涡轮分子泵制造技术

本发明专利技术的目的是得到不因为气体吸附物体而增大轴向的进气口的长度地配置气体吸附物体的涡轮分子泵。该涡轮分子泵在壳体(外筒(127))内具备转子部及定子部。而且，该涡轮分子泵在其定子部或壳体具备吸气剂泵部，此外具备进行该吸气剂泵部中的气体吸附物体(401)的活化及再生的至少一方的加热器部(402)。活化及再生的至少一方的加热器部(402)。活化及再生的至少一方的加热器部(402)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】涡轮分子泵


[0001]本专利技术涉及涡轮分子泵。

技术介绍

[0002]某种涡轮分子泵具备吸气剂泵(Getter Pump)部，该吸气剂泵部具备在进气口的中空部中弯折的板状的气体吸附金属部及加热器部(例如参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开平2－215977号公报。

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]但是，在上述的涡轮分子泵中，在进气口的中空部中设置弯折的板状的气体吸附金属部及加热器部，所以轴向上的进气口的长度变大。而且，由于进气口的长度变大，上述的涡轮分子泵的轴向的长度变大，所以在有设置空间的制约的情况下难以采用本构造。
[0008]本专利技术是鉴于上述的问题而做出的，目的是得到不因为气体吸附物体而增大轴向的进气口的长度地配置气体吸附物体的涡轮分子泵。
[0009]用来解决课题的手段
[0010]本专利技术所述的涡轮分子泵是在壳体内具备转子部及定子部的涡轮分子泵，具备：吸气剂泵部，被配置在定子部或壳体；以及加热器部，进行吸气剂泵部中的气体吸附物体的活化及再生的至少一方。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本专利技术，能够得到不因为气体吸附物体而增大轴向的进气口的长度地配置气体吸附物体的涡轮分子泵。
[0013]本专利技术的上述或其他目的、特征及优点，结合附图并根据以下的详细的说明会变得更清楚。
附图说明
[0014]图1是示出作为本专利技术所述的实施方式的真空泵的涡轮分子泵的纵剖视图。
[0015]图2是示出图1所示的涡轮分子泵的进行电磁体的励磁控制的放大器电路的电路图。
[0016]图3是示出电流指令值比检测值大的情况下的控制的时间图。
[0017]图4是示出电流指令值比检测值小的情况下的控制的时间图。
[0018]图5是示出实施方式1所述的涡轮分子泵中的吸气剂泵部的一例的剖视图。
[0019]图6是示出实施方式2所述的涡轮分子泵中的吸气剂泵部的一例的剖视图。
[0020]图7是示出实施方式3所述的涡轮分子泵中的吸气剂泵部的一例的剖视图。
具体实施方式
[0021]以下，基于附图说明本专利技术的实施方式。
[0022]实施方式1.
[0023]在图1中示出该涡轮分子泵100的纵剖视图。在图1中，涡轮分子泵100在圆筒状的外筒127的上端形成有进气口101。而且，在外筒127的内方具备旋转体103，所述旋转体103在周部放射状且多级地形成有作为用来将气体抽吸排气的涡轮机叶的多个旋转叶片102(102a、102b、102c
…
)。在该旋转体103的中心安装着转子轴113，该转子轴113例如被5轴控制的磁性轴承悬浮支承在空中并被位置控制。旋转体103一般由铝或铝合金等的金属构成。
[0024]上侧径向电磁体104在X轴和Y轴成对地配置有4个电磁体。与该上侧径向电磁体104接近并且与上侧径向电磁体104分别对应地具备4个上侧径向传感器107。上侧径向传感器107使用例如具有传导绕线的电感传感器或涡电流传感器等，基于对应于转子轴113的位置而变化的该传导绕线的电感的变化，检测转子轴113的位置。该上侧径向传感器107构成为，检测转子轴113即固定于其上的旋转体103的径向变位并发送给控制装置200。
[0025]在该控制装置200中，例如具有PID调节功能的补偿电路基于由上侧径向传感器107检测到的位置信号生成上侧径向电磁体104的励磁控制指令信号，图2所示的放大器电路150(后述)基于该励磁控制指令信号对上侧径向电磁体104进行励磁控制，从而调整转子轴113的上侧的径向位置。
[0026]而且，该转子轴113由高透磁率材料(铁、不锈钢等)等形成，被上侧径向电磁体104的磁力吸引。将该调整在X轴方向和Y轴方向上分别独立地进行。此外，下侧径向电磁体105及下侧径向传感器108与上侧径向电磁体104及上侧径向传感器107同样地配置，将转子轴113的下侧的径向位置与上侧的径向位置同样地调整。
[0027]进而，轴向电磁体106A、106B上下夹着装备在转子轴113的下部的圆板状的金属盘111而配置。金属盘111由铁等的高透磁率材料构成。为了检测转子轴113的轴向变位而具备轴向传感器109，构成为将其轴向位置信号发送给控制装置200。
[0028]而且，在控制装置200中，例如具有PID调节功能的补偿电路基于由轴向传感器109检测到的轴向位置信号，生成轴向电磁体106A和轴向电磁体106B各自的励磁控制指令信号，放大器电路150基于这些励磁控制指令信号对轴向电磁体106A和轴向电磁体106B分别进行励磁控制，从而轴向电磁体106A借助磁力将金属盘111向上方吸引，轴向电磁体106B将金属盘111向下方吸引，调整转子轴113的轴向位置。
[0029]这样，控制装置200适当地调节该轴向电磁体106A、106B给金属盘111带来的磁力，使转子轴113在轴向上磁悬浮，非接触地保持于空间。另外，关于对这些上侧径向电磁体104、下侧径向电磁体105及轴向电磁体106A、106B进行励磁控制的放大器电路150在后面叙述。
[0030]另一方面，马达121具备以将转子轴113包围的方式周状地配置的多个磁极。各磁极被控制装置200控制为经由作用在与转子轴113之间的电磁力将转子轴113旋转驱动。此外，在马达121中装入有未图示的例如霍尔元件、解析器、编码器等的旋转速度传感器，通过该旋转速度传感器的检测信号检测转子轴113的旋转速度。
[0031]进而，例如在下侧径向传感器108附近安装着未图示的相位传感器，检测转子轴113的旋转的相位。在控制装置200中，同时使用该相位传感器和旋转速度传感器的检测信
号来检测磁极的位置。
[0032]与旋转叶片102(102a、102b、102c
…
)隔开稍稍的空隙配设有多片固定叶片123(123a、123b、123c
…
)。旋转叶片102(102a、102b、102c
…
)为了分别将排气气体的分子通过碰撞向下方移送而从与转子轴113的轴线垂直的平面以规定的角度倾斜而形成。固定叶片123(123a、123b、123c
…
)例如由铝、铁、不锈钢、铜等的金属或含有这些金属作为成分的合金等的金属构成。
[0033]此外，固定叶片123也同样从与转子轴113的轴线垂直的平面以规定的角度倾斜而形成，并且朝向外筒127的内方与旋转叶片102的级相互错开地配设。而且，固定叶片123的外周端以嵌插在多个被堆叠的固定叶片衬垫125(125a、125b、125c
…
)之间的状态被支承。
[0034]固定叶片衬垫125是环状的部件，例如由铝、铁、不锈钢、铜等的金属或含有这些金属作为成分的合金等的金属构成。在固定叶片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种涡轮分子泵，在壳体内具备转子部及定子部，其特征在于，具备：吸气剂泵部，被配置在前述定子部或前述壳体；以及加热器部，进行前述吸气剂泵部中的气体吸附物体的活化及再生的至少一方。2.如权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，前述吸气剂泵部被配置在前述定子部，前述定子部具备多级固定叶片和进行前述多级固定叶片的定位的多级固定叶片衬垫，前述吸气剂泵部被配置在前述多级固定叶片中的至少1级固定叶片或前述多级固定叶片衬垫中的至少1级固定叶片衬垫。3.如权利要求2所述的涡轮分子泵，其特征在于，前述加热器部被配置在前述固定叶片衬垫。4.如权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，还具备用来进行前述气体吸附物体的温度控制的温度传感器和控制装置，前述控制装置基于前述温度传感器的输出信号进行前述气体吸附物体的温度控制，前述吸气剂泵部被配置在前述定子部，前述定子部具备多级固定叶...

【专利技术属性】
技术研发人员：武田昌之，金田浩，Y，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：