真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法技术

提供能对检测出旋转体与定子的接触时的接触的原因进行解析、并采取适当的处理的真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法。接触判定用关于位移信号的旋转体接触判定用阈值（B1）、和关于加速度信号的旋转体接触判定用阈值（B2）进行。此外，关于旋转体（103）的不平衡量的判定，用关于位移信号的不平衡量增加判定用阈值（A1）、和关于加速度信号的不平衡量增加判定用阈值（A2）进行。并且，如果在位移信号与加速度信号的任一方中，在判定为接触推定时刻前的既定时间内，超过了不平衡量增加判定用阈值（A1）或不平衡量增加判定用阈值（A2），则判断为不是因生成物的堆积增加导致的接触。另一方面，若在该既定时间内都没有超过，则判断为因生成物的堆积增加导致的接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法
本专利技术涉及真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法，涉及如下真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法，前述真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法为，能够对检测出旋转体与定子的接触时的接触的原因进行解析，能采取适当的处理。
技术介绍
伴随着近年的电子产品的发展，存储器以及集成电路等半导体的需求急剧地增大。以向纯度非常高的半导体基板涂布杂质而赋予其电气的性质、或者借助蚀刻在半导体基板上形成细微的回路等方式，来制造这些半导体。并且，为了避免由于空气中的灰尘等导致的影响，这些作业需要在高真空状态的腔内进行。对于该腔的排气，一般使用真空泵，特别是由于残留气体较少并且保养容易等方面，多使用作为真空泵中的一种的涡轮分子泵。此外，在半导体制造工序中，存在多个使各种工艺气体作用于半导体的基板的工序，涡轮分子泵不仅用于使腔内成为真空，还用于将这些工艺气体从腔内排出。该分子泵的以高速旋转的旋转翼等旋转体与定子的间隙非常小。因此，在排气的凝固成分等的固体生成物在真空泵的内部堆积的情况下，或者在旋转体由于蠕变现象产生变形的情况下，或者在保护轴承的磨损已发展的情况下等，存在旋转体与定子接触的可能。若不对这样的旋转体与定子的接触的状态进行维修（彻底检修）而置之不理，则存在产生重大故障的可能。因此，以往使用专利文献1所记载的技术来预测维修的时间。接着，在适当的时间推动维修的执行，从而将防止涡轮分子泵达到不能再利用的状态防范于未然。专利文献1：日本特许第3457353号公报。专利文献2：WO2010/007975号公报。但是，在专利文献1所记载的技术中，不能判别下述振动振幅的增加的差异：由于旋转体的随着时间推移的不平衡增大导致的振动振幅的增加、由于旋转体与定子的物理性的接触导致的振动振幅的增加。此外，不能将下述振动振幅的增加进行区别：由于连接泵的真空阀的开闭等所伴随的机械性的振动而导致的、或由于对于泵或者连接泵的真空容器等装置施加的外部冲击（外部干扰）而导致的振动振幅的增加、由于旋转体与定子的物理性的接触导致的振动振幅的增加。因此，在专利文献2中，为了准确地精度良好地检测固体生成物的堆积量达到旋转体与定子的间隙的情况，使用安装于定子的加速度传感器等振动传感器来判定旋转体与定子的接触。而且，由此，精度良好地检测出旋转体与定子的物理性的接触。但是，在根据专利文献2的方法中，还存在下述问题：为了提高来自定子的振动信号的可靠性，不得不采取使用带通滤波器、弹性部件的固定方法。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的以往的问题而作出的，其目的在于提供一种真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法，其能够对检测出旋转体与定子的接触时的接触原因进行解析并且采取适当的处理。因此，本专利技术（技术方案1）是真空泵的专利技术，构成为具备：旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；旋转体位移用阈值，对于前述位移的信号而设定；接触判定机构，将前述位移的信号超过前述旋转体位移用阈值时判定为接触推定时刻；保存机构，保存前述位移的信号；旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。对接触推定时刻之前的位移信号是否超过了旋转体保存位移用阈值进行判断，从而在不设置振动传感器的情况下仅用位移信号判别接触。即，若位移信号的值在接触推定时刻之前的既定时间内，超过了旋转体保存位移用阈值，则判断成是由于旋转体的不平衡量增加或者外部冲击导致的接触，而不是由于生成物的堆积增加导致的接触。根据以上所述，能够在不追加振动传感器、弹性部件的情况下，掌握旋转体与定子的物理性的接触状况。此外，能了解是由于哪种原因产生了该接触。能通过了解原因而采取适当的处理。此外，本专利技术（技术方案2）是真空泵的专利技术，构成为具备：固定部物理量检测机构，将固定部的物理量作为信号进行检测；固定部物理量用阈值，对于前述物理量的信号而设定；接触判定机构，将前述物理量的信号超过前述固定部物理量用阈值时判定为接触推定时刻；旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；保存机构，保存前述位移的信号；旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。将固定部的物理量的信号超过固定部物理量用阈值时判定为接触推定时刻。固定部的物理量的信号例如是固定部的位移、速度、加速度等。在借助振动传感器检测出固定部的加速度的情况下，能够利用该加速度信号和由位移传感器检测的位移信号，来高精度地掌握旋转体与定子的物理性的接触状况。因此，能够掌握由于生成物堆积导致的彻底检修的适当的时机。能通过了解原因而采取适当的处理。进而，本专利技术（技术方案3）是真空泵的专利技术，其特征在于，前述固定部的物理量是前述固定部的加速度或者作用于前述固定部的力。进一步地，本专利技术（技术方案4）是真空泵的专利技术，其特征在于，前述固定部的物理量是下述物理量：相当于对前述固定部的加速度以既定次数进行微分或者积分后的结果。进一步地，本专利技术（技术方案5）是真空泵的专利技术，其特征在于，前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述位移的信号没有超过前述旋转体保存位移用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。进而，本专利技术（技术方案6）是真空泵的专利技术，其特征在于，具备：保存机构，保存前述物理量；固定部保存物理量用阈值，根据在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号而设定；前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号没有超过前述固定部保存物理量用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。进一步地，本专利技术（技术方案7）是真空泵的专利技术，其特征在于，至于在前述接触推定时刻之后，基于前述旋转体和与该旋转体相对的固定部的间隙量或者是以该间隙量为基础来确定的既定值，以及和与前述旋转体的位移的最大值的差，来将前述接触的原因推定为生成物堆积。根据以上所述，能够将接触的原因推定为生成物堆积。因此，能够掌握由于生成物堆积导致的彻底检修的适当的时机。能通过了解原因而采取适当的处理。进一步地，本专利技术（技术方案8）是真空泵的专利技术，其特征在于，根据下述次数推定前述接触的原因：被保存于前述保存机构的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，超过前述旋转体保存位移用阈值的次数。进而，本专利技术（技术方案9）是真空泵的异常原因推定方法的专利技术，其特征在于，将旋转体的位移作为信号检测，将该位移的信号保存于保存机构，将前述位移的信号超过旋转体位移用阈值时判定为接触推定时刻，根据被保存于前述保存机构的、该接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过旋转体保存位移用阈值，来推定前述接触的原因。进一步地，本专利技术（技术方案10）是真空泵的异常原因推定方法的专利技术，其特征在于，将固定部的物理量作为信号检测，将该物理量的信号保存于保存机构，将前述物理量的信号超过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵，其特征在于，具备：旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；旋转体位移用阈值，对于前述位移的信号而设定；接触判定机构，将前述位移的信号超过前述旋转体位移用阈值时判定为接触推定时刻；保存机构，保存前述位移的信号；旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.12 JP 2014-2301631.一种真空泵，其特征在于，具备：旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；旋转体位移用阈值，对于前述位移的信号而设定；接触判定机构，将前述位移的信号超过前述旋转体位移用阈值时判定为接触推定时刻；保存机构，保存前述位移的信号；旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。2.一种真空泵，其特征在于，具备：固定部物理量检测机构，将固定部的物理量作为信号进行检测；固定部物理量用阈值，对于前述物理量的信号而设定；接触判定机构，将前述物理量的信号超过前述固定部物理量用阈值时判定为接触推定时刻；旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；保存机构，保存前述位移的信号；旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，前述固定部的物理量是前述固定部的加速度或者作用于前述固定部的力。4.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，前述固定部的物理量是下述物理量：相当于对前述固定部的加速度以既定次数进行微分或者积分后的结果。5.如权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之...

【专利技术属性】
技术研发人员：大立好伸，前岛靖，高阿田勉，野中学，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP