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涡轮分子泵制造技术
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文档序号:39422454
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本发明的目的是得到不因为气体吸附物体而增大轴向的进气口的长度地配置气体吸附物体的涡轮分子泵。该涡轮分子泵在壳体(外筒(127))内具备转子部及定子部。而且,该涡轮分子泵在其定子部或壳体具备吸气剂泵部,此外具备进行该吸气剂泵部中的气体吸附物体...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。
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