一种涡轮分子泵制造技术

一种涡轮分子泵，包括具有多个转子叶片的至少一个转子元件，所述转子叶片通过转子元件支撑在壳体中；至少一个定子元件，包括在转子叶片之间突出的多个定子叶片；以及布置在转子轴的端部区域中的至少两个轴承元件，其中高真空侧上的轴承元件形成为滚子轴承并且布置在腔室中，该腔室经由至少一个通道连接到压力区域，该腔室中的压力高于高真空区域中的压力。本实用新型专利技术的技术方案可以提高出口耐压以及使分子泵高压强区的抽速提高；提供经由通道连接到相应的压力区域的腔室使得可以通过在高真空侧上的滚子轴承支撑转子轴。因此，可以显着地降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种涡轮分子泵
本技术涉及一种分子泵，具体涉及一种涡轮分子泵。
技术介绍
分子泵是用于对一个封闭的真空腔在分子流及接近分子流区域内抽真空，使用冷阱或挡板，得到一个较高的真空。现有技术中，用滚子轴承支撑转子元件的两个轴承元件，以浮动方式支撑转子轴，高真空侧上的支承元件朝向预真空侧移位，使得转子轴向外突出。因此，轴承元件移动到低压力区域中，润滑剂的排出不再发生或仅以可接受的程度发生。然而，以便确保足够的稳定性，以浮动方式支撑的转子轴具有重量大的缺点。此外，分子泵出口耐压不高，高压强区的抽速有待提高。
技术实现思路
1.要解决的技术问题基于现有技术中存在的上述问题，本技术的目的在于提供一种涡轮分子泵。2.技术方案本技术的目的主要通过以下的技术方案来实现。一种涡轮分子泵，包括具有多个转子叶片的至少一个转子元件，所述转子叶片通过转子元件支撑在壳体中；至少一个定子元件，包括在转子叶片之间突出的多个定子叶片；以及布置在转子轴的端部区域中的至少两个轴承元件，其中高真空侧上的轴承元件形成为滚子轴承并且布置在腔室中，该腔室经由至少一个通道连接到压力区域，该腔室中的压力高于高真空区域中的压力。优选地，所述腔室至少本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涡轮分子泵，其特征在于，包括具有多个转子叶片的至少一个转子元件，所述转子叶片通过转子元件支撑在壳体中；至少一个定子元件，包括在转子叶片之间突出的多个定子叶片；以及布置在转子轴的端部区域中的至少两个轴承元件，其中高真空侧上的轴承元件形成为滚子轴承并且布置在腔室中，该腔室经由至少一个通道连接到压力区域，该腔室中的压力高于高真空区域中的压力。

【技术特征摘要】
1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括具有多个转子叶片的至少一个转子元件，所述转子叶片通过转子元件支撑在壳体中；至少一个定子元件，包括在转子叶片之间突出的多个定子叶片；以及布置在转子轴的端部区域中的至少两个轴承元件，其中高真空侧上的轴承元件形成为滚子轴承并且布置在腔室中，该腔室经由至少一个通道连接到压力区域，该腔室中的压力高于高真空区域中的压力。2.如权利要求1所述的一种涡轮分子泵，其特征在于，所述腔室至少部分地由与所述壳体直接或间接...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建强，郭金虎，吕建文，唐华，葛虎虎，郑超，刘旭昌，王耀鹏，刘佩，马诚，马超，韩茜，张钊，刘璠璠，王钊，杨冲，杨兴，周宝林，何均，崔雪荣，颉金劳，王超锋，马少创，王团结，刘战卫，王珍珍，
申请(专利权)人：陕西华通机电制造有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61