下载排气口零件及真空泵的技术资料

文档序号:14686380

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提供一种将配设的真空泵的排气口整体的温度效率良好地提高的排气口零件、以及配设有该排气口零件的真空泵。涉及本发明的实施方式的排气口零件具备用来使得从配设在排气口零件上的加热器得到的热难以向基座侧传递、而向排气口的里侧(真空泵侧)效率良好地传递...
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