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提供适于提高转子破损对策的可靠性的真空泵。真空泵的排气机构部为了在转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，作为安装于封装壳(1(1A、1B))内周侧的固定部件具有螺纹槽排气部定子(9)，在螺纹槽排气部定子(9)的外周侧，安装有由比强度比该螺纹槽排气...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。

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