低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够适当地检查低温泵的真空度保持状态的低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法。本发明专利技术的低温泵控制装置（80），所述低温泵控制装置控制具备冷却气体并使其冷凝或吸附的低温板（48）及容纳低温板（48）的泵容器（36）的低温泵的排气处理，其中，压力控制部（94）当检测到泵容器（36）内的压力下降至基准压力时停止真空抽取。真空度保持判定部（92）判定在第1测定时刻和第2测定时刻的泵容器（36）内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内。第1测定时刻通过对检测到泵容器（36）内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种低温泵控制装置，其控制低温泵的排气处理，所述低温泵具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低温板及容纳所述低温板的泵容器，所述低温泵控制装置的特征在于，具备：压力控制部，当检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力时停止真空抽取；时刻管理部，确定第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时刻；及真空度保持判定部，判定在第1测定时刻和第2测定时刻的所述泵容器内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内，第1测定时刻通过对检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：木村敏之，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：