排气口零件及真空泵制造技术

提供一种将配设的真空泵的排气口整体的温度效率良好地提高的排气口零件、以及配设有该排气口零件的真空泵。涉及本发明专利技术的实施方式的排气口零件具备用来使得从配设在排气口零件上的加热器得到的热难以向基座侧传递、而向排气口的里侧（真空泵侧）效率良好地传递的隔热部。此外，涉及本发明专利技术的实施方式的真空泵具备具有该隔热部的排气口零件。涉及本实施方式的排气口零件的隔热部具备形成在排气口零件的外周面上的凸缘部和密接在该凸缘部上而配设的隔热间隔件。或者，具有以一体型形成有在排气口零件的外周面上形成的凸缘部和上述隔热间隔件的结构的排气口零件凸缘部为隔热部。借助该结构，能够将真空泵的排气口整体的温度效率良好地提高而使生成物、堆积物的量减少。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及排气口零件及真空泵。详细地讲，涉及使生成物、堆积物的量减少的排气口零件及真空泵。
技术介绍
在用于作为制造半导体或太阳能电池、液晶等时的工序之一的成膜的装置中，在用于生成Si膜的真空腔室内使用硅烷气体（SiH4）等工艺气体。在配设真空泵的装置使用上述那样的工艺气体的情况下，使用后的废气被从作为半导体制造工序用的装置的连接在真空腔室上的真空泵的反应炉向外部排出。真空泵的排气侧容易堆积因这样的废气被冷却到升华温度以下而生成的固体/粉体的生成物。为了将堆积的生成物去除，需要实施定期的维护（大修），通常，该维护以三个月一次左右的频率实施。但是，鉴于运行方面、费用方面的考虑，从1次维护到进行下次维护的间隔（预维护期间）越长越好。专利文献1：日本特开2000－064986号公报。作为防止真空泵内的反应生成物的堆积的技术，有在真空泵的外部卷绕加热器的技术。在专利文献1中，记载有下述这样的技术：在吸入活性气体的情况下的涡轮分子泵中，为了将旋转翼冷却而精心设计固定翼侧的构造。并且，在活性气体的升华温度以下的状况下生成的反应生成物凝固、附着在泵内部，旋转翼与固定翼间的间隙消失。所以，为了防止旋转翼与固定翼接触的问题，记载有下述这样的方案：在泵外部卷装加热器，使得泵内部的温度不会成为一定温度以下。如专利文献1所示，以往在真空泵中，在基座部分（基座部10）上设置排气用的气体通路（排气口11），在该排气口中嵌入地装备能够替换的排气口零件。这样，排气口零件被安装在真空泵的基座上，成为排气口零件的凸缘面直接接触在真空泵的基座上的构造。在上述那样的构造、即嵌入地配设在排气口中的零件（排气口零件）被直接安装在基座上的构造的情况下，排气口及排气口零件的温度受到处于比排气口及排气口零件的温度低的环境下的基座、前级管线的配管或大气等的温度的影响，由此，排气口及排气口零件的温度也容易下降。因此，排气口内部容易堆积由上述那样的工艺气体带来的生成物。对于这样的问题，为了提高排气口及排气口零件的温度而防止生成物的堆积，在排气口的外侧（即大气侧）圆柱状地卷绕加热器以向排气口内部传热，由此使排气口及排气口零件升温（加热）。但是，加热被限定在加热器周边等，仅能够得到局部性的效果，难以使排气口整体/希望的部位效率良好地升温。
技术实现思路
所以，本专利技术的目的是提供一种能够将配设的真空泵的排气口整体的温度效率良好地提高而使生成物、堆积物的量减少的排气口零件、以及配设有该排气口零件的真空泵。为了达到上述目的，在技术方案1记载的本专利技术中，提供一种排气口零件，该排气口零件具备一部分嵌入在真空泵的排气口中的壳体部、和形成在前述壳体部的外周面上的突边部，其特征在于，前述排气口零件具备隔热机构。在技术方案2记载的本专利技术中，提供如技术方案1中记载的排气口零件，其特征在于，前述隔热机构固定配设于前述突边部。在技术方案3记载的本专利技术中，提供如技术方案1或2中记载的排气口零件，其特征在于，前述隔热机构用热传导率比前述壳体部的热传导率小的材料制造。在技术方案4记载的本专利技术中，提供如技术方案1～3中任一项中记载的排气口零件，其特征在于，前述隔热机构用不锈钢制造。在技术方案5记载的本专利技术中，提供如技术方案1～4中任一项中记载的排气口零件，其特征在于，在前述隔热机构与前述突边部或前述真空泵的基座的至少某一个接触的接触面上，形成有用来使前述接触面的面积变少的非接触部。在技术方案6记载的本专利技术中，提供如技术方案1～5中任一项中记载的排气口零件，其特征在于，前述突边部与前述隔热机构经由O形环接合。在技术方案7记载的本专利技术中，提供如技术方案1中记载的排气口零件，其特征在于，前述壳体部及前述隔热机构由1个零件构成。在技术方案8记载的本专利技术中，提供如技术方案1中记载的排气口零件，其特征在于，前述隔热机构构成为，使前述突边部的长边方向的宽度为前述壳体部的内周壁的壁厚的至少3倍的尺寸。在技术方案9记载的本专利技术中，提供一种真空泵，其特征在于，具备：外装体，该外装体形成有吸气口、和配设有技术方案1～8中任一项所述的排气口零件的排气口；旋转轴，该旋转轴被前述外装体包围在内部，并被旋转自如地支承；旋转体，该旋转体被固定在前述旋转轴上；旋转翼，该旋转翼从前述旋转体的外周面放射状地配设；固定翼，该固定翼与前述旋转翼隔开既定的间隔地配置；气体移送机构，该气体移送机构借助前述旋转翼和前述固定翼的相互作用，将从前述吸气口吸入的气体向前述排气口移送。根据本专利技术，能够提供一种能够将配设的真空泵的排气口整体的温度效率良好地提高而使生成物、堆积物的量减少的排气口零件、以及配设有该排气口零件的真空泵。附图说明图1是表示具备涉及本专利技术的实施方式的排气口零件的真空泵的概略结构例的图。图2是表示涉及本专利技术的实施方式的排气口零件的概略结构例的图。图3是用来说明涉及本专利技术的实施方式的排气口零件的图。图4是用来说明涉及本专利技术的实施方式的隔热间隔件的图。图5是用来说明涉及本专利技术的实施方式的排气口零件和热传导的图。图6是用来说明涉及本专利技术的实施方式的变形例的排气口零件的图。具体实施方式（i）实施方式的概要涉及本专利技术的实施方式的排气口零件具备用来将从配设在排气口零件上的加热器得到的热向排气口的里侧（真空泵侧）效率良好地传递的隔热部（隔热机构）。此外，涉及本专利技术的实施方式的真空泵具备具有该隔热部（隔热机构）的排气口零件。涉及本实施方式的排气口零件的隔热部具备在排气口零件的壳体部分的外周面上形成为环状（轮状）的凸缘（突边）部、和密接在该凸缘部上而配设的隔热间隔件。或者，具有以一体型形成凸缘部和上述隔热间隔件的结构的排气口零件的凸缘（突边）部为隔热部，所述凸缘部形成在排气口零件的外周面上。借助该结构，能够将真空泵的排气口整体的温度效率良好地提高而使生成物、堆积物的量降低。（ii）实施方式的详细情况（真空泵的结构）以下，参照图1至图6对本专利技术的优选的实施方式详细地说明。图1是表示涉及本专利技术的第1实施方式的真空泵（涡轮分子泵1）的概略结构例的图，表示涡轮分子泵1的轴线方向的剖视图。另外，在本专利技术的实施方式中，为了方便，设旋转翼的直径方向为“径（直径/半径）”、设与旋转翼的直径方向垂直的方向为“轴线方向”而进行说明。形成涡轮分子泵1的外装体的机壳2呈大致圆筒状的形状，与设在机壳2的下部（排气口6侧）的基座3一起构成涡轮分子泵1的壳体。并且，在该壳体的内部，收纳有作为使涡轮分子泵1发挥排气功能的构造物的气体移送机构。该气体移送机构大体上划分，由被旋转自如地支承（轴支承）的旋转部（转子部）和相对于壳体固定的固定部构成。此外，虽然没有图示，但在涡轮分子泵1的外装体的外部，经由专用线连接着控制涡轮分子泵1的动作的控制装置。在机壳2的端部，形成有用来向该涡轮分子泵1导入气体的吸气口4。此外，在机壳2的吸气口4侧的端面上，形成有向外周侧伸出的凸缘部5。此外，在基座3上，形成有用来从该涡轮分子泵1将气体排出的排气口6。这里，在本实施方式中，在设在基座3上的排气口6中，嵌入地配设具有隔热部的排气口零件600。如果嵌入了该排气口零件600，则该排气口零件600的大气侧（排气侧）的口作为排气口6发挥功能。另外，关于排气口零件600的详细情况在后描述。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种排气口零件，该排气口零件具备一部分嵌入在真空泵的排气口中的壳体部、和形成在前述壳体部的外周面上的突边部，其特征在于，前述排气口零件具备隔热机构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.31 JP 2014-0721331.一种排气口零件，该排气口零件具备一部分嵌入在真空泵的排气口中的壳体部、和形成在前述壳体部的外周面上的突边部，其特征在于，前述排气口零件具备隔热机构。2.如权利要求1所述的排气口零件，其特征在于，前述隔热机构固定配设于前述突边部。3.如权利要求1或2所述的排气口零件，其特征在于，前述隔热机构用热传导率比前述壳体部的热传导率小的材料制造。4.如权利要求1～3中任一项所述的排气口零件，其特征在于，前述隔热机构用不锈钢制造。5.如权利要求1～4中任一项所述的排气口零件，其特征在于，在前述隔热机构与前述突边部或前述真空泵的基座的至少某一个接触的接触面上，形成有用来使前述接触面的面积变少的非接触部。6.如权利要求1～5中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂口祐幸，黑川典弘，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP