下载复合真空泵泵腔结构及带有该泵腔结构的真空泵使用方法的技术资料

文档序号:10318171

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本发明公开了一种真空泵泵腔结构,提供了一种结构简单、节能增效,可根据工艺要求改变真空泵的抽气速率和极限真空度的复合真空泵泵腔结构及带有该泵腔结构的真空泵使用方法,解决了现有技术中存在的抽气速率和极限真空度无法改变,从而造成不必要的能源浪费的...
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