复合真空泵泵腔结构及带有该泵腔结构的真空泵使用方法技术

技术编号:10318171 阅读:160 留言:0更新日期:2014-08-13 19:11
本发明专利技术公开了一种真空泵泵腔结构,提供了一种结构简单、节能增效,可根据工艺要求改变真空泵的抽气速率和极限真空度的复合真空泵泵腔结构及带有该泵腔结构的真空泵使用方法,解决了现有技术中存在的抽气速率和极限真空度无法改变,从而造成不必要的能源浪费的技术问题,它包括泵体及转动连接在泵体容纳腔内的转子,在转子上径向滑动连接着旋片,旋片延伸至转子外并封抵在泵体容纳腔内壁面上,泵体容纳腔的环形内壁面呈弧形,转子转动连接在容纳腔内并与容纳腔的内壁面相切后形成上轴向切线和下轴向切线,在靠近上轴向切线的泵体两侧设有第一进气口和第二排气口,在靠近下轴向切线的泵体两侧设有第二进气口和第一排气口,且在第二进气口和第一排气口间设有可以改变进排气流方向的组合阀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空泵泵腔结构,尤其涉及一种可根据工艺要求改变真空泵的抽气速率,并可同步改变极限真空度的。
技术介绍
真空泵广泛应用于各类真空系统中,其主要功能是为工艺系统提供一定的真空度。根据真空理论,对于密闭的真空系统来说,其空间的气体存量随着真空泵的运行逐渐减少,真空度逐渐上升,真空系统的实际工况为:由于真空系统内存有大量气体,在真空泵开始工作时,真空系统的真空度较低,此时需要真空泵的抽速尽可能的大,当真空系统的真空度逐渐上升后,真空系统内可排除的气体量逐渐减少,此时如继续使用大排气量的真空泵,即相当于大马拉小车,从而造成不必要的能源浪费。而现有的真空泵一般都是具有固定的抽速和固定的极限真空度,为了满足真空系统的工作要求,选择真空泵时往往在满足极限真空度要求的同时,按照所需要的最大抽速来配置真空泵,因此能源浪费在真空泵使用过程中具有普遍性。
技术实现思路
本专利技术主要是提供了一种结构简单、节能增效,可根据工艺要求改变真空泵的抽气速率,并可同步改变极限真空度的,解决了现有技术中存在的抽气速率和极限真空度无法根据使用要求变化,从而造成不必要的能源浪费的技术问题。本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复合真空泵泵腔结构,包括泵体(1)及转动连接在泵体(1)容纳腔内的转子(2),在转子(2)上径向滑动连接着旋片(3),旋片(3)延伸至转子(2)外并封抵在泵体(1)容纳腔内壁面上,其特征在于:所述泵体(1)容纳腔的环形内壁面呈弧形,转子(2)转动连接在容纳腔内并与容纳腔的内壁面相切后形成上轴向切线(4)和下轴向切线(5),在靠近上轴向切线(4)的泵体(1)两侧设有第一进气口(6)和第二排气口(7),在靠近下轴向切线(5)的泵体(1)两侧设有第二进气口(8)和第一排气口(9),且在第二进气口(8)和第一排气口(9)间设有可以改变进排气流方向的组合阀。

【技术特征摘要】
1.一种复合真空泵泵腔结构,包括泵体(I)及转动连接在泵体(I)容纳腔内的转子(2),在转子(2)上径向滑动连接着旋片(3),旋片(3)延伸至转子(2)外并封抵在泵体(I)容纳腔内壁面上,其特征在于:所述泵体(I)容纳腔的环形内壁面呈弧形,转子(2)转动连接在容纳腔内并与容纳腔的内壁面相切后形成上轴向切线(4)和下轴向切线(5),在靠近上轴向切线(4)的泵体(I)两侧设有第一进气口(6)和第二排气口(7),在靠近下轴向切线(5)的泵体(I)两侧设有第二进气口(8)和第一排气口(9),且在第二进气口(8)和第一排气口(9)间设有可以改变进排气流方向的组合阀。2.根据权利要求1所述的复合真空泵泵腔结构,其特征在于:所述组合阀包括横设在第二进气口(8)和第一排气口(9)间的盲管(10),盲管(10)的开口端朝向第二进气口(8),第一排气口(9)垂直贯穿盲管(10),第二进气口(8)与盲管(10)相连通,在第二进气口(8)和第一排气口(9)间的盲管(10)内设有第一阻断阀门(11),在盲管(10)的开口端上设有第二阻断阀门(12)。3.根据权利要求1或2所述的复合真空泵泵腔结构,其特征在于:在所述转子(2)上设有径向通槽(13 ),在径向通槽(13 )内滑动连接着两个旋片(3 ),且在两个旋片(3 )间设有旋片...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋友荣
申请(专利权)人:浙江飞越机电有限公司
类型:发明
国别省市:浙江;33

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