监视装置及监视方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种监视装置及监视方法，能够精度更优良地监视真空泵的消耗功率。监视装置(3)包括：运算部(31)，运算磁轴承式的涡轮分子泵(TMP)的消耗功率，所述磁轴承式的涡轮分子泵(TMP)的消耗功率是将基于马达转数及马达电流值的马达(11)的消耗功率与磁轴承(12)的消耗功率相加所得；以及显示控制部(34)，使由运算部(31)运算出的涡轮分子泵(TMP)的消耗功率显示于显示部(33)。

Monitoring device and monitoring method

The invention provides a monitoring device and a monitoring method, which can monitor the consumption power of a vacuum pump more accurately. The monitoring device (3) comprises an operation part (31), the operation of magnetic bearing turbo molecular pump type (TMP) of the power consumption, the magnetic bearing type of turbomolecular pump (TMP) power consumption is based on the motor speed and motor current value (11) of the power consumption and the magnetic bearing (12) the power consumption sum of income; and a display control part (34), (31) by the Ministry of the operation of the turbo molecular pump (TMP) calculated the power consumption of a display part to display (33).

【技术实现步骤摘要】
监视装置及监视方法
本专利技术涉及一种监视装置及监视方法。
技术介绍
专利文献1中记载了一种涡轮分子泵（turbo-molecularpump），其具备运算涡轮分子泵的消耗功率的消耗功率运算部。专利文献1中，运算与马达电流及泵转数对应的马达的消耗功率，并将该消耗功率作为泵的消耗功率。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2010-31679号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]然而，在磁轴承式的涡轮分子泵的情况下，因磁轴承（magneticbearing）的消耗功率也包含在泵的消耗功率中，所以在现有的消耗功率运算中无法精度良好地运算泵的消耗功率。而且，半导体制造装置中通常使用多个涡轮分子泵，仅个别地运算各涡轮分子泵的消耗功率并不充分。[解决问题的技术手段]本专利技术的优选的实施方式的监视装置利用磁轴承将转子磁悬浮支撑，对利用马达而旋转驱动的磁轴承式真空泵的消耗功率进行监视，包括：运算部，运算所述磁轴承式真空泵的消耗功率，所述磁轴承式真空泵的消耗功率是将基于马达转数及马达电流值的所述马达的消耗功率与所述磁轴承的消耗功率相加所得；以及显示控制部，使由所述运算部运算出的所述磁轴承式真空泵的消耗功率显示于显示装置。更优选的实施方式中，所述磁轴承式真空泵还包括加热器，所述运算部基于所述加热器的导通断开（on/off）状态来运算加热器消耗功率，将所述加热器消耗功率、所述马达的消耗功率及所述磁轴承的消耗功率相加而运算所述磁轴承式真空泵的消耗功率。更优选的实施方式中，还包括通信部，所述通信部利用与所述磁轴承式真空泵的通信，而从所述磁轴承式真空泵输入所述马达电流值及所述马达转数，所述运算部基于由所述通信部输入的所述马达电流值及所述马达转数而运算所述马达的消耗功率。更优选的实施方式中，还包括存储部，所述存储部分别存储着不同机型的多个磁轴承式真空泵中的消耗功率特性，所述运算部基于与作为运算对象的磁轴承式真空泵的机型相应的所述消耗功率特性，而运算所述磁轴承式真空泵的消耗功率。更优选的实施方式中，所述运算部根据泵安装姿势来确定所述磁轴承的消耗功率。本专利技术的优选的实施方式的监视方法适用于所述监视装置，所述监视方法包括下述步骤：基于马达转数及马达电流值而运算所述马达的消耗功率；确定所述磁轴承的消耗功率；运算将所述马达的消耗功率及所述磁轴承的消耗功率相加所得的所述磁轴承式真空泵的消耗功率；以及使运算出的所述磁轴承式真空泵的消耗功率显示于显示装置。本专利技术的优选的实施方式的监视装置对真空泵的消耗功率进行监视，所述监视装置包括：运算部，运算多个所述真空泵的消耗功率；合计消耗功率运算部，运算由所述运算部运算出的多个所述真空泵的消耗功率的合计；以及显示控制部，使多个所述真空泵的消耗功率的合计显示于显示装置。[专利技术的效果]根据本专利技术，能够精度更良好地监视真空泵的消耗功率。附图说明图1是表示具备本专利技术的监视装置的泵系统的一例的图。图2是表示泵单元1的详情的剖视图。图3是表示消耗功率计算的处理顺序的一例的流程图。图4是表示步骤S130的消耗功率计算处理的一例的流程图。图5是表示消耗功率的显示例的图。图6是说明第二实施方式的监视装置的框图。【主要元件符号说明】1：泵单元2：控制单元3：监视装置4：泵转子4a：旋转翼4b：圆筒部5：转子轴11：马达12：磁轴承12A、12B：径向磁轴承12C：轴向磁轴承13：转数传感器14：加热器15：制冷剂配管21、31：运算部22：MB控制部23：马达控制部24：温度调节部25、32：存储部26、34：显示控制部27、33：显示部40：串行通信线60：基底60a：排气口61：泵壳体61a：吸气口62：固定翼定子63：间隔环64：螺杆定子65：排气端口66a、66b：机械轴承100：计算机801、802、803、804：区域Amax：最大电流DT1、DT2：数据表G1、G2、G3、G4：泵群Pb：减速时最大功率Pmax：最大功率R0：特定转数S100～S130、S200～S230：步骤SP：串行通信端口t1、t2、t3、t4、t5、t6：日期与时刻TMP、TMP1～TMP3：涡轮分子VHT：额定电压W（i）：消耗功率Wg（1）：总消耗功率WHT：额定功率WMB：磁轴承消耗功率η：损耗具体实施方式以下，参照图式对用以实施本专利技术的具体实施方式进行说明。-第一实施方式-图1是表示具备本专利技术的监视装置的泵系统的一例的图。泵系统中设置着多个涡轮分子泵TMP1、涡轮分子泵TMP2、涡轮分子泵TMP3。另外，虽然图1所示的例中设置着3台涡轮分子泵，但涡轮分子泵的数量可为2台以下，也可为4台以上。涡轮分子泵TMP1～涡轮分子泵TMP3利用监视装置3来监视消耗功率等。涡轮分子泵TMP1～涡轮分子泵TMP3均具备进行真空排气的泵单元1、及对泵单元1进行驱动控制的控制单元2。泵单元1与控制单元2可以分开地构成，也可一体地构成。而且，涡轮分子泵TMP1～涡轮分子泵TMP3可为同一机型，也可为不同机型。图2是表示泵单元1的详情的剖视图。本实施方式中的涡轮分子泵TMP1～涡轮分子泵TMP3为磁轴承式涡轮分子泵，固定着泵转子4的转子轴5利用设置于基底60的径向磁轴承（radialmagneticbearing）12A、径向磁轴承12B及轴向磁轴承（axialmagneticbearing）12C而非接触地支撑。各磁轴承（径向磁轴承12A、径向磁轴承12B及轴向磁轴承12C）具备电磁铁及移位传感器，利用移位传感器检测转子轴5的悬浮位置。转子轴5利用马达11而旋转驱动。马达11为同步马达，本实施方式中，使用直流（constantcurrent，DC）无刷马达（brushlessmotor）。转子轴5的转数利用转数传感器13而检测。在径向磁轴承12A、径向磁轴承12B及轴向磁轴承12C不动作的情况下，转子轴5利用非常用的机械轴承（mechanicalbearing）66a、机械轴承66b而支撑。关于泵转子4，在上游侧形成着多级旋转翼4a，在下游侧形成着构成螺纹槽泵的圆筒部4b。与这些对应地在固定侧设置着多个固定翼定子62及螺杆定子（screwstator）64。图2所示的例中，在螺杆定子64侧形成着螺纹槽，也可在圆筒部4b形成螺纹槽。各固定翼定子62隔着间隔环63而载置于基底60上。基底60上，螺固着形成有吸气口61a的泵壳体61。基底60的排气口60a上设置着排气端口65，该排气端口65上连接着后泵。如果利用马达11使紧固着泵转子4的转子轴5高速旋转，则吸气口61a侧的气体分子被朝向排气端口65侧排出。基底60上设置着加热器14、及供冷却水等制冷剂流动的制冷剂配管15。在将反应产物中的容易堆积的气体排出的情况下，为了抑制产物向螺纹槽泵部分或下游侧的旋转翼4a的堆积，而进行加热器14的导通断开及流经制冷剂配管15的制冷剂的导通断开，由此例如以螺杆定子固定部附近的基础温度为规定温度的方式进行温度调节。另外，虽省略图示，但在制冷剂配管15上设置着用以将制冷剂导通断开的电磁阀。回到图1，在控制单元2设置着：对磁轴承12（12A、12B、12C）进行驱动控制的磁轴承（MagneticBearing，MB）控制部22，对马达11进行驱动控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种监视装置，利用磁轴承将转子磁悬浮支撑，对利用马达而旋转驱动的磁轴承式真空泵的消耗功率进行监视，所述监视装置的特征在于包括：运算部，运算所述磁轴承式真空泵的消耗功率，所述磁轴承式真空泵的消耗功率是将基于马达转数及马达电流值的所述马达的消耗功率与所述磁轴承的消耗功率相加所得；以及显示控制部，使由所述运算部运算出的所述磁轴承式真空泵的消耗功率显示于显示装置。

【技术特征摘要】
2015.12.28 JP 2015-2562021.一种监视装置，利用磁轴承将转子磁悬浮支撑，对利用马达而旋转驱动的磁轴承式真空泵的消耗功率进行监视，所述监视装置的特征在于包括：运算部，运算所述磁轴承式真空泵的消耗功率，所述磁轴承式真空泵的消耗功率是将基于马达转数及马达电流值的所述马达的消耗功率与所述磁轴承的消耗功率相加所得；以及显示控制部，使由所述运算部运算出的所述磁轴承式真空泵的消耗功率显示于显示装置。2.根据权利要求1所述的监视装置，其特征在于：所述磁轴承式真空泵还包括加热器，所述运算部基于所述加热器的导通断开状态来运算加热器消耗功率，将所述加热器消耗功率、所述马达的消耗功率及所述磁轴承的消耗功率相加而运算所述磁轴承式真空泵的消耗功率。3.根据权利要求1或2所述的监视装置，其特征在于还包括：通信部，利用与所述磁轴承式真空泵的通信，而从所述磁轴承式真空泵输入所述马达电流值及所述马达转数，所述运算部基于由所述通信部输入的所述马达电流值及所述马达转数而运算...

【专利技术属性】
技术研发人员：森山伸彦，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP