降低构造具备所述高强度部件的上端位于所述转子的形成所述螺纹槽排气流路的部分的最上端更上方的构造、或者所述高强度部件的下端位于所述转子的形成所述螺纹槽排气流路的部分的最下端更下方的构造，或者具备这两种构造。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述冲击力•转矩降低构造是将所述高强度部件的端部插入相对于所述固定部件固定地形成的保持槽以保持所述高强度部件的构造。在所述本专利技术中，还可以特征在于：在所述保持槽的内周侧的壁与所述高强度部件之间设有空隙部。在所述本专利技术中，还可以特征在于：具备相对于所述固定部件固定地设置的保持片，所述保持槽形成于所述保持片。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述保持片的强度比所述固定部件的强度高。在所述本专利技术中，还可以特征在于：所述冲击力•转矩降低构造在所述高强度部件的周围配置有吸收冲击的缓冲材料。专利技术效果在本专利技术中，作为真空泵的具体构成，作为抑制因气体中的腐蚀成分引起的高强度部件的腐蚀的手段，在该高强度部件周围采用防腐蚀构造，因而能够抑制因腐蚀性气体引起的高强度部件的腐蚀，以抑制因腐蚀引起的高强度部件的强度降低，在能够长期地维持作为转子破损对策的一环采用的高强度部件本来的功能，特别是吸收因转子的破坏而产生的破坏的冲击力、转矩的功能这一点上，作为转子破损对策的可靠性提高，能够提供适于加强转子破损对策的真空泵。另外，在本专利技术中，作为真空泵的具体构成，作为降低在转子破坏时传递至封装壳的破坏的冲击力、转矩的手段，采用冲击力•转矩降低构造，因而能够有效地降低因破坏的冲击力、转矩引起的封装壳的变形、真空泵整体的旋转移动，能够避免因真空泵整体的旋转移动引起的室的破损等、安装有真空泵的各种装置的破损，在这一点上，作为转子破损对策的可靠性提高，能够提供适于加强转子破损对策的可靠度的真空泵。附图说明图1是可适用本专利技术的真空泵的截面图；图2是作为本专利技术的第一实施方式(高强度部件的防腐蚀构造)，对图1的真空泵适用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵，其特征在于具备：转子，其配置在封装壳内；支撑单元，支撑所述转子使其能够旋转；驱动单元，其旋转驱动所述转子；以及排气机构部，其将通过所述转子的旋转而吸气的气体排气，所述排气机构部为了在所述转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，具有安装在所述封装壳的内周侧的固定部件，在所述固定部件的外周侧，安装有由比强度比该固定部件的材质高的材质形成的高强度部件，为了抑制因所述气体中的腐蚀成分引起的所述高强度部件的腐蚀，在该高强度部件周围设有防腐蚀构造。

【技术特征摘要】
2016.03.04 JP 2016-0418021.一种真空泵，其特征在于具备：转子，其配置在封装壳内；支撑单元，支撑所述转子使其能够旋转；驱动单元，其旋转驱动所述转子；以及排气机构部，其将通过所述转子的旋转而吸气的气体排气，所述排气机构部为了在所述转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，具有安装在所述封装壳的内周侧的固定部件，在所述固定部件的外周侧，安装有由比强度比该固定部件的材质高的材质形成的高强度部件，为了抑制因所述气体中的腐蚀成分引起的所述高强度部件的腐蚀，在该高强度部件周围设有防腐蚀构造。2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围设置有减少或防止所述气体的流入的密封部件。3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：作为所述防腐蚀构造，设有对所述高强度部件的周围供给非活性气体等腐蚀对策气体的腐蚀对策气体供给单元。4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：作为所述防腐蚀构造，对所述高强度部件的外表面进行了耐腐蚀性表面处理。5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围填充有树脂等模制材料。6.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：作为所述防腐蚀构造，以成为所述高强度部件埋入在所述固定部件中的形态的方式构成。7.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述固定部件设置容纳所述高强度部件的容纳空间，并将所述高强度部件设置于该容纳空间。8.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围设置有包围所述高强度部件的壳。9.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述固定部件或所述封装壳的至少一部分设有嵌合构造。10.根据权利要求9所述的真空泵，其特征在于：所述防腐蚀构造通过热压配合、冷压配合、或压入中的任一种构成所述嵌合构造。11.根据权利要求1所述的真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：大立好伸，前岛靖，高阿田勉，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP