下载一种涡轮分子泵的技术资料

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一种涡轮分子泵,包括具有多个转子叶片的至少一个转子元件,所述转子叶片通过转子元件支撑在壳体中;至少一个定子元件,包括在转子叶片之间突出的多个定子叶片;以及布置在转子轴的端部区域中的至少两个轴承元件,其中高真空侧上的轴承元件形成为滚子轴承并且...
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