一种节能型真空泵氮气吹扫装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种节能型真空泵氮气吹扫装置,包括真空电阻规采集与电磁阀控制电路以及与其连接的电磁阀管路；所述电磁阀管路为多个电磁阀并联的管路；所述电磁阀管路的入口用于输入氮气，出口用于输出氮气。本发明专利技术体积小，响应快，节约能源和空间等优点，减少了氮气的消耗量。

Energy saving vacuum pump nitrogen purging device

The invention relates to an energy-saving type vacuum pump nitrogen purging device, including vacuum gauge resistance acquisition and control circuit of the electromagnetic valve and solenoid valve and pipeline connection; the electromagnetic valve pipe for pipeline multiple parallel electromagnetic valve; the electromagnetic valve entrance line for the input of nitrogen, nitrogen output for export. The invention has the advantages of small volume, fast response, energy saving, space saving, etc., and the consumption of nitrogen is reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种节能型真空泵氮气吹扫装置
本专利技术涉及真空泵
，具体的说是一种节能型真空泵氮气吹扫装置。
技术介绍
真空泵已经广泛的应用于半导体、制药、化工等领域，大多数的真空干泵都需要氮气吹扫装置，而在一些没有制氮设备的工厂中氮气需要气瓶配送，十分昂贵，在这种场合节约氮气就是节约成本。并且配送需要时间和人工，再现场安装，工作效率低，且氮气的使用容易造成浪费。本装置就是解决了人工效率低、真空干泵氮气耗费量过大的问题。
技术实现思路
为了克服现有真空干泵氮气量消耗过大，成本过高的问题，本专利技术提供一种节能型真空泵氮气吹扫装置。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种节能型真空泵氮气吹扫装置,包括真空电阻规采集与电磁阀控制电路以及与其连接的电磁阀管路；所述电磁阀管路为多个电磁阀并联的管路；所述电磁阀管路的入口用于输入氮气，出口用于输出氮气。所述真空电阻规采集与电磁阀控制电路包括单片机以及与其连接采集电路、电磁阀驱动电路；所述采集电路用于将真空度传感器的检测信号转换成数字信号发送至单片机；所述单片机用于将采集电路发来的数字信号与设定范围进行比较，输出控制命令给各电磁阀；所述电磁阀驱动电路用于根据单片机发送的控制命令驱动电磁阀动作。所述电磁阀驱动电路包括三极管和继电器；所述三极管的基极与单片机连接，发射极与电源连接，集电极通过反向二极管接地，反向二极管与继电器的线圈并联，继电器的一个常闭触点与电源连接，另一个常闭触点与电磁阀线圈一端连接，电磁阀线圈的另一端接地。所述真空度传感器为电阻规，用于采集0.1Pa至标准大气压信号。所述电磁阀为两个，第一电磁阀所在管路的直径大于第二电磁阀所在管路直径。所述电磁阀管路的通导模式为四种：两个电磁阀全开、第一电磁阀通导、第二电磁阀通导、两个电磁阀全关。所述真空电阻规采集与电磁阀控制电路和电磁阀管路设于同一个壳体内。本专利技术具有以下有益效果及优点：1、本专利技术的电磁阀并联管路连接简单易于实现；2、本专利技术的电磁阀驱动电路安全可靠，防止电磁干扰；3、通过电磁阀4种模式切换能够适应多种干泵半导体工艺需求。4、本专利技术体积小，响应快，节约能源和空间等优点，减少了氮气的消耗量。附图说明图1为本专利技术的结构框图；图2为电磁阀驱动电路图；图3为本专利技术的外形示意图。具体实施方式如图1所示，一种节能型真空泵氮气吹扫装置,包括电磁阀，两种不同通导的管道，真空电阻规采集与电磁阀控制电路，开关电源四部分组成。四部分安装在同一个壳体中。装置可以采集电阻规信号，电磁阀控制电路可以控制两个电磁阀形成全开，全关，较高通导，较低通导4种组合模式。电磁阀为直流24V线圈控制，数量为两个，安装在两个不同通导的管路中，集成在壳体内部。气路管为总进气管路直径为6mm，之后通过三通装置分出2个不同通导其中高通导管路直径为4mm，低通导管路直径为3mm，并分别在这两个管路中串入电磁阀。通过电磁阀后，两个气路通过三通构成了一个并联结构。如图2所示，单片机输出引脚控制三极管驱动继电器控制端线圈，线圈型号PA1A-24V,小型继电器常闭触点再进一步驱动电磁阀线圈控制电磁阀。电磁阀驱动电路有两个，一个用于驱动一个电磁阀。真空电阻规采集与电磁阀控制电路通过电阻规测量范围0.1Pa到标准大气压信号，外接电阻规的型号为ZJ52，该传感器设置于干泵抽气接口位置。控制输出端的小型继电器线圈和电磁阀线圈控制电压均为直流24V。当采集的真空度信号为小于1Pa时，将使用低通导流量吹扫模式：单片机控制低通导电磁阀全开，高通导电磁阀闭合；当信号大于5Pa时认为有可能在做工艺，采用全开吹扫模式：单片机控制低通导电磁阀和高通导电磁阀均全开；当小于5Pa大于3Pa时，采用高通导模式：单片机控制高通导电磁阀全开，低通导电磁阀闭合；当小于3Pa大于1Pa时，采用低通导模式：单片机控制低通导电磁阀和高通导电磁阀均全开。电磁阀部分为直流24V电磁阀，通过电磁阀控制电路可以组成全开，全关，较高通导，较低通导4种组合通导模式。其全开通导为5mm，较高通导为4mm，较低通导为3mm，全关为0。见图3将本装置安装在泵内侧靠近氮气管路端，螺丝固定将模块进气端与进气端管路连接，出气端与出气端管路连接(卡套连接)。连接供电AC220电源和电阻规信号到模块(航空插头)。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种节能型真空泵氮气吹扫装置,其特征在于包括真空电阻规采集与电磁阀控制电路以及与其连接的电磁阀管路；所述电磁阀管路为多个电磁阀并联的管路；所述电磁阀管路的入口用于输入氮气，出口用于输出氮气。

【技术特征摘要】
1.一种节能型真空泵氮气吹扫装置,其特征在于包括真空电阻规采集与电磁阀控制电路以及与其连接的电磁阀管路；所述电磁阀管路为多个电磁阀并联的管路；所述电磁阀管路的入口用于输入氮气，出口用于输出氮气。2.根据权利要求1所述的真空吹扫装置，其特征在于所述真空电阻规采集与电磁阀控制电路包括单片机以及与其连接采集电路、电磁阀驱动电路；所述采集电路用于将真空度传感器的检测信号转换成数字信号发送至单片机；所述单片机用于将采集电路发来的数字信号与设定范围进行比较，输出控制命令给各电磁阀；所述电磁阀驱动电路用于根据单片机发送的控制命令驱动电磁阀动作。3.根据权利要求2所述的真空吹扫装置，其特征在于所述电磁阀驱动电路包括三极管和继电器；所述三极管的基极与单片机连接，发...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光玉，张军，李昌龙，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21