真空泵及质量分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种真空泵以及质量分析装置，可实现排气性能的提高。本发明专利技术的真空泵包含多个吸气口，在所述圆筒状定子上，形成有贯通所述圆筒状定子并且与形成于内周面的一个以上的所述螺纹槽连通的一个以上的贯通孔，形成于所述圆筒状定子的所述一个以上的贯通孔的各圆周方向尺寸的合计被设定为所述圆筒状定子的外周面上的所述第2吸气口所对向的区域的圆周方向尺寸以上，所述真空泵包括将从所述第2吸气口流入的气体引导至所述贯通孔所贯通且与所述第2吸气口所对向的区域相离的螺纹槽的气体通路。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空泵及质量分析装置。
技术介绍
涡轮分子泵(turbo-molecularpump)等真空泵作为可生成洁净的高真空环境的泵而用于各种装置。作为这种装置的一例，有质量分析器。在质量分析器中，四极杆(quadrupolerod)或检测器中的真空度设定为比离子源中的真空度高5倍至10倍左右。因此，已知有包含多个吸气口，以能够利用一台真空泵应对这种装置的真空泵(例如，参照专利文献1)。在专利文献1所述的真空泵中，包括第1涡轮分子平台及第2涡轮分子平台以及霍尔维克(Holweck)平台，并且包括可流入至第1涡轮分子平台的第1吸气口、可流入至第1涡轮分子平台与第2涡轮分子平台之间的第2吸气口、以及可流入至霍尔维克平台的第3吸气口。在霍尔维克平台的定子(stator)侧，形成有与所述第3吸气口连通的贯通孔。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2003-129990号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]然而，在霍尔维克平台的定子中形成有多个螺旋槽，在所述多个螺旋槽的各个中进行气体排出。但是，在专利文献1所述的真空泵中，所述贯通孔仅贯通于多个螺旋槽之中的一部分螺旋槽，所以在每个螺旋槽内气体的流量不同。其结果为：霍尔维克平台的吸气侧压力升高，从而导致泵整体的排气性能的恶化。[解决问题的技术手段]本专利技术的优选实施方式的真空泵包括：第1泵平台；第2泵平台，设置在比所述第1泵平台更靠泵下游侧的位置，包括沿内周面圆周方向交替地形成有多个螺纹槽及螺纹牙的圆筒状定子、以及设置在所述圆筒状定子的内周侧的圆筒状转子(rotor)；第1吸气口，设置在比所述第1泵平台更靠上游侧的位置；以及第2吸气口，设置在比所述第1泵平台更靠下游侧的位置，与所述第2泵平台连通；并且在所述圆筒状定子上，形成有贯通所述圆筒状定子且与形成于内周面的一个以上的所述螺纹槽连通的一个以上的贯通孔，形成于所述圆筒状定子的所述一个以上的贯通孔的各圆周方向尺寸的合计被设定为所述圆筒状定子的外周面上的所述第2吸气口所对向的区域的圆周方向尺寸以上，并且包含将从所述第2吸气口流入的气体引导至所述贯通孔所贯通且与所述第2吸气口所对向的区域相离的螺纹槽的气体通路。在更优选的实施方式中，所述气体通路包含形成于所述圆筒状定子的外周面的槽及形成于以覆盖所述圆筒状定子的外周侧的方式而设置的泵壳体的内周面的槽中的至少一者。在更优选的实施方式中，所述气体通路是以与所述贯通孔的开口的整个区域相对向的方式而形成。本专利技术的优选实施方式的质量分析装置包括：所述真空泵；第1分析单元；第2分析单元，在压力高于所述第1分析单元的压力区域内工作；第1腔室(chamber)，收纳所述第1分析单元，并包含连接所述真空泵的第1吸气口的第1排气口；以及第2腔室，收纳所述第2分析单元，并包含连接所述真空泵的第2吸气口的第2排气口。[专利技术的效果]根据本专利技术，在包含多个吸气口的真空泵中，可实现排气性能的提高。附图说明图1是表示本专利技术的真空泵的第1实施方式的一例的外观立体图。图2是沿轴方向将真空泵加以剖开的剖面图。图3是图2的A1-A1剖面图。图4是表示第1螺杆定子的内周面侧的形状的展开图。图5(a)及图5(b)是对比地表示本实施方式的泵构成与现有的真空泵的构成的图。图6是表示所述第1实施方式的第1变形例的图。图7是表示所述第1实施方式的第2变形例的图。图8(a)及图8(b)是表示第2实施方式的一例的图。图9是表示图8(a)所示的第1螺杆定子的外周面侧的展开图。图10(a)及图10(b)是表示图9的D1-D1剖面及D2-D2剖面的图。图11是表示质量分析装置的一例的图。图12是表示不贯通螺纹牙时的第1螺杆定子的展开图。[符号的说明]1：真空泵10：轴20：第1涡轮机转子21：第1涡轮机叶片段22：第1固定叶片段23、33、50：间隔件34：圆板部60a～60c、600a：贯通孔30：第2涡轮机转子31：第2涡轮机叶片段32：第2固定叶片段40：磁铁保持器41：保持器支撑部42、84：滚珠轴承43、44：永久磁铁60：第1螺杆定子60G1、60G2、700、701：气体通路61：第2螺杆定子62：第1圆筒转子63：第2圆筒转子70：第1壳体71：第1吸气口71a～73a：密封圈槽72：第2吸气口73：第3吸气口75：凸缘部80：第2壳体81、82：排气通路83：轴承保持器85：排气端口86：散热鳍片90：马达转子91：马达定子100：质量分析装置110：质量分析部112：加热块113：第1中间室114：第2中间室115：分析室120：去溶剂管121：第1离子透镜122：撇渣器123：八极装置124：聚焦透镜125：入口透镜126：第1四极杆127：第2四极杆128：检测器131、132、133：排气口150：离子化室151：离子化用喷雾器152：配管601：螺纹牙DL：虚线G：箭头GL1～GL11：螺纹槽HP：霍尔维克(Holweck)泵平台L1：与第3吸气口73相对向的定子外周面区域的圆周方向尺寸L2：贯通孔60的圆周方向尺寸L2a：贯通孔60a的圆周方向尺寸L2b：贯通孔60b的圆周方向尺寸L3：与气体通路700相对应的以两点点划线TDCL表示的区域的圆周方向尺寸LC：液相色谱部TDCL：两点点划线TP1：第1涡轮分子泵平台TP2：第2涡轮分子泵平台W1：与第3吸气口相对向的定子外周面区域的轴方向尺寸W2：贯通孔60a的轴方向尺寸W3：与气体通路700相对应的以两点点划线TDCL表示的区域的轴方向尺寸具体实施方式以下，参照附图对用以实施本专利技术的方式进行说明。-第1实施方式-图1是表示本专利技术的真空泵的一个实施方式的外观立体图。真空泵1包括第1壳体70及第2壳体80。在第1壳体70上，设置有形成有第1吸气口71、第2吸气口72及第3吸气口73的凸缘(flange)部75。在第1吸气口71、第2吸气口72及第3吸气口73上，分别形成有安装密封圈(sealring)的密封圈槽71a、密封圈槽72a、密封圈槽73a。如下所述，在第2壳体80中设置有马达(motor)，在第2壳体80的表面(真空泵1的底面)形成有散热鳍片86。图2是沿轴方向将真空泵1加以剖开的剖面图。另外，图3是图2的A1-A1剖面图。在第1壳体70的内部，设置有固定有第1涡轮机转子(turbinerotor)20、第2涡轮机转子30及马达转子90的轴(shaft)10。轴10由使用永久磁铁43、永久磁铁44的磁轴承及滚珠轴承(ballbearing)84所支撑。设置在马达转子90的外周侧的马达定子91保持于第2壳体80。滚珠轴承84保持于固定在第2壳体80的轴承保持器(bearingholder)83。永久磁铁44固定在形成于轴10的图示右端部的凹部内。配置在永久磁铁44的内侧的永久磁铁43保持于磁铁保持器40。磁铁保持器40固定在保持器支撑部41，所述保持器支撑部41固定在第1壳体70。在磁铁保持器40上，设置有滚珠轴承42。滚珠轴承42是作为对轴10的离心旋动(centrifugalwhirling)进行限制以使永久磁铁44与永久磁铁43不接触的限制构件而发挥作用。在第1涡轮机转子20上，沿轴方向形成有多段包含多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵，其特征在于包括：第1泵平台；第2泵平台，设置在比所述第1泵平台更靠泵下游侧的位置，包括沿内周面圆周方向交替地形成有多个螺纹槽及螺纹牙的圆筒状定子、以及设置在所述圆筒状定子的内周侧的圆筒状转子；第1吸气口，设置在比所述第1泵平台更靠上游侧的位置；以及第2吸气口，设置在比所述第1泵平台更靠下游侧的位置，与所述第2泵平台连通，在所述圆筒状定子上，形成有贯通所述圆筒状定子并且与形成于内周面的一个以上的所述螺纹槽连通的一个以上的贯通孔，形成于所述圆筒状定子的所述一个以上的贯通孔的各圆周方向尺寸的合计被设定为所述圆筒状定子的外周面上的所述第2吸气口所对向的区域的圆周方向尺寸以上，所述真空泵包括将从所述第2吸气口流入的气体引导至所述贯通孔所贯通且与所述第2吸气口所对向的区域相离的螺纹槽的气体通路。

【技术特征摘要】
2015.09.15 JP 2015-1817871.一种真空泵，其特征在于包括：第1泵平台；第2泵平台，设置在比所述第1泵平台更靠泵下游侧的位置，包括沿内周面圆周方向交替地形成有多个螺纹槽及螺纹牙的圆筒状定子、以及设置在所述圆筒状定子的内周侧的圆筒状转子；第1吸气口，设置在比所述第1泵平台更靠上游侧的位置；以及第2吸气口，设置在比所述第1泵平台更靠下游侧的位置，与所述第2泵平台连通，在所述圆筒状定子上，形成有贯通所述圆筒状定子并且与形成于内周面的一个以上的所述螺纹槽连通的一个以上的贯通孔，形成于所述圆筒状定子的所述一个以上的贯通孔的各圆周方向尺寸的合计被设定为所述圆筒状定子的外周面上的所述第2吸气口所对向的区域的圆周方向尺寸以上，所述真空泵包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：真锅雅嗣，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP